KR960001812A - 광로조절장치의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로 트랜지스터들이 매트릭스 상태로 형성되고 표면에 상기 트랜지스터들과 전기적으로 연결된 패드들이 형성된 구동기판상부에 희생막을 형성하는 공정과, 상기 패드들이 노출되도록 희생막의 소정부분을 제거하고 지지부를 형성하는 공정과, 상기 희생막과 상기 지지부의 상부에 멤브레인을 형성하는 공정과, 상기 멤브레인과 지지부의 소정부분을 패드가 노출되도록 제거하고 플러그를 형성하는 공정과, 상기 멤브레인 상부에 상기 플러그와 전기적으로 연결되도록 신호전극을 형성하는 공정과, 상기 신호전극 상부에 변형부를 형성하는 공정과, 상기 희생막이 노출되게 일측단이 상기 지지부의 일측단과 일치되도록 상기 변형부부터 멤브레인까지 제거하여 액츄에이터들을 분리하는 공정과, 상기 변형부를 소결하여 상변이 시키는 공정과, 상기 변형부에 반사막을 형성하는 공정과, 상기 반사막 상부와 화소 분리에 의해 노출되는 측면에 보호막을 형성하는 공정과, 상기 희생막과 상기 보호막을 제거하는 공정을 구비한다. 따라서 본 발명은 변형부를 소결할 때 변형부와 신호전극이 각각의 액츄에이터별로 접촉되어 다른 열팽창계수에 의한 응력을 감소시키므로 균열등의 결함이 발생을 최소화할 수 있으며, 또한, 변형부를 열처리하기 전에 액츄에이터들을 분리하므로 변형부의 식각이 용이하다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 (A) 내지 (D)는 종래의 광로조절장치의 제조공정도,
제2도 (A) 내지 (D)는 본 발명의 실시예에 따라 광로조절장치의 제조공정도.
Claims (11)
- 트랜지스터들이 매트릭스 상태로 형성되고 표면에 상기 트랜지스터들과 전기적으로 연결된 패드들이 형성된 구동기판상부에 희생막을 형성하는 공정과, 상기 패드들이 노출되도록 희생막의 소정부분을 제거하고 지지부를 형성하는 공정과, 상기 희생막과 상기 지지부의 상부에 멤브레인을 형성하는 공정과, 상기 멤브레인과 지지부의 소정부분을 패드가 노출되도록 제거하고 플러그를 형성하는 공정과, 상기 멤브레인 상부에 상기 플러그와 전기적으로 연결되도록 신호전극을 형성하는 공정과, 상기 신호전극 상부에 변형부부터 멤브레인까지 제거하여 액츄에이터들을 분리하는 공정과, 상기 변형부를 소결하여 상변이 시키는 공정과, 상기 변형부에 반사막을 형성하는 공정과, 상기 반사막 상부와 화소 분리에 의해 노출되는 측면에 보호막을 형성하는 공정과, 상기 희생막과 상기 보호막을 제거하는 공정을 구비하는 광조조절장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 희생막을 Mo, Cr, Fe, Ni 또는 Al으로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 희생막을 PSG 또는 다결정 실리콘으로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 지지부를 질화실리콘(Si3N4), 산화실리콘(SiO2), 또는 탄화실리콘으로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 멤브레인을 상기 지지부와 동일한 물질로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 플러그를 텅스텐(W) 또는 티타늄(Ti)의 전도성 금속으로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 신호전극을 백금(Pt) 또는 백금/티타늄(Pt/Ti)으로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 변형부를 BaTiO3, PZT(Pb(Zr,Ti)O3) 또는 PZLT((Pb,La)(Zr,Ti)O3)의 압전세라믹으로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 변형부를 PMN(Pb(Mg,Nb)O3의 전왜세라믹으로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제8 또는 제9항에 있어서, 상기 변형부를 Sol-Gel법, 스퍼터링 또는 CVD법에 의해 0.7~2㎛의 두께로 형성하는 광로조절장치의 제조방법.
- 제10항에 있어서, 상기 변형부를 소결하여 패로브스카이트(Perovskite)상으로 상 변이(phase transtition)시키는 광로조절장치의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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| KR100233996B1 (ko) * | 1996-12-11 | 1999-12-15 | 전주범 | 광로 조절 장치의 개선된 비어 콘택 형성 방법 |
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1994
- 1994-06-30 KR KR1019940015342A patent/KR100209398B1/ko not_active IP Right Cessation
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| KR100209398B1 (ko) | 1999-07-15 |
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