KR970062952A - 반도체 웨이퍼용 문자 인식 장치 - Google Patents
반도체 웨이퍼용 문자 인식 장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 웨이퍼(WAFER)용 문자 (ID) 인식 장치에 관한 것으로, 반도체 웨이퍼상에 형성된 식별 문자 패턴을 인식하기 위하여 식별 문자 패턴을 촬상하기 위한 촬상 수단과, 상기 촬상 수단의 조명 장치가 포함된 웨이퍼 인식 장치에 있어서, 상기 촬상 수단의 화질 향상이 가능하도록 광원의 세기와 종류가 조절될 수 있게 마련되는 조명 장치 및; 상기 조명 장치에 의해 웨이퍼에 투사되어 반사되는 빛의 일부만이 촬상 수단의 광원으로 사용되기 위한 반사판으로 구성되고, 상기 촬상 수단 및 조명 장치가 일체로 포함되며, 웨이퍼의 식별 문자 패턴이 각인된 영역만이 촬상되기 위하여 마이크로메터를 따라 X, Y, Z축이 이동되는 광경로 장치가 제공됨으로 웨이퍼의 인식 장치 시스템을 최소한으로 구성하여 웨이퍼의 흑색면에 레이저로 각인된 문자를 촬상되는 영역으로 설정하여 인식하게 하고, 동축 조명을 이용하여 LED의 종류와 빛의 세기 조절을 통함으로 양호한 화상을 구현할 수 있는 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한, 웨이퍼용 문자 인식 장치를 도시한 개념도.
제3도는 본 발명에 따라, 적용되는 반 반사 유리면을 이용한 빛의 성질을 도시한 설명도.
제4도는 본 발명에 의한, 광 경로 장치의 구성도.
Claims (4)
- 반도체 웨이퍼상에 형성된 식별 문자 패턴을 인식하기 위하여 식별 문자 패턴을 촬상하기 위한 촬상 수단과, 상기 촬상 수단의 조명 장치가 포함된 웨이퍼 인식 장치에 있어서, 상기 촬상 수단의 화질 향상이 가능하도록 광원의 세기와 종류가 조절될 수 있게 마련되는 조명 장치 및; 상기 조명 장치에 의해 웨이퍼에 투사되어 반사되는 빛의 일부만이 촬상 수단의 광원으로 사용되기 위한 반사판으로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 문자 인식 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 조명 장치는 LED발광 소자를 소오스로 한 조명 장치임을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 문자 인식 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 반사판은 반 반사 유리면(HALF MIRROR)으로 마련됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 문자 인식 장치.
- 웨이퍼상의 식별 문자 패턴을 인식하기 위하여 식별 문자 패턴을 촬상하기 위한 촬상 수단과, 상기 촬상수단의 조명 장치가 포함된 웨이퍼 인식 장치에 있어서, 상기 촬상 수단 및 조명 장치가 일체로 포함되며, 웨이퍼의 식별 문자 패턴이 각인된 영역만이 촬상되기 위하여 마이크로메터를 따라 X, Y, Z축이 이동되는 광 경로 장치가 제공됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 문자 인식 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004943A KR0181898B1 (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 반도체 웨이퍼용 문자 인식 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004943A KR0181898B1 (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 반도체 웨이퍼용 문자 인식 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970062952A true KR970062952A (ko) | 1997-09-12 |
| KR0181898B1 KR0181898B1 (ko) | 1999-05-15 |
Family
ID=19451965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960004943A KR0181898B1 (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 반도체 웨이퍼용 문자 인식 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0181898B1 (ko) |
-
1996
- 1996-02-27 KR KR1019960004943A patent/KR0181898B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0181898B1 (ko) | 1999-05-15 |
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