KR970030122A - 2극구조의 다이아몬드 전계방출소자 - Google Patents

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KR970030122A
KR970030122A KR1019950045805A KR19950045805A KR970030122A KR 970030122 A KR970030122 A KR 970030122A KR 1019950045805 A KR1019950045805 A KR 1019950045805A KR 19950045805 A KR19950045805 A KR 19950045805A KR 970030122 A KR970030122 A KR 970030122A
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KR
South Korea
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diamond
field emission
cathode
emission device
pole structure
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Application number
KR1019950045805A
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English (en)
Inventor
한정인
박준상
Original Assignee
이진주
생산기술연구원
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Abstract

본 발명은 2극구조의 다이아몬드 전계방출소자(Field Emission Device)에 관한 것으로서, 특히 소정의 다이아몬드(Diamond Like Carbon; DLC, 또는 Amorphic 하부 Diamond) 캐소오드가 형성되는 기판과 상기 소정의 다이아몬드 캐소오드의 표면적을 증가시켜, 즉 전계방출의 유효면적을 증가시켜 전자 방출 효율을 높인 2극구조의 다이아몬드 전계방출소자에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 기판과 이 기판상에 레이저 증착 또는 화학기상증착법에 의해 전자를 방출하도록 형성된 다이아몬드 캐소오드와, 상기 다이아몬드 캐소오드에서 방출된 전자가 충돌되면 그 고유 색상의 광을 발생하는 소정의 형광체가 도포되어 있으며, 상기 캐소오드에서 방출되는 전자를 잡아당기도록 전압이 인가되는 에노드전극을 구비한 2극구조의 다이아몬드 전계방출소자에 있어서, 상기 캐소오드의 표면에는 소정의 박막 형성공정에 의해 요철부가 형성되어 있는 점에 그 특징이 있다.

Description

2극구조의 다이아몬드 전계방출소자
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 2극구조의 다이아몬드 전계방출소자를 도시한 구성도.

Claims (4)

  1. 기판과, 이 기판상에 레이저 증착 또는 화학기상증착법에 의해 전자를 방출하도록 형성된 다이아몬드 캐소오드와, 상기 다이아몬드 캐소오드에서 방출된 전자가 충돌되면 그 고유 색상의 광을 발생하는 소정의 형광체가 도포되어 있으며 상기 캐소오드에서 방출되는 전자를 잡아당기도록 전압이 인가되는 에노드전극을 구비한 2극구조의 다이아몬드 전계방출소자에 있어서, 상기 캐소오드의 표면에는 소정의 박막 형성공정에 의해 요철부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 2극구조의 다이아몬드 전계방출소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 요철부는 선택적 에칭법 및 사진식각법에 의해 형성된 우물구조의 함몰부를 갖는 것을 특징으로 하는 2극구조의 다이아몬드 전계방출소자.
  3. 제1항에 있어서, 상기 요철부는 전택적 에칭법 및 사진식각법에 의해 형성된 올록볼록한 반구형상의 돌출부를 갖는 것을 특징으로 하는 2극구조의 다이아몬드 전계방출소자.
  4. 제1항에 있어서, 상기 요철부는 선택적 에칭법 및 사진식각법에 의해 형성된 발고랑과 두둑과 같은 톱니 모양의 그루브(Groove)를 갖는 것을 특징으로 하는 2극구조의 다이아몬드 전계방출소자.
KR1019950045805A 1995-11-30 1995-11-30 2극구조의 다이아몬드 전계방출소자 KR970030122A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100282266B1 (ko) * 1997-10-08 2001-03-02 김덕중 2극 구조의 전계효과 전자방출 표시소자 및 그 제조방법

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KR100282266B1 (ko) * 1997-10-08 2001-03-02 김덕중 2극 구조의 전계효과 전자방출 표시소자 및 그 제조방법

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