KR970030280A - 반도체 제조공정을 위한 가스공급계의 오염측정장치 - Google Patents
반도체 제조공정을 위한 가스공급계의 오염측정장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 제조를 위하여 반응가스를 공급하는 시스템에 구성되는 각 요소들의 이오닉(Ionic) 성분에 의한 오염도를 측정하여 정확한 오염분석을 수행하는 반도체 제조 공정을 위한 가스공급계의 오염측정장치에 관한 것이다. 본 발명은, 반도체장치 제조 공정에서 가스 공급을 위하여 설치되는 요소의 오염분석을 상기 요소로 질소가스를 유입시킴으로 인하여 포함되는 물리적 및 화학적 불순물의 정량 및 성분 등을 테스트하는 반도체 제조 공정을 위한 가스공급계의 오염측정장치에 있어서; 상기 물리적 및 화학적 불순물을 포함한 질소가스를 배기라인으로 배출하도록 구성되고, 상기 배기라인에 상기 질소가스에 포함된 이오닉 성분 불순물을 포집 및 분석하는 임핀저(Impinger)가 접속됨을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 입자성 불순물 오염도를 측정 및 포집 뿐만 아니라 이오닉 성분을 샘플링하여 오염도를 복합적으로 측정할 수 있으므로, 정확한 오염 분석 자료를 얻을 수 있는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 반도체 제조 공정을 위한 가스송급계의 오염 측정장치의 실시예를 나타내는 블록도이다.
Claims (1)
- 반도체장치 제조 공정에서 가스 공급을 위하여 설치되는 요소의 오염분석을 위하여 상기 요소로 질소가스를 유입시킴으로 인하여 포함되는 물리적 및 화학적 불순물의 정량 및 성분 등을 테스트하는 반도체 제조 공정을 위한 가스공급계의 오염측정장치에 있어서; 상기 물리적 및 화학적 불순물을 포함한 질소가스를 배기라인으로 배출하도록 구성되고, 상기 배기라인에 상기 질소가스에 포함된 이오닉(Ionic) 성분 불순물을 포집 및 분석하는 임핀저(Imfinger)가 접속됨을 특징으로 하는 반도체 제조공정을 위한 가스공급계의 오염측정장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950043657A KR970030280A (ko) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 반도체 제조공정을 위한 가스공급계의 오염측정장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950043657A KR970030280A (ko) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 반도체 제조공정을 위한 가스공급계의 오염측정장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970030280A true KR970030280A (ko) | 1997-06-26 |
Family
ID=66588830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950043657A KR970030280A (ko) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 반도체 제조공정을 위한 가스공급계의 오염측정장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970030280A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100414303B1 (ko) * | 1996-12-03 | 2004-03-30 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체웨이퍼제조장비의가스오염불량방지장치 |
| KR200489281Y1 (ko) | 2018-03-28 | 2019-08-28 | 주식회사 인토 | 공정가스라인용 오염감지기 |
-
1995
- 1995-11-24 KR KR1019950043657A patent/KR970030280A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100414303B1 (ko) * | 1996-12-03 | 2004-03-30 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체웨이퍼제조장비의가스오염불량방지장치 |
| KR200489281Y1 (ko) | 2018-03-28 | 2019-08-28 | 주식회사 인토 | 공정가스라인용 오염감지기 |
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