KR970058857A - 반송 로봇 - Google Patents

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KR970058857A
KR970058857A KR1019970001933A KR19970001933A KR970058857A KR 970058857 A KR970058857 A KR 970058857A KR 1019970001933 A KR1019970001933 A KR 1019970001933A KR 19970001933 A KR19970001933 A KR 19970001933A KR 970058857 A KR970058857 A KR 970058857A
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KR
South Korea
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collar
gear
arm
drive shaft
flat belt
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KR1019970001933A
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야스히토 이타가키
Original Assignee
야스히토 이타가키
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  • Transmission Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

반송로봇(10)은 기대(14), 제1 및 제1중간암(16,18) 및 선단암(22)을 가진다. 제1중간암(16)의 구동샤프트(48) 및 종동샤프트(68)에는 각각 제1 및 제2풀리(72A, 72B)가 고정되고, 이 사이에 평벨트(74)가 가로질러진다. 각 폴리(72A, 72B)는 내측의 보스(76),와, 외측의 칼라(78)를 가지며, 보스(76)에 편심링(88)이 장착된다. 평벨드(74)는 , 각 풀리(72A, 72B)의 칼라(78)의 외주를 회전함과 아울러, 칼라(78)의 측면개구(84)를 통하여 칼라(78)내에 도입되고, 편심링(88)의 외주를 회전한다. 보스(76)에 대하여 편심링(88)을 회전방향으로 위치 조정함으로써, 평벨트(74)의 텐션(tension)을 조정한다.

Description

반송 로봇
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시형태에 관한 반도체 웨이퍼용 반송 로봇을 나타내는 사시도
제2도는 선단암의 변경되 예를 나타내는 평면도
제 3도는 제1도에 도시한 반솔 로봇의 기대내에 마련된 구동기구를 나타내는 부분단면정면도
제4도는 제3도에 도시한 구동기구의 평면도
제5도는 제3도에 도시한 구동기구의 부분단면측면도
제6도는 제1도에 도시한 반송 로봇의 제1중간암의 내부를 나타내는, 제7도의 XI-XI선에 따른 단면도
제7도는 제6도의 XII-XII선에 따른 단면을 포함하는, 제1도에 도시된 반송로봇의 제1 및 제2중간암을 나타내는 측면도

Claims (10)

  1. 구동원(42)으로부터의 동력을 받는 구동샤프트(48)에 접속된 제1암(16)과, 상기 구동샤프트의 동력을 받는 종동샤프트(68)를 개재하여 상기 제1암에 접속된 제2암(18)과, 상기 제2암에 접속된 피처리체를 지지하기 위한 지지부(22)를 구비하는 반솔로봇으로서; 상기 구동샤프트에 부착된 제1풀리, 즉 상기 구동샤프트에 고정되는 내측보스(76)와, 이와 간격을 두고 떨어져 있으며 측면개구(84)를 가지는 외측칼라(78)를 구비하는 그러한 제1풀리(72A) 및, 종동샤프트에 부착된 제2풀리(72B)와; 상기 칼라내에 상기 보스에 대하여 회전방향으로 위치조정이 가능하게 고정되는 편심링(88)과; 그리고 상기 제1 및 제2풀리 사이에 가로질러진 평벨트(74), 즉 상기 칼라의 외주를 회전함과 아울러, 상기 측면개구를 통하여 상기 칼라내에 도입되고, 상기 칼라내에서 상기 편심링의 외주를 회전하는 그러한 평벨트(74)를 더울 포함하여, 상기 보스에 대하여 상기 편심링을 회전 방향으로 위치 조정함으로써 상기 평벨트의 텐션조정이 가능한 반송로봇
  2. 청구항 1항에 있어서, 상기 평벨트(74)를 상기 편심링(88)에 대하여 가압하도록 상기 보스(76)와 상기 칼라(78)와의 사이에 착탈이 자유롭게 장착되는 벨트고정부재(96)를 더울 포함하는 반송로봇
  3. 청구항 2항에 있어서, 상기 보스(76)에 홈(95)이 형성되고, 상기 벨트고정부재(96)가 상기 평벨트(74)를 상기 홈내에 밀어넣는 반송로봇
  4. 청구항 1항에 있어서, 상기 측면개구(84)의 둘레부에 상기 평벨트(74)를 안내하기 위한 핀(86)이 마련되는 반송로봇
  5. 청구항 1항에 있어서, 상기 구동샤프트(48)와 상기 종동샤프트(68)와의 사이에서 상기 칼라(78)의 외측에 인접하도록 마련된 한쌍의 안내로울러(98)를 더욱 구비하고, 상기 한쌍의 안내로울러 사이의 거리는, 상기 칼라의 직경보다 작은 반송로봇
  6. 구동모터(42)와, 상기 구동모터로부터의 동력을 받는 동력샤프트(48)와, 상기 구동샤프트의 회전에 의해선회되는 암(16)과, 상기 암에 접속된 피처리체를 지지하기 위한 지지부(22)를 구비하는 반송로봇으로서; 상기 구동모터의 출력샤프트(43)에 부착된 제1기어(44)와, 상기 구동모터로부터의 동력을 상기 구동샤프트에 전달하기 위해, 상기 제1기어와 맞물리고, 또한 상기 구동샤프트에 접속된 제2기어(46)와, 상기 구동모터를 지지함과 아울러, 상기구동모터 및 상기 제1기어와 함께 상기 제2기어에 대하여 접근 및 이반동작이 가능한 지지암(36)과, 상기 제1기어를 상기 제2기어에 가압하기 위한 가압력을 상기 지지암에 부여하는 스프링(64)를 구비하고, 상기 스프링에 의해 부여되는 상기 가압력에 의해, 상기 제1 및 제2기어 사이의 백래쉬가 방지되는 반송로봇
  7. 청구항 6항에 있어서, 상기 지지암(36)이 선회에 의해 상기 제2기어(46)에 대하여 접근 및 이반하는 반송로봇
  8. 청구항 6항에 있어서., 상기 제2기어(46)가 상기 구동샤프트(48)에 대하여 동축상으로 고정되는 반송로봇
  9. 청구항 6항에 있어서, 상기 스프링(64)이 인장스프링인 반송로봇
  10. 청구항 6항에 있어서, 상기 지지부(22)에 상기 피처리체를 놓기 위한 복수의 지지패드(26)를 더욱 구비하는 반송로봇
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970001933A 1996-01-23 1997-01-23 반송 로봇 KR970058857A (ko)

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JP00943396A JP3693731B2 (ja) 1996-01-23 1996-01-23 搬送ロボット
JP96-9433 1996-01-23

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ID=11720200

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