KR970053350A - 웨이퍼 핸들링 장치 - Google Patents

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KR970053350A
KR970053350A KR1019950069734A KR19950069734A KR970053350A KR 970053350 A KR970053350 A KR 970053350A KR 1019950069734 A KR1019950069734 A KR 1019950069734A KR 19950069734 A KR19950069734 A KR 19950069734A KR 970053350 A KR970053350 A KR 970053350A
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황창범
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
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Abstract

웨이퍼 핸들링장치를 개시한다. 이 웨이퍼 핸들링장치는 좌우 직선운동을 x축 운동부와, 상하 직선운동을 하는 z축 운동부와, 회전운동을 하는 θ축 운동부로 이루어져 각각의 운동축을 모듈화한 것에 특징이 있다. 본 발명을 채용함으로써, 각 운동축의 모듈화로 인한 소프트웨어적인 편리성 및 각 자유도별 시험 평가의 용이함, 귀환 복귀 센서의 불필요의 효과가 있다.

Description

웨이퍼 핸들링 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 웨이퍼 핸들링 장치의 x축 운동부를 간략하게 도시한 측면도.

Claims (5)

  1. 제1연결부재에 설치된 가이드부에 슬라이딩 가능하게 설치된 웨이퍼 그리퍼 아암과, 이 웨이퍼 그리퍼 아암을 상기 가이드부를 따라 왕복 이송시키는 제1구동부를 구비하여 된 x 축 운동부와; 상기 제1 연결부재에 의해 고정되는 이송부재와, 상기 제2 연결부재에 설치되어 상기 이송부재를 상하운동 시키는 제2구동부를 구비하여 된 z축 운동부와 프레임에 지지되어 상기 제2연결부재를 정역회전시키는 제3구동부를 구비하여 된 θ축 운동부;를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 핸들링 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제 1구동부는, 제 1구동모타와, 상기 제1구동모타의 구동축에 결합되어 회전하며 그 원주면에 안착홈이 형성된 제1풀리와, 상기 제1풀리의 홈에 안착되고 그 회 전력을 소정거리에 위치하는 소정부위에 전달하는 제1벨트와, 상기 제1벨트에 의해 회전력을 전달받는 제2풀리를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 핸들링 장치.
  3. 제1항에 있어서, 제2구동부는, 제2 구동모타와, 상기 제2 구동모타의 구동축에 결합된 볼스크류와, 상기 볼 스크류와 나사 결합되고 상기 제2 연결부재에 의해 고정 지지되며, 상하운동을 하는 볼 스플라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 핸들링 장치.
  4. 제1항에 있어서, 제3구동부는, 제3 구동모타와, 상기 제3 구동모타의 구동축에 결합되며 그 원주면에 안착홈이 형성된 제3풀리와 상기 안착홈에 안착되며 소정거리에 회전력을 전달하늘 제2벨트와, 상기 제2벨트에 의해 회전력을 전달받으며, 프레임에 의해 지지되고, 그 관통홈에 제2 연결부재가 결합되는 제4풀리를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 핸들링 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제2 연결부재는 그 하부에 전체를 지지하며, 회전운동을 안내하는 크로스 롤러 베어링을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 핸들링 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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KR100641817B1 (ko) * 2002-05-30 2006-11-02 삼성코닝정밀유리 주식회사 유리기판용 핸들러

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