KR970072039A - 저압기상증착용 종형확산로 - Google Patents

저압기상증착용 종형확산로 Download PDF

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KR970072039A
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KR1019960012581A
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이남진
류세형
이장혁
안원식
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

저압기상증착로는 공정특성에 따라서 증착막의 균일도 불순물이 균일한 첨가 또는 일정온도하에서 증착막을 형성하기위하여 종형확산로를 이용하고 있다. 이때 종형확산로의 인너 튜브와 보트 커버의 결합부를 개선하여 결합부의 유격을 감소시켜 공정상에 보트 커버 및 커버 보트의 밀림현상을 방지할 수 있다.

Description

저압기상증착용 종형확산로
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 (A)와 (B)는 종래의 저압기상증착용 종형확산로를 나타낸 구성도.

Claims (3)

  1. 저압기상증착용 종형확산로에 있어서, 상기 종형확산로의 인너 튜브의 핀과 보트 커버의 홀로 이루어진 결합부의 유격을 상기 핀과 상기 홀의 직경을 감소하거나 증가시켜 0.5㎜로 설정한 것을 특징으로 하는 저압기상증착용 종형확산로.
  2. 제1항에 있어서, 상기 인너 튜브의 핀의 직경은 7.5㎜이고 상기 보트 커버의 홀의 직경은 8.0㎜인 것을 특징으로 하는 저압기상증착용 종형확산로.
  3. 제1항에 있어서, 상기 보트 커버의 홀의 직경은 7.5㎜이고 상기 인너 튜브의 핀의 직경은 7.0㎜인 것을 특징으로 하는 저압기상증착용 종형확산로.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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