KR970071943A - 2극 다이아몬드 박막형 전계방출 표시소자 및 그 제조방법 - Google Patents

2극 다이아몬드 박막형 전계방출 표시소자 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 2극 다이아몬드 박막형 전계방출 표시소자에 관한 것으로, 특히, 상기 전계방출 표시소자의 상부 기판에 형성되는 화소단위의 형광체들간의 경계를 절연체로 채우고 상기 절연체 상부에 금속박막을 코팅함으로써, 다이아몬드 박막 에미터에서 방출되어 한화소 이외의 인접한 화소에 여향을 미치는 전자를 금속박막이 흡수하여 크로스토크를 방지하고, 형광체 여기후 형광체 표면에 남아있는 전자를 흡수하므로 음이온 대전을 방지하여 휘도 및 선면도가 향상된 다이아몬드 박막 필드 에미터를 갖는 전계방출 표시소자를 제공한다.

Description

2극 다이아몬드 박막형 전계방출 표시소자 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 제2A도 내지 제2C도의 공정에 의해 제조된 상부기판의 애노드 전극과 금속경계면을 갖는 형광체를 나타낸 사시도, 제4도는 본 발명에 따른 2극 다이아몬드 박막형 전계방출 표시소자를 나타낸 단면도.

Claims (2)

  1. 하부기판 상부에 스트라입스 형태로 형성되어 있는 캐소드 전극과, 상기 캐소드 전극 상부에 형성되어 있는 박막형의 다이아몬드 박막 에미터와, 상부기판에 형성되어 있는 애노드 전극과, 상기 애노드 전극 상부에 형성되고 있고 하부기판의 다이아몬드 박막과 겹쳐지는 부분의 형광체와, 상기 한화소를 이루는 형광체와 다른 화소를 이루는 형광체들 사이의 공간에 형광체의 높이로 형성되어 있는 격자몽양의 절연체와, 상기 격자모양의 절연체 상부에 형성되어 있는 금속박막을 포함하는 2극 다이아몬드 박막형 전계방출 표시소자.
  2. 하부기판에 캐소드 전극을 스트라입스 형태로 형성한 후, 상기 캐소드 전극 상부에 다이아몬드 박막을 형성하여 다이아몬드 박막 필드 에미터를 형성하는 단계와, 상부기판에 애노드 전극과 절연체 그리고 금속박막을 순차적으로 형성하는 단계와, 상기 금속박막 상부에 격자모양의 마스크 패턴을 형성하는 단계와, 상기 마스크 패턴 이외의 부분을 식각하여 애노드 전극을 노출시키는 단계와, 상기 노출된 애노드 전극 상부에 형광체를 절연체 두께만큼 형성하는 단계와, 상기 형광체가 형성된 상부기판을 하부기판 상부에 스페이서를 매개체로 접합시키는 단계를 포함하는 2극 다이아몬드 박막형 전계방출 표시소자의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960013640A 1996-04-30 1996-04-30 2극다이아몬드박막형전계방출표시소자및그제조방법 KR100299427B1 (ko)

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