KR970054312A - 산화물 고온초전도박막/비 초전도박막의 층상구조로 구성된 a-축 수직배향 초전도접합의 제조방법 - Google Patents

산화물 고온초전도박막/비 초전도박막의 층상구조로 구성된 a-축 수직배향 초전도접합의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 터널형 조셉슨접합을 위한 산화물 고온초전도접합을 제조하는 공정과 관련된 고온초전도 박막/산화물 상전도박막/산화물 절연박막/고온초전도 박막/산화물 상전도박막의 층상구조로 구성된 a-축 수직 고온초전도 접합을 산화물 단결정기판위에 제조하는 방법에 관한 것으로서, 산화물 단결정기판을 800℃와 850℃ 사이의 온도에서 열처리한 후, 630℃와 650℃ 사이의 기판온도에서 상기 기판 상부에 제1층 산화물 상전도박막을 형성하는 제1단계와; 상기 산화물 결정기판의 온도를 750℃와 770℃ 사이로 승온한 후, 상기 제1층 산화물 상전도박막 상부에 제1층 a-축 수직배향 YBCO 고온초전도 박막을 증착하는 제2단계와; 상기 산화물 결정기판의 온도를 550℃와 600℃ 사이로 냉각하여 상기 제1층 a-축 수직배향 YBCO 고온초전도 박막위에 산화물 절연박막을 증착하는 제3단계와; 상기 산화물 결정기판의 온도를 630℃와 650℃ 사이로 승온한 후, 상기 산화물 절연박막 위에 제2층 비초전도 산화물 박막을 증착하는 제4단계와;, 상기 산화물 결정기판의 온도를 750℃와 770℃ 사이로 승온하여 상기 제2층 비초전도 산화물 박막위에 제2층 산화물 고온초전도박막을 증착하는 제5단계를 포함하여 이루어지며, a-축 수직배향을 갖는 고온초전도 다층박막구조와 a-축 수직배향 YBCO 고온초전도 박막의 b-축과 c-축이 기판표면에 평행하고 일정한 방향으로 정렬시킨 다층박막구조 및 77k 이상에서 초전도 특성을 나타내는 a-축 수직배향 고온초전도 접합 그리고, 고온초전도체의 전자소자 응용에 필수적인 a-축 수직배향 고온초전도 터널형 조셉슨접합을 얻을 수 있는 효과가 있다.

Description

산화물 고온초전도박막/비 초전도박막의 층상구조로 구성된 a-축 수직배향 초전도접합의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 산화물 고온초전도박막/비 초전도박막의 층상구조로 구성된 a-축 수직배향 초전도접합의 단면 구조도.

Claims (9)

  1. 고온초전도 박막/산화물 상전도박막/산화물 절연박막/고온초전도 박막/산화물 상전도박막의 층상구조를 구성된 a-축 수직배향 고온초전도 접합구조를 형성하기 위하여 산화물 단결정기판을 800℃와 850℃ 사이의 온도에서 열처리한 후, 630℃와 650℃ 사이의 기판온도에서 상기 기판 상부에 제1층 산화물 상전도박막을 형성하는 제1단계와; 상기 산화물 결정기판의 온도를 750℃와 770℃ 사이로 승온한 후, 상기 제1층 산화물 상전도박막 상부에 제1층 a-축 수직배향 YBCO 고온초전도 박막을 증착하는 제2단계와; 상기 산화물 결정기판의 온도를 550℃와 600℃ 사이로 냉각하여 상기 제1층 a-축 수직배향 YBCO 고온초전도 박막위에 산화물 절연박막을 증착하는 제3단계와; 상기 산화물 결정기판의 온도를 630℃와 650℃ 사이로 승온한 후, 상기 산화물 절연박막 위에 제2층 비초전도 산화물 박막을 증착하는 제4단계와;, 상기 산화물 결정기판의 온도를 750℃와 770℃ 사이로 승온하여 상기 제2층 비산화물초전도 박막위에 제2층 산화물 고온초전도박막을 증착하는 제5단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 산화물 고온초전도박막/비 초전도박막의 층상구조로 구성된 a-축 수직배향 초전도접합의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1층 산화물 상전도박막과, 상기 제1층 a-축 수직배향 YBCO 고온초전도 박막과, 상기 산화물 절연박막과 상기제2층 비초전도 산화물 박막과, 상기 제2층 산화물 고온초전도박막의 증착 공정이 엑시머 펄스레이저에 의한 증착공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 산화물 고온초전도박막/비 초전도박막의 층상구조로 구성된 a-축 수직배향 초전도접합의 제조방법
  3. 제1항에 있어서, 상기 산화물 결정기판이 PrGaO3또는 LaSrGaO4으로 구성되는 것을 특징으로 하는 산화물 고온초전도박막/비 초전도박막의 층상구조로 구성된 a-축 수직배향 초전도접합의 제조방법
  4. 제1항에 있어서, 상기 산화물 절연박막은 PrGaO3, LaSrGaO4또는 LaSrAlO4로 구성되는 것을 특징으로 하는 산화물 고온초전도박막/비 초전도박막의 층상구조로 구성된 a-축 수직배향 초전도접합의 제조방법
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1층과 제2층의 산화물 상전도박막은 PrBa2Cu3O7-x로 구성되는 것을 특징으로 하는 산화물 고온초전도박막/비 초전도박막의 층상구조로 구성된 a-축 수직배향 초전도접합의 제조방법
  6. 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 제1층과 제2층의 산화물 상전도박막의 b-축이 기판표면에 수직한 방향을 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 산화물 고온초전도박막/비 초전도박막의 층상구조로 구성된 a-축 수직배향 초전도접합의 제조방법
  7. 제1항에 있어서, 상기 제1층과 제2층의 고온초전도 박막이 YBa2Cu3O7-x로 구성되는 것을 특징으로 하는 산화물 고온초전도박막/비 초전도박막의 층상구조로 구성된 a-축 수직배향 초전도접합의 제조방법
  8. 제1항 또는 제7항에 있어서, 상기 제1층과 제2층의 고온초전도 박막의 a-축이 기판표면에 수직한 배향을 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 산화물 고온초전도박막/비 초전도박막의 층상구조로 구성된 a-축 수직배향 초전도접합의 제조방법
  9. 제1항 또는 제7항에 있어서, 상기 제1층과 제2층의 고온초전도 박막의 b-축과 c-축의 방향은 기판표면에 평행하게 일정한 한 방향으로 정렬되게 하는 것을 특징으로 하는 산화물 고온초전도박막/비 초전도박막의 층상구조로 구성된 a-축 수직배향 초전도접합의 제조방법
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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