KR970052672A - 웨이퍼 연마제의 불순물 제거 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체장치의 기판으로 이용되는 웨이퍼의 연마공정에 있어서, 상기 웨이퍼를 연마하기 위한 연마제내의 불순물 이온을 제거하는 웨이퍼 연마제내의 불순물 이온 제거장치 및 그 방법에 관한 것으로, 웨이퍼 연마제를 담고 있는 연마조와; 상기 연마조의 연마제내로 투입된 두개의 전극판과; 상기 두개의 전극판을 양극판 및 음극판으로 대전시키기 위해 상기 두개의 전극판과 연결된 전원부와; 사상기 연마조내의 연마재를 교반시키는 역할을 맡는 회전날개로 이루어진 구성과, 웨이퍼 연마재를 담고 있는 연마조와, 이 연마조내에 설치된 두개의 전극판과, 상기 연마재를 교반하기 위해 상기 연마조내에 설치된 회전날개를 구비한 웨이퍼 연마제의 불순물 제거장치의 불순물 제거방법에 있어서, 상기 두개의 전극판이 양극과 음극으로 대전되도록 전원을 공급하는 공정을 포함하고 있다. 이 장치 및 방법에 의해서 웨이퍼 연마제내의 금속 불순물 이온을 제거하여 사용함으로써, 반도체 장치 제조공정중 약액세정 처리공정을 수행하지 않을 수 있고, 이에 따라 반도체 장치의 제조공정을 단순화시킬수 있다.

Description

웨이퍼 연마제의 불순물 제거장치 및 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 연마제의 불순물 이온 제거장치 및 제거 방법을 보이는 도면

Claims (3)

1. 웨이퍼 연마제내의 불순물 제거장치에 있어서, 웨이퍼 연마제(10)를 담고 있는 연마조(12)와; 상기 연마조(12)의 연마제(10)내로 투입된 두개의 전극판과; 상기 두개의 전극판을 양극판(14) 및 음극판(16)으로 대전시키기 위해 상기 두개의 전극판과 연결된 전원부(18)와; 상기 연마조(12)내의 연마재(10)를 교반시키기 위해 상기 연마제(10)내에 설치된 회전날개(20)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마제의 불순물 제거장치.
2. 웨이퍼 연마재(10)를 담고 있는 연마조(12)와, 이 연마조(12)내에 설치된 두개의 전극판(14,16)과, 상기 연마재(10)를 교반하기 위해 상기 연마조(12)내에 설치된 회전날개(20)를 구비한 웨이퍼 연마제의 불순물 제거장치의 불순물 제거방법에 있어서, 상기 두개의 전극판(14,16)이 양극과 음극으로 대전되도록 전원을 공급하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마제의 불순물 제거 방법.
3. 제2항에 있어서, 상기 양극판(14)은 백금을 사용하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마제의 불순물 제거장치 및 제거방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.