KR970072039A - 저압기상증착용 종형확산로 - Google Patents
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Abstract
저압기상증착로는 공정특성에 따라서 증착막의 균일도 불순물이 균일한 첨가 또는 일정온도하에서 증착막을 형성하기위하여 종형확산로를 이용하고 있다. 이때 종형확산로의 인너 튜브와 보트 커버의 결합부를 개선하여 결합부의 유격을 감소시켜 공정상에 보트 커버 및 커버 보트의 밀림현상을 방지할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 (A)와 (B)는 종래의 저압기상증착용 종형확산로를 나타낸 구성도.
Claims (3)
- 저압기상증착용 종형확산로에 있어서, 상기 종형확산로의 인너 튜브의 핀과 보트 커버의 홀로 이루어진 결합부의 유격을 상기 핀과 상기 홀의 직경을 감소하거나 증가시켜 0.5㎜로 설정한 것을 특징으로 하는 저압기상증착용 종형확산로.
- 제1항에 있어서, 상기 인너 튜브의 핀의 직경은 7.5㎜이고 상기 보트 커버의 홀의 직경은 8.0㎜인 것을 특징으로 하는 저압기상증착용 종형확산로.
- 제1항에 있어서, 상기 보트 커버의 홀의 직경은 7.5㎜이고 상기 인너 튜브의 핀의 직경은 7.0㎜인 것을 특징으로 하는 저압기상증착용 종형확산로.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960012581A KR970072039A (ko) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 저압기상증착용 종형확산로 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960012581A KR970072039A (ko) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 저압기상증착용 종형확산로 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970072039A true KR970072039A (ko) | 1997-11-07 |
Family
ID=66217323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019960012581A KR970072039A (ko) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 저압기상증착용 종형확산로 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR970072039A (ko) |
-
1996
- 1996-04-24 KR KR1019960012581A patent/KR970072039A/ko not_active Application Discontinuation
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WITN | Withdrawal due to no request for examination |