KR970049015A - 화학 증폭형 레지스트용 베이스 수지 - Google Patents
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Abstract
본 발명에는 하기 구조식 (I)로 표시되는 화학 증폭형 레지스트용 베이스 수지가 개시되어 있다.
여기에서, R은 수소, 메틸, 에틸, 이소-프로필, n-부틸, t-부틸, 펜틸, 헥실기 또는 페닐기이고, n은 30-1000의 정수이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (1)
- 하기 구조식(I)로 표시되는 화학 증폭형 레지스트용 베이스 수지.여기에서, R은 수소, 메틸, 에틸, 이소-프로필, n-부틸, t-부틸, 펜틸, 헥실기 또는 페닐기이고, n은 30-1000의 정수이다.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950057011A KR970049015A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 화학 증폭형 레지스트용 베이스 수지 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950057011A KR970049015A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 화학 증폭형 레지스트용 베이스 수지 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970049015A true KR970049015A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66618260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950057011A KR970049015A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 화학 증폭형 레지스트용 베이스 수지 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970049015A (ko) |
-
1995
- 1995-12-26 KR KR1019950057011A patent/KR970049015A/ko not_active Application Discontinuation
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