KR970062689A - 기체 크로마토그래피를 사용하여 샘플가스중의 산소 및 기타 상호작용 가스에 대한 감도를 강화시키는 방법 - Google Patents

기체 크로마토그래피를 사용하여 샘플가스중의 산소 및 기타 상호작용 가스에 대한 감도를 강화시키는 방법 Download PDF

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해롤드 스무드 쥬니어 조지
아더 자트코 데이빗
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윌리엄 에프. 마쉬
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Abstract

본 발명은 감지장치내로 상호작용 가스(즉, 산소)의 공지된 소량을 도핑하여 상기 장치내 상호작용 가스 반응부위 또는 흡착부위를 포함시킴으로써 함유된 상호 작용 가스를 정확하고 재생가능하고 감응성있게 감지하는 미량의 상호작용 가스(예,산소)를 함유된 상호 작용 가스를 정확하고 재생가능하고 감응성있게 감지하는 미량의 상호작용 가스(예,산소)를 함유하는 가스중의 상호작용 가스(예,산소)의 미량을 감지하는 방법에 관한 것이다. 더욱 구체적으로는, 본 발명은 분석될 샘플가스내에 함유된 미량의 산소를 감지하기위해 소량의 산소로 기체 크로마토그래프의담체가스를 도핑시키는 것에 관한 것이다.

Description

기체 크로마토그래프를 사용하여 샘플가스중의 산소 및 기타 상호작용 가스에 대한 감도를 강화시키는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 실시예 1의 조건하에서 헬륨 담체 가스중의 질소 및 3.9PPM 의 산소를 함유하는 샘플 가스의 기체 크로마토그램이다.
제2도는 헬륨 담채 가스중의 실시예 2에 인용된 샘플내에 2.4PPM 의 산소를 함유하는 샘플 가스의 기체 크로마토그램이다.
제3도는 헬륨 담체가스중 5.8 PPM 의 산소를 함유하며 이 담채가스를 소량의 산소로 도핑한 실시예 3의 샘플가스의 기체 크로마토그램이다.

Claims (15)

  1. 산소, 일산화탄소, 수소, 이산화탄소, 플루오르, 염소 및 물로 이루어진 군으로부터 선택되는 상화작용가스를 감응하는 감지기와 기체 교통하는 기체 크로마토그래프를 사용하여 상기 상호작용 가스를 감지하므로써, 담채가스와 혼합되어 샘플가스중에 함유되어 있는 상기 상호작용 가스의 미량을 감지하는 방법에 있어서,상기 감지전에 상기 상호작용 가스 소량으로 상기 담채 가스를 도핑시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 샘플 가스는 염화수소, 브롬화수소, 아르신, 포스핀 ,실란 ,트리플루오르화질소, 핵사플루오르에탄, 트리플루오르메탄, 질소, 아르고느 헬륨, 수소 및 그 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 담채 가스는 헬륨, 아르곤, 질소 및 그 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 샘플 가스중의 상호작용 가스의 상기 미량은 1000ppm 이하인 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 샘플 가스중의 상호작용 가스의 상기 미량은 100ppm 이하인 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 샘플 가스중의 상호작용 가스의 상기 미량은 1ppm 이하인 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 담체가스내로 도핑되는 상호작용 가스의 상기 소량은 10ppm이하인 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 담체가스내로 도핑되는 상호작용 가스의 상기 소량은 1ppm 이하인 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 담체가스내로 도핑되는 상호작용 가스의 상기 소량은 100ppb 이하인 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상호작용 가스의 상기 소량을 동적 희석, 침투 및 보정된 누출로 이루어진 군으로부터 선택된 방법에 의해 상기 담채 가스내로 도핑시키는 방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 상호작용 가스에 감응하는 상기 감지기는 열전도 감지기, 방전이온화 감지기, 헬륨 이온화 감지기 및 고주파수 방전 감지기로 이루어진 군으로부터 선택하는 방법.
  12. 제1항에 있어서, 상기 기체 크로마토그래프는 제올라이트 분자체, 다공성 중합체, 실리카겔, 탄소분자체 및 그 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택도는 흡착제로 충전시키는 방법.
  13. 제1항에 있어서, 상호작용 가스의 상기 소량을 상기 담채 가스내 상기 샘플 가스의 도입지점의 상기 담체 가스 다운스트림내로 도핑시키는 방법
  14. 제1항에 있어서, 상호작용 가스의 상기 소량을 상기 담채 가스내 상기 샘플 가스의 도입지점의 상기 담체 가스 업스트림내로 도핑시키는 방법
  15. 산소를 감응하는 감지기와 기체 교통하는 기체 크로마토그래프를 사용하여 산소를 감지하므로써 담채 가스와 혼합된 샘플 가스내 미량의 산소를 감지하는 방법에 있어서, 상기 감지전에 소량의 산소로 상기 담채 가스를 도핑시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임
KR1019970004038A 1996-02-14 1997-02-12 기체 크로마토그래피를 사용하여 샘플가스중의 산소 및 기타 상호작용 가스에 대한 감도를 강화시키는 방법 KR970062689A (ko)

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