KR970052671A - 브러쉬갭조절기능을 갖는 파티클제거장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체장치의 제조공정중 웨이퍼상에 미세한 파티클을 브러쉬의 회전에 의해 제거하는 파티클제거장치에 있어서 브러쉬와 웨이퍼표면 사이의 브러쉬갭을 전자적으로 조절할 수 있는 장치에 관한 것으로서, 그 구성은 상기 비러쉬와 상기 웨이퍼사이에 레이저빔을 주사하는 레이저빔주사부(20); 상기 주사된 레이저 빔을 검출하여 상기 브러쉬와 상기 웨이퍼의 간격의 검출신호를 출력하는 레이저빔검출부(30)와; 상기 레이저빔의 검출신호를 입력하여, 그 검출신호와 적정의 브러쉬갭에 대응하는 기준신호를 비교하여서 모터제어신호를 출력하는 시스템제어용 컴퓨터(40)와; 상기 모터제어신호에 따라 상기 브러쉬아암의 높이를 조절하는 갭조절수단(50)을 포함한다. 상술한 본 발명의 파티클제거장치에 의하면, 브러쉬갭을 객관적으로 관리할 수 있을뿐만 아니라,파티클제거공정중에서도 그 브러쉬갭을 자동으로 조절할 수 있어서, 파티클제거능력을 향상시킬수 있다. 또한 항상 적정한 브러쉬갭을 유지할 수있기 때문에 브러쉬가 웨이퍼가 표면에 손상을 주는 문제를 방지할 수있고, 또한 한 설비에서 여러 막질에 대한 최적의 브러쉬갭을 자동적으로 조절할 수 있다.

Description

브러쉬갭 조절기능을 갖는 파티클제거장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제3도는 본 발명의 실시예에 따른 파티클제거장치의 구성을 보여주고 있는 도면.

Claims (3)

1. 브러쉬아암(16)에 연결된 브러쉬축(15)에 의해서 고정된 브러쉬(14)를 회전시셔서 웨이퍼(12)상에 있는 파티클을 제거하는 파티클제거장치에 있어서; 상기 비러쉬와 상기 웨이퍼사이에 레이저빔을 주사하는 레이저빔주사부(20)와; 상기 주사된 레이저 빔을 검출하여 상기 브러쉬와 상기 웨이퍼의 간격의 검출신호를 출력하는 레이저빔검출부(30)와; 상기 레이저빔의 검출신호를 입력하여, 그 검출신호와 적정의 브러쉬갭에 대응하는 기준신호를 비교하여서 모터제어신호를 출력하는 시스템제어용 컴퓨터(40)와; 상기 모터제어신호에 따라 상기 브러쉬아암의 높이를 조절하는 갭조절수단(50)을 포함하는 것을 특징으로 하는 파티클제거장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 갭조절수단(50)은 상기 모터제어신호에 응답하여 댕으하는 회전력을 발생하는 스텝모터(52)와, 상기 스텝모터의 회전축에 연결되어서 회전력에 대응하여 회전되는 구동기어(54)와, 상기 구동기어의 회전에 따라 회전되어서 상기 브러쉬아암을 상하방향으로 이동되게 하는 동작기어(56)를 포함하는 것을 특징으로 하는 파티클제거장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 구동기어에 대한 상기 동작기어의 회전비가 상대적으로 크게 설정되어서 브러쉬갭의 정밀한 제어가 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 파티클제거장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.