KR970062737A - 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법과 광학계의 교정방법 및 광학계의 교정에 사용하는 기준게이지 - Google Patents

촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법과 광학계의 교정방법 및 광학계의 교정에 사용하는 기준게이지 Download PDF

Info

Publication number
KR970062737A
KR970062737A KR1019970001896A KR19970001896A KR970062737A KR 970062737 A KR970062737 A KR 970062737A KR 1019970001896 A KR1019970001896 A KR 1019970001896A KR 19970001896 A KR19970001896 A KR 19970001896A KR 970062737 A KR970062737 A KR 970062737A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lattice
grid
calculating
image
pattern
Prior art date
Application number
KR1019970001896A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100267809B1 (ko
Inventor
겐이치 하야시
야스시 소가베
겐지 마쓰우라
시게키 무라타
Original Assignee
모리시타 요이치
미쓰시타 덴키 산교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 모리시타 요이치, 미쓰시타 덴키 산교 가부시키가이샤 filed Critical 모리시타 요이치
Publication of KR970062737A publication Critical patent/KR970062737A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100267809B1 publication Critical patent/KR100267809B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/62Optical apparatus specially adapted for adjusting optical elements during the assembly of optical systems
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses
    • G01D5/38Forming the light into pulses by diffraction gratings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

1.청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야
화상처리시스템에서의 광학계의 교정에 관한 것으로, 특히 광학계를 통해서 촬상수단에 의해 촬상된 기준게이지의 화상을 근거로 행하는 실공간길이 측정방법과 광학계의 교정방법 및 기준게이지에 관한 것이다.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
1화소당의 실공간길이를 정밀하게 측정하는 방법을 제공하고, 촬상범위의 측정 또는 조정이나, 화상왜곡의 측정 및 그 결과의 피드백에 의해서 화상왜곡의 보정을 행하는 광학계의 교정방법을 제공하고자 하는 것이다.
3. 발명의 해격방법의 요지
격자화상의 검사영역내의 임의영역에 있어서, 활상수단의 각 화서열에 대한 평균격자 갯수를 산출하고, 격자피치를 곱함으로써 소정방향에서의 상기 임의영역의 실공간길이를 산출하고 이것을 그 방향의 화소수로 나눔으로써, 격자화상의 1화소당의 실공간길이를 얻는다. 이에 의해서, 촬상범위를 산출, 촬상범위의 조정, 얻어지는 상의 왜곡분포의 산출 및 그것을 이용한 상의 보정 등이 가능해지므로, 광학계의 교정을 행하여 대상물을 정밀하게 측정할 수 있게 한 것이다.
4. 발명의 중요한 용도
화상처리시스템.

Description

촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법과 광학계의 교정방법 및 광학계의 교정에 사용하는 기준게이지
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 실시예에서의 광학계의 교정방법의 기능블록도.

Claims (26)

  1. 알려진 값을 격자피치로 하여 동간격으로 배치된 격자선을 포함하는 격자패턴을 공학계에 의해서 맺어진 상을, 상기 격자선에 평행한 방향 및/또는 직교하는 방향을 수평주사방향으로 하여 촬상수단을 사용하여 촬상함으로써 격자화상을 얻는 제1스텝과, 상기 격자화상의 검사영역내의 임의영역에 있어서, 상기 격자선에 직교하는 방향의 상기 촬상수단의 1화소열에 대응하는 격자갯수를, 각 화소열마다 산출하는 제2스텝과, 상기 제2스텝에서 구한 각 화소열에 대한 격자갯수를 평균하여 평균격자갯수를 산출하는 제3스텝과, 상기 평균격자 갯수에 상기 격자피치를 곱함으로써 상기 격자선에 직교하는 방향에서의 상기 임의영역의 실공간길이를 산출하는 제4스텝과, 상기 실공간길이를, 상기 임의영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 화소수로 나눔으로써, 상기격자화소의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 1화소당의 실공간길이를 산출하는 제5스텝을 가지는 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2스텝은, 상기 검사영역내에 있어서, 격자패턴의 격자선에 직교하는 방향으로 프리에교환을 행하고,얻어지는 주파수스텍트럼으로부터 1차주파수성분을 추출하는 스텝과, 추출한 1차주파수성분에 역프리에변환을 행하고, 그 결과의 실수부와 허수부와의 비로부터 상기 격자화상의 위상값분포를 산출하는 스텝과, 상기 위상값분포를 이용하여, 상기 검사영역내의 임의영역에서의 상기 격자선에 직교하는 방향의 각 화소열의 격자갯수를 산출하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법.
  3. 자기기록재상장치에 의해서 기록되고 가시화처리가 행하여진 자기테이프상의 자기기록트랙의 트랙패턴을, 광학계를 통해서 촬상수단에 의해 촬상하는 경우의 광학계의 교정방법으로, 알려진 값을 격자피치로 하고 등간격으로 배치되고 상기 촬상수단의 수평주사방향으로 평행한 및/또는 직교하는 격자선을 포함하는 격자패턴을, 상기 자기테이프의 촬상위치와 실질적으로 동일한 위치에 설치하는 제1스텝과, 상기 격자패턴을 상기 촬상수단을 이용하여 촬상함으로써 격자화상을 얻는 제2스텝과 상기 격자화상내의, 검사영역내의 임의영역에 있어서 상기 격자선에 직교하는 방향의 상기 촬상수단의 1화소열에 대응하는 격자갯수를 각 화소열마다 산출하는 제3스텝과, 상기 제3스텝에서 구한 각 화소열에 대한 격자갯수를 평균하여 평균격자갯수를 산출하는 제4스텝과, 상기 평균격자 갯수에 상기 격자피치를 곳함으로써 상기 격자선에 직교하는 방향에서의 상기 임의영역의 실공간길이를 산출하는 제5스텝과, 상기 실공간길이를, 상기 임의영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 화소수로 나눔으로써, 상기 격자화상의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 1화소당의 실공간길이를 산출하는 제6스텝을 가지는 자기기록트랙의 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제3스텝은, 상기 검사영역내에 있어서, 격자패턴을 격자선에 직교하는 방향으로 프리에변환을 행하고, 얻어지는 주파수스펙트럼으로부터 1차주파수성분을 추출하는 스텝과, 추출한 1차주파수성분에 역프리에변환을 행하고, 그 결과의 실수부와 허수부와의 비로부터 상기 격자화상의 위상값분포를 산출하는 스텝과, 상기 위상값분포를 이용하여, 상기 검사영역내의 임의영역에서의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 각 화소열의 격자갯수를 산출하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법.
  5. 알려진 값을 격자피치로 하여 동간격으로 배치된 격자선을 포함하는 격자패턴을 광학계에 의해서 맺어진 상을, 상기 격자선에 평행한 방향 및/또는 직교하는 방향을 수평주사방향으로 하여 촬상수단을 사용하여 촬상함으로써 격자화상을 얻는 제1스텝과, 상기 격자화상의 검사영역내의 임의 영역에 있어서, 상기 격자선에 직교하는 방향의 상기 촬상수단의 1화소열에 대응하는 격자갯수를, 각 화소열마다 산출하는 제2스텝과, 상기 제2스텝에서 구한 각 화소열에 대한 격자갯수를 평균하여 평균격자 갯수를 산출하는 제3스텝과, 상기 평균격자 갯수에 상기 격자피치를 곱함으로써, 상기 격자선에 직교하는 방향에서의 상기 임의영역의 실공간길이를 산출하는 제4스텝과, 상기 실공간길이를, 상기 임의영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 화소수로 나눔으로써 ,상기 격자화상의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 1화소당의 실공간길이를 산출하는 제5스텝과, 상기 실공간길이에, 상기 검사영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 화소수를 곱함으로써, 상기 검사영역에서의 촬상범위를 산출하는 제6스텝을 가지는 촬상수단 의해서 실공간길이 측정방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제2스텝은, 상기 검사영역내에 있어서, 격자패턴의 격자선에 직교하는 방향으로 프리에교환을 행하고, 얻어지는 주파수스켁트럼으로부터 1차주파수성분을 추출하는 스텝과, 추출한 1차주파수성분에 역프리에편환을 행하고, 그 결과의 실수부와 허수부와의 비로부터 상기 격자화상의 위상값분포를 산출하는 스텝과, 상기 위상값분포를 이용하여, 상기 검사영역내의 임의영역에서의 상기 격자선에 직교하는 방향의 각 화소열의 격자갯수를 산출하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제6스텝은, 상기 1화소당의 실공간길이에, 상기 검사영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 화소수를 곱함으로써, 상기 촬상수단의 상기 검사영역에서의 촬상범위를 산출하고, 이 촬상범위가 소정치가 되도록 광학계의 배율을 조종하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법.
  8. 제5항에 있어서, 상기 제2스텝은, 상기 검사영역내에 있어서, 격자패턴의 격자선에 직교하는 방향으로 프리에교환을 행하고, 얻어지는 주파수스펙트럼으로부터 1차주파수성분을 추출하는 스텝과, 추출한 1차주파수성분에 역프리에변환을 행하고, 그 결과의 실수부와 허수부와의 비로부터 상기 격자화상의 위상값분포를 산출하는 스텝과, 상기 위상값분포를 이용하여, 상기 검사영역내의 임의영역에서의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 각 화소열의 격자갯수를 산출하는 스텝을 포함하고, 상기 6스텝은, 상기 1화소당의 실공간길이에, 상기 검사영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 화소수를 곱함으로써, 상기 촬상수단의 상기 검사영역에서의 촬상범위를 산출하고, 이 촬상범위가 소정치가 되도록 광학계의 배율을 조정하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법.
  9. 자기기록재생장치에 의해서 기록되고 가시화처리가 행하여진 자기테이프상의 자기기록트랙의 트랙패턴을, 광학계를 통해서 촬상수단에 의해 촬상하는 경우의 광학계의 교정방법으로, 알려진 값을 격자피치로 하여 등간격으로 배치되고 상기 촬상수단의 수평주사방향으로 평행한 및/또는 직교하는 격자선을 포함하는 격자패턴을 상기 자기테이프의 촬상위치와 실질적으로 동일한 위치에 설치하는 제1스텝과, 상기 격자패턴을 상기 촬상수단을 사용하여 촬상함으로써 격자화상을 얻는 제2스텝과, 상기 격자화상내의, 검사영역내의 임의 영역에 있어서, 상기 격자선에 직교하는 방향의 상기 촬상수단의 1화소열에 대응하는 격자갯수를, 각 화소열마다 산출하는 제3스텝과, 상기 제3스텝에서 구한 각 화소열에 대한 격자갯수를 평균하여 평균격자 갯수를 산출하는 제4스텝과, 상기 평균격자 갯수에 상기 격자피치를 곱함으로써, 상기 격자선에 직교하는 방향에서의 상기 임의영역의 실공간길이를 산출하는 제5스텝과, 상기 실공간길이를, 상기 임의영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 화소수로 나눔으로써, 상기 격자화상의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 1화소당의 실공간길이를 산출하는 제6스텝과, 상기 1화소당의 실공간길이에, 상기 검사영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 화소수를 곱함으로써, 상기 검사영역에서의 촬상범위를 산출하는 제7스텝을 가지는 자기기록트랙의 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제3스텝은, 상기 검사영역내에 있어서, 격자패턴의 격자선에 직교하는 방향으로 프리에변환을 행하고, 얻어지는 주파수스펙트럼으로부터 1차주파수성분을 추출하는 스텝과, 추출한 1차주파수성분에 역프리에변환을 행하고, 그결과의 실수부와 허수부와의 비로부터 상기 격자화상의 위상값분포를 산출하는 스텝과, 상기 위상값분포를 이용하여, 상기 검사영역내의 임의영역에서의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 각 화소열의 격자갯수를 산출하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법.
  11. 제9항에 있어서, 상기 제7스텝은, 상기 1화소당의 실공간길이에, 상기 검사영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 화소수를 곱함으로써, 상기 촬상수단의 상기 검사영역에서의 촬상범위 산출하고, 이 촬상범위가 소정치가 되도록 광학계의 배율을 조정하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법.
  12. 제9항에 있어서, 상기 제3스텝은, 상기 검사영역내에 있어서, 격자패턴의 격자선에 직교하는 방향으로 프리에변환을 행하고, 얻어지는 주파수스펙트럼으로부터 1차주파수성분을 추출하는 스텝과, 추출한 1차주파수성분에 역프리에변환을 행하고,그 결과의 실수부와 허수부와의 비로부터 상기 격자화상의 위상값분포를 산출하는 스텝과, 상기 위상값분포를 이용하여, 상기 검사영역내의 임의영역에서의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 각 화소열의 격자갯수를 산출하는 스텝을 포함하고, 상기 제7스텝은, 상기 1화소당의 실공간길이에, 상기 검사영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 화소수를 곱함으로써, 상기 촬상수단의 상기 검사영역에서의 촬상범위를 산출하고, 이 촬상범위가 소정치가 되도록 광하계의 배율을 조정하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법.
  13. 알려진 값을 격자피치로 하여 등간격으로 배치된 격자선을 포함하는 격자패턴을 광학계에 의해서 맺은 상을, 상기 격자선에 평행한 방향 및/또는 직교하는 방향을 수평주사방향으로 하여 촬상수단을 이용하여 촬상함으로써 격자화상을 얻는 제1스텝과, 상기 격자화상의 검사영역내의 임의영역에 있어서, 상기 격자선에 직교하는 방향의 상기 촬상수단의 1화소열에 대응하는 격자갯수를, 각 화소열마다 산출하는 제2스텝과, 상기 제2스텝에서 구한 각 화소열에 대한 격자갯수를 평균하여 평균격자 갯수를 산출하는 제3스텝과, 상기 평균격자 갯수에 상기 격자피치를 곱함으로써, 상기 격자선에 직교하는 방향에서의 상기 임의영역의 실공간길이를 산출하는 제4스텝과, 상기 실공간길이를, 상기 임의영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 화소수로 나눔으로써, 상기 격자화상의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 1호소당의 실공간길이를 산출하는 제5스텝과, 상기 실공간길이를 이용하여, 상기 격자화상의 , 상기 검사영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 변위분포를 구함으로써, 그 방향의 왜곡분포를 상기 검사영역전면에 있어서 얻는 제6스텝을 가지는 광학계의 교정방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제2스텝은, 상기 검사영역내에 있어서, 격자패턴의 격자선에 직교하는 방향으로 프리에변환을 행하고, 얻어지는 주파수스펙트럼으로부터 1차주파수성분을 추출하는 스텝과, 추출한 1차주파수성분에 역프리에변환을 행하고, 그 결과의 실수부와 허수부와의 비로부터 상기 격자화상의 위상값분포를 산출하는 스텝과, 상기 위상값분포를 이용하여, 상기 검사영역내의 임의영역에서의 상기 격자선에 직교하는 방향의 각 화소열의 격자갯수를 산출하는 스텝을 포함하고, 제6스텝은, 상기 위상값분포를 이용하여, 상기 검사영역에서의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 변위분포를 산출하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계의 교정방법.
  15. 자기기록재생장치에 의해서 기록되고 가시화처리가 행하여진 자기테이프상의 자기기록트랙의 트랙패턴을, 광학계를 통해서 촬상수단에 의해 촬상하고 검사하는 자기기록 트랙검사장치에서의 광학계의 교정방법으로 알려진 값을 격자피치로 하여 등간격으로 배치되고 상기 촬상수단의 수평주사방향으로 평행한 및/또는 직교하는 격자선를 포함하는 격자패턴을,상기 자기테이프의 촬상위치와 실질적으로 동일한위치에 설치하는 제1스텝과, 상기 격자패턴을 상기 촬상수단을 이용하여 촬상함으로써 격자화상을 얻는 제2스텝과, 상기 격자화상내의, 상기 자기기록 트랙검사장치의 검사영역내의 임의영역에 있어서, 상기 격자선에 직교하는 방향의 상기촬상수단의 일화소열에 대응하는 격자갯수를, 각 화소열마다 산출하는 제3스텝과, 상기 제3스텝에서 구한 각 화소열에 대한 격자갯수를 평균하여 평균격자 갯수를 산출하는 제4스텝과, 상기 평균격자 갯수에 상기 격자피치를 곱함으로써, 상기 격자선에 직교하는 방향에서의 상기임의영역의 실공간길이를 산출하는 제5스텝과, 상기 실공간길이를, 상기 임의영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 화소수로 나눔으로써, 상기 격자화상의 상기 격자선에 직교하는 방향의 1화소당의 실공간길이를 산출하는 제6스텝과, 상기 실공간길이를 이용하여, 상기 격자화상의 상기 검사영역에서의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 변위분포를 구함으로써, 상기 자기기록 트랙검사장치의 광학계의 그 방향의 왜곡분포를 상기 검사영역전면에 있어서 얻는 제7스텝을 가지는 자기기록트랙촬상을 위한 광학계의 교정방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제3스텝은, 상기 검사영역내에 있어서, 격자패턴의 격자선에 직교하는 방향으로 프리에변환을 행하고, 얻어지는 주파수스펙트럼으로부터 1차주파수성분을 추출하는 스텝과, 추출한 1차주파수성분에 역프리에변환을 행하고, 그 결과의 실수부와 허수부와의 비로부터 상기 격자화상의 위상값분포를 산출하는 스텝과, 상기 위상값분포를 이용하여, 상기 검사영역내의 임의영역에서의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 각 화소열의 격자갯수를 산출하는 스텝을 포함하고, 상기 제7스텝은, 상기 위상값분포를 이용하여, 상기 격자화상의, 상기 검사영역에서의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 변위분포를 산출하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계의 교정방법.
  17. 알려진 값을 격자피치로 하여 등간격으로 배치된 격자선을 포함하는 격자패턴을 광학계의 의해서 맺어진 상을,상기 격자선에 평행한 방향 및/또는 직교하는 방향을 수평주사방향으로 하여 촬상수단을 이용하여 촬상함으로써 격자화상을 얻는 제1스텝과, 상기 격자화상의 검사영역내의임의영역에 있어서, 상기 격자선에 직교하는 방향의 상기 촬상수단의 1화소열에 대응하는 격자갯수를, 각 화소열마다 산출하는 제2스텝과, 상기 제2스텝에서 구한 각 화소열에 대한 격자갯수를 평균하여 평균격자 갯수를 산출하는 제3스텝과, 상기 평균격자 갯수에 상기 격자피치를 곱함으로써, 상기 격자선에 직교하는 방향에서의 상기 임의영역의 실공간길이를 산출하는 제4스텝과, 상기 실공간길이를, 상기 임의영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 화소수를 나눔으로써, 상기 격자화상의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 1화소당의 실공간길이를 산출하는 제5스텝과, 상기 실공간길이를 이용하여, 상기 격자화상의, 상기 검사영역의 상기 격자선에 직교하는 방향의 변위분포를 구함으로써, 그 방향의 왜곡분포를 상기 검사영역전면에 있어서 얻는 제6스텝과, 상기 광학계에 의해서 맺어진 상을, 상기 왜곡분포를 이용하여 보정하는 제7스텝을 가지는 광학계의 교정방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 제2스텝은, 상기 제2스텝은, 상기 검사영역내에 있어서, 격자패턴의 격자선에 직교하는 방향으로 프리에변환을 행하고, 얻어지는 주파수스펙트럼으로부터 1차주파수성분을 추출하는 스텝과, 추출한 1차주파수성분에 역프리에변환을 행하고, 그 결과의 실수부와 허수부와의 비로부터 상기 격자화상의 위상값분포를 산출하는 스텝과, 상기 위상값분포를 이용하여, 상기 검사영역내의 임의영역에서의 ,상기 격자선에 직교하는 방향의 각 화소열의 격자갯수를 산출하는 스텝을 포함하고, 제 6스텝은, 상기 위상값분포를 이용하여, 상기 검사영역에서의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 변위분포를 산출하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계의 교정방법.
  19. 자기기록재생장치에 의해서 기록되고 가시화처리가 행하여진 자기테이프상의 자기기록트랙의 트랙패턴을 , 광학계를 통해서 촬상수단에 의해 촬상하고 검사하는 자기기록 트랙검사장치에서의 광학계의 교정방법으로, 알려진 값을 격자피치로 하여 등간격으로 배치되고 상기 촬상수단의 수평주사방향으로 평행한 및/또는 직교하는 격자선을 포함하는 격자패턴을, 상기 자기테이프의 촬상위치와 실질적으로 동일한 위치에 설치하는 제1스텝과,상기 격자패턴을 상기 촬상수단을 이용하여 촬상함으로써 격자화상을 얻는 제2스텝과, 상기 격자화상내의 ,상기 자기기록 트랙검사장치의 검사영역내의 임의영역에 있어서, 상기 격자선에 직교하는 방향의 상기 촬상수단의 1화소열에 대응하는 격자갯수를, 각 화소열마다 산출하는 제3스텝과, 상기 제3스텝에서 구한 각 화소열에 대한 격자갯수를 평균하여 평균격자 갯수를 산출하는 제4스텝과, 상기 평균격자 갯수에 상기 격자피치를 곱함으로써, 상기 격자선에 직교하는 방향에서의 상기 임의영여그이 실공간길이를 산출하는제5스텝과 ,상기 실고간길이를, 상기 임의영역의 상기 격자선에 직교한는 방향의 화소수로 나눔으로써 상기 격자화상의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 1화소당 실공간길이를 산출하는 제6스텝과, 상기 실공간길이를 이용하여, 상기격자화상의 상기 검사영역에서의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 변위분포를 구함으로써, 상기 자기기록 트랙검사장치의 광학계의 그 방향의 왜곡푼포를 상기 검사영역전면에서 얻는 제7스텝과,상기 촬상수단에 의해서, 자기테이프상에 기록된 트랙패턴을 촬상하고, 상기 왜곡분포를 이용하여 보정한 상기 트랙패턴의 변위분포를 산출하는 제8스텝을 가지는 것을 특징으로 하는 자기기록트랙촬상을 위한 광학계의 교정방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 제3스텝은, 상기 검사영역내에 있어서, 격자패턴의 격자선에 직교하는 방향으로 프리에변환을 행하고, 얻어지는 주파수스펙트럼으로부터 1차주파수성분을 추출하는 스텝과, 추출한 1차주파수성분에 역프리에변환을 행하고, 그 결과의 실수부와 허수부와의 비로부터 상기 격자화상의 위상값분포를 산출하는 스텝과 ,상기 위상값분포를 이용하여, 상기 검사영역내의 임의영역에서의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 각 화소열의 격자갯수를 산출하는 스텝을 포함하고, 상기 제7스텝은, 상기 위상값분포를 이용하여, 상기격자화상의, 상기 검사영역에서의, 상기 격자선에 직교하는 방향의 변위분포를 산출하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계의 교정방법.
  21. 자기기록재생장치에 의해서 기록되고 가시화처리가 행하여진 자기테이프상의 자기기록트랙의 트랙패턴을, 촬상수단에 의해서 촬상하고, 검사하는 자기기록 트랙검사장치용 기준게이지로, 그 표면상에, 그 기준게이지의 좌표계의 기준이 되는 선패턴과, 상기 선패턴의 기준방향에 대하여 소정의 각도를 가지도록 등피치로 그려진 격자패턴을 가지며, 상기 선패턴 및 상기 격자패턴은, 상기 자기기록 트랙검사장치에 설치되었을 때의 그들의 표면이, 상기 자기기록 트랙검사장치에 상기 자기테이프를 설치하였을 때의 그 자기테이프 윗면의 높이 위치와 실질적으로 동등해지는 두께를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 기준게이지.
  22. 제21항에 있어서, 상기 격자패턴의 피치가 상기 자기테이프상의 트랙패턴의 피치와 실질적으로 동등한 것을 특징으로 하는 기준게이지.
  23. 자기기록재생장치에 의해서 기록되고 가시화처리가 행하여진 자기테이프상의 자기기록트랙의 트랙패턴을, 촬상수단에 의해서 촬상하고, 검사하는 자기기록 트랙검사장치용 기준게이지로, 그 표면상에, 그 기준게이지의 좌표계의 기준이 되는 선패턴과, 상기 자기기록재생장치에 있어서, 각각 소정의 아지마스각을 가지는 2개이상의 헤드의 의해서 자기테이프상에 기록되는 이상적인 트랙패턴 중, 한쪽의 아지마스각을 가지는 헤드에 의해서 기록되는 트랙패턴을 명부(明部)로 하고, 또 다른 쪽의 아지마스각을 가지는 헤드에 의해서 기록되는 트랙패턴을 암부(暗部)로 하였을 때에 얻어지는 트랙패턴과 실질적으로 동등한 유사트랙패턴을 가지며, 상기 유사트랙패턴상의 적어도 1개 이상의 변위측정라인을 따른, 상기 유사트랙패턴의 상기 이상적인 트랙패턴에 대한 변위분포가 이미 알려져 있고, 상기 선패턴 및 상기 유사트랙패턴은, 상기 자기기록 트랙검사장치에 설치되었을 때의 그들의 표면이, 상기 자기기록 트랙검사장치에 상기 자기테이프를 설치하였을 때의 그 자기테이프 윗면의 높이위치와 실질적으로 동등해지는 두께를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 기준게이지.
  24. 자기기록재생장치에 의해서 기록되고 가시화처리가 행하여진 자기테이프상의 자기기록트랙의 트랙패턴을 광학계를 통해서 촬상수단에 의해 촬상하는 경우의 광학계의 교정방법으로 좌표계의 기준이 되는 선패턴과, 상기 자기기록재생장치에 있어서, 각각 소정의 아지마스각을 가지는 2대 이상의 헤드에 의해서 자기테이프상에 기록되는 이상적인 트랙패턴 중, 한쪽의 아지마스각을 가지는 헤드에 의해서 기록되는 트랙패턴을 명부로 하고, 또, 다른 쪽 아지마스각을 가지는 헤드에 의해서 기록되는 트랙패턴을 암부로 하였을 때에 얻어지는 트랙패턴과 실질적으로 동등하고, 적어도 1개 이상의 변위측정라인을 따른 상기 이상적인 트랙패턴에 대한 변위분포가 이미 알려져 있는 유사트랙패턴을, 그들 표면이, 상기 자기기록 트랙검사장치에 상기 자기테이프를 설치하였을 때의 상기 자기테이프 윗면의 높이위치와 실질적으로 동등한 위치가 되도록 설치하고, 상기 자기기록 트랙검사장치에 의해서, 상기 이상적인 트랙패턴에 대한 유사트랙패턴의 변위분포측정을 실시하고, 상기 변위분포와 상기 변위분포측정의 결과를 비료하여 상기 자기기록 트랙검사장치의 측정정밀도를 검출하는 것을 특징으로 하는 자기기록트랙촬상을 위한 광학계의 교정방법.
  25. 제24항에 있어서, 상기 변위분포측정은, 상기 유사트랙패턴의 화상에 있어서, 변위분포측정방향의 프리에변환을 행하고, 얻어지는 주파수수펙트럼으로부터 1차주파수성분을 추출하고, 추출한 1차주파수성분에 역프리에변환을 행하고, 그 결과의 실수부와 허수부와의 비로부터 상기 유사트랙패턴의 화상의 위상값분포를 산출하고, 상기 위상값분포를 이용하여, 상기 유사트랙패턴화상의 변위분포를 산출하는 것을 특징으로 하는 광학계의 교정방법.
  26. 자기기록재생장치에 의해서 기록되고 가시화처리가 행하여진 자기테이프상의 자기기록트랙의 트랙패턴을, 광학계를 통해서 촬상수단에 의해 촬상하고, 검사하는 자기기록 트랙검사장치용 기준게이지로, 그 표면상에, 그 기준게이지의 좌표계의 기준이 되는 선패턴과, 상기 선패턴의 기준방향에 대하여 소정의 각도를 가지도록 등피치로 그려진 격자패턴을 가지며, 상기 자기기록재생장치에 있어서, 각각 소정의 아지마스각을 가지는 2개 이상의 헤드에 의해서 자기테이프상에 기록되는 이상적인 트랙패턴 중, 한쪽의 아지마스각을 가지는 헤드에 의해서 기록되는 트랙패턴을 명부로 하고, 또, 다른 쪽 아지마스각을 가지는 헤드에 의해서 기록되는 트랙패턴을 암부로 하였을 때에 얻어지는 트랙패턴과 실질적으로 동등한 유사트랙패턴을 가지며, 상기유사트랙패턴상의 적어도 1개 이상의 변위측정라인을 따른, 상기 유사트랙패턴의 이상적인 트랙패턴에 대한 변위분포가 아미 알려져 있고, 상기 선패턴, 상기 격자패턴 및 상기 유사트랙패턴은,상기 자기기록트랙 검사장치에 설치되었을 때의 그들의 표면이, 상기 자기기록트랙 검사장치에 상기 자기테이프를 설치하였을 때의 그 자기 테이프 윗면의 위치와 실질적으로 동등하게 되는 두께를 가지고 있는것을 특징으로 하는 기준게이지.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970001896A 1996-02-23 1997-01-23 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법과 광학계의 교정방법 및 광학계의 교정에 사용하는 기준게이지 KR100267809B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP06184796A JP3672371B2 (ja) 1996-02-23 1996-02-23 撮像手段による実空間長測定方法及び光学系の校正方法、並びに光学系の校正に用いる基準ゲージ
JP61847 1996-02-23

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970062737A true KR970062737A (ko) 1997-09-12
KR100267809B1 KR100267809B1 (ko) 2001-01-15

Family

ID=13182902

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970001896A KR100267809B1 (ko) 1996-02-23 1997-01-23 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법과 광학계의 교정방법 및 광학계의 교정에 사용하는 기준게이지

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP3672371B2 (ko)
KR (1) KR100267809B1 (ko)
CN (2) CN100401376C (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100870999B1 (ko) * 2006-08-29 2008-11-27 김원섭 이미지 편집 시 사이즈 정보 자동 입력 방법 및 이를 위한기록 매체
KR100889872B1 (ko) * 2007-11-08 2009-03-24 (주)와이티에스 디스플레이용 글라스 기판 얼라인 시스템의 얼라인 카메라진직도 자동 보정방법

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003065725A (ja) * 2001-08-24 2003-03-05 Rohm Co Ltd 厚さ測定装置
JPWO2008105463A1 (ja) * 2007-02-28 2010-06-03 株式会社ニコン 検査装置の製造方法
JP4416827B1 (ja) * 2008-09-10 2010-02-17 シャープ株式会社 評価装置、校正方法、校正プログラム、及び、記録媒体
JP2010160051A (ja) * 2009-01-08 2010-07-22 Mitsutoyo Corp 画像機器の校正用パターン
JP4907725B2 (ja) * 2010-03-23 2012-04-04 シャープ株式会社 キャリブレーション装置、欠陥検出装置、欠陥修復装置、表示パネル、表示装置、キャリブレーション方法
CN104567664A (zh) * 2013-10-29 2015-04-29 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 影像量测系统、影像量测系统的使用方法和终端装置
JP6871561B2 (ja) * 2016-08-15 2021-05-12 国立大学法人福井大学 変位を測定する方法
CN107352241B (zh) * 2017-07-19 2023-09-01 天奇自动化工程股份有限公司 具有皮带断裂预警功能的升降装置及其功能实现方法
CN108459419B (zh) * 2018-01-17 2020-05-05 中国科学院上海光学精密机械研究所 基于光栅衍射的滤波器小孔对准调整装置和方法
CN109683547A (zh) * 2018-12-28 2019-04-26 中铝瑞闽股份有限公司 一种基于数字量控制的板材对中系统及其工作方法
CN115014142A (zh) * 2022-05-27 2022-09-06 河南大学 一种基于机器视觉的钢卷尺刻度误差测量方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2084604U (zh) * 1991-03-06 1991-09-11 中国科学院光电技术研究所 标尺光栅精度检测仪

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100870999B1 (ko) * 2006-08-29 2008-11-27 김원섭 이미지 편집 시 사이즈 정보 자동 입력 방법 및 이를 위한기록 매체
KR100889872B1 (ko) * 2007-11-08 2009-03-24 (주)와이티에스 디스플레이용 글라스 기판 얼라인 시스템의 얼라인 카메라진직도 자동 보정방법

Also Published As

Publication number Publication date
CN1163390A (zh) 1997-10-29
KR100267809B1 (ko) 2001-01-15
CN1404034A (zh) 2003-03-19
JP3672371B2 (ja) 2005-07-20
CN100401376C (zh) 2008-07-09
CN1090796C (zh) 2002-09-11
JPH09229635A (ja) 1997-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6731391B1 (en) Shadow moire surface measurement using Talbot effect
KR970062737A (ko) 촬상수단에 의한 실공간길이 측정방법과 광학계의 교정방법 및 광학계의 교정에 사용하는 기준게이지
JP5818218B2 (ja) 高次元輝度情報を用いた縞画像の位相分布解析方法、装置およびそのプログラム
Badulescu et al. Investigation of the grid method for accurate in-plane strain measurement
KR101916499B1 (ko) 간섭 감지 시스템에서 움직임을 보상하기 위한 방법 및 장치
CN102498368B (zh) 包括光学应变仪的远程位移传感器的装置及其系统
JP7294806B2 (ja) イメージング装置における歪み補正に関する方法、システム及び装置
JP2009264852A (ja) 格子画像の位相解析方法およびそれを用いた物体の変位測定方法ならびに物体の形状測定方法
JP2009522561A (ja) 周期構造の光学検査方法及びシステム
JP4775540B2 (ja) 撮影画像における歪曲収差補正方法
JP3629532B2 (ja) 連続移動物体のリアルタイム形状計測方法及びシステム
JP6035031B2 (ja) 複数の格子を用いた三次元形状計測装置
CN114199160B (zh) 基于二值编码光栅散焦投影的电路板元器件几何检测方法
JP2538435B2 (ja) 縞位相分布解析方法および縞位相分布解析装置
Schoenleber et al. Fast and flexible shape control with adaptive LCD fringe masks
CN110308117A (zh) 衍射距离校准方法及系统和图像重建方法及系统
CN112697259B (zh) 基于组合条纹的梁结构模态振型测量装置及方法
CN110631487B (zh) 一种利用激光散斑自相关技术测量横向微位移的方法
JPH03222102A (ja) トラックの変位測定方法およびトラック変位測定装置
JP2727740B2 (ja) 実装基板外観検査装置の基板高さ測定回路
KR100229070B1 (ko) 인쇄 회로 기판의 크림 납 검사 장치 및 방법
Morimoto et al. Accuracy of sampling moiré method
CN112985276B (zh) 电路板的厚度量测方法及厚度量测系统
KR101772771B1 (ko) 라인 스캔과 에어리어 스캔을 이용한 형상 측정 방법
JPH01293478A (ja) パターン検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20070625

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee