KR970067568A - 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 투사형 화상 표시 장치로 사용되는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조방법에 관한 것으로, 상기 제조 방법은 구동 기판상에 소정 형상의 희생층을 형성시키는 단계와, 상기 희생층상에 하부 전극층, 구동층 및 상부 전극층으로 구설된 다수층을 순차적으로 형성시키는 단계와, 상기 다수층을 상부층부터 순차적으로 식각시키는 단계와, 상기 희생층을 제거하는 단계로 이루어져 있으며 이에 의해서 액츄에이터를 구성하는 적층되는 층수가 적고 또한 저온 공정이 가능하다.

Description

광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도 (가) 내지 (다)는 본 발명에 따른 모노모프형 액츄에이터의 제조방법을 순차적으로 도시한 공정도.

Claims (7)

  1. 구동 기판(21)상에 소정 형상의 희생층(22)을 형성시키는 단계와, 상기 희생층(22)상에 하부 전극층(23a), 구동층(23b) 및 상부 전극층(23c)을 순차적으로 형성시켜서 액츄에이터(23)를 형성시키는 단계와, 상기 액츄에이터(23)를 상부층으로부터 순차적으로 식각시켜서 소정 형상으로 형성시키는 단계와, 그리고 상기 희생층(22)을 제거하여서 상기 액츄에이터(23)를 캔틸레버 구조로 형성시키는 단계로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구동층(23b)은 반도체성 압전 세라믹으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 구동층(23b)은 졸-겔 증착 공정 또는 화학 기상 증착 공정에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 하부 전극층(23a)은 백금 및 티타늄 또는 백금 및 탄탈륨으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 하부 전극층은 스퍼터링 증착 공정에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 상부 전극층(23c)은 알루미늄계 합금으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 상부 전극층은 스퍼터링 증착 공정에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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