KR970030599A - 셑업 컵(Set Up Cup) 설비와 실린더 머신의 연결장치 - Google Patents
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Abstract
비틀림 방지 및 강도를 보강한 반도체 이온주입장치의 셋업 컵 설비와 실린더 머신의 연결장치가 개시되어 있다.
본 발명은 셋업 컵 설비측과 연결된 레버와 에어 실린더와의 사이에 절연체로 구성된 연결장치에 있어서, 양측벽에 구멍이 형성되어 있으며, 양측벽을 지지하는 지지부 중앙에 구멍이 형성되어 있는 크레비스; 크레비스의 지지부 윗면에 밀착되도록 머리가 형성되고, 머리의 중앙에 지주부에 형성된 구멍을 관통하는 단봉을 이루며, 단봉의 외벽에 수나사부가 형성된 스크류; 스크류에 형성된 수나사부와 짝을 이루는 암나사부가 형성되어 스크류와 크레비스를 체결·고정토록 하는 고정구; 및 크레비스의 양측벽 사이에 레버가 핀 체결에 의해 좌·우 편향이 없도록 레버의 양측과 크레비스의 사이에 핀으로 체결되는 와셔; 를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
따라서, 연결장치의 강성을 구조적으로 보강함으로써 장시간 사용할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 셋업 컵 설비와 실린더 머신의 연결장치의 결합 상태를 나타낸 요부 단면도이다.
Claims (4)
- 셋업 컵(Set Up Cup) 설비측과 연결된 레버와 에어 실린더와의 사이에 절연체로 구성된 연결장치에 있어서, 양측으로 대응되는 측벽이 형성되고, 상기 양측벽 소정 위치에 구멍이 형성되어 있으며, 상기 양측벽을 지지하는 지지부 중앙에 구멍이 형성되어 있는 크레비스; 상기 크레비스의 지지부 윗면에 밀착되도록 소정 두께와 형상의 머리가 형성되고, 상기 머리의 중앙에 상기 지지부에 형성된 구멍을 관통하는 단봉을 이루며, 상기 단봉의 외벽 전면에 에어 실린더의 피스톤 로드와 나사 결합되도록 수나사부가 형성된 스크류; 상기 스크류에 형성된 수나사부와 짝을 이루는 암나사부가 형성되어 있고, 상기 스크류와 상기 크레비스를 체결·고정토록 하는 고정구; 및 상기 크레비스의 양측벽 사이에 상기 레버가 핀 체결에 의해 좌·우 편향이 없도록 상기 레버의 양측과 상기 크레비스의 사이에 핀으로 체결되는 소정 두께와 형상의 와셔; 를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 셋업 컵 설비와 실린더 머신의 연결장치.
- 제1항에 있어서, 상기 크레비스와 상기 와셔가 절연체로 형성되고, 상기 스크류가 메탈재질로 형성됨을 특징으로 하는 상기 셋업 컵 설비와 실린더 머신의 연결장치.
- 제2항에 있어서, 상기 메탈 재질이 알루미늄임을 특징으로 하는 상기 셋업 컵 설비와 실린더 머신의 연결장치.
- 제2항에 있어서, 상기 절연체가 플라스틱임을 특징으로 하는 상기 셋업 컵 설비와 실린더 머신의 연결장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950042513A KR0161628B1 (ko) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 셋업 컵 설비와 실린더 머신의 연결장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950042513A KR0161628B1 (ko) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 셋업 컵 설비와 실린더 머신의 연결장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970030599A true KR970030599A (ko) | 1997-06-26 |
| KR0161628B1 KR0161628B1 (ko) | 1999-02-01 |
Family
ID=19434932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950042513A KR0161628B1 (ko) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 셋업 컵 설비와 실린더 머신의 연결장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0161628B1 (ko) |
-
1995
- 1995-11-21 KR KR1019950042513A patent/KR0161628B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0161628B1 (ko) | 1999-02-01 |
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