KR970030068A - Fed용 스페이서의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 FED용 스페이서의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 스페이서는 캐소우드 어레이 및 게이트 전극이 형성되어 있는 하판의 전면에 스페이서 형성용 물질(24)을 형성하는 단계와, 상기 스페이서 형성용 물질(24)을 노광용 광원에 선택적으로 노출시켜 노광하는 단계와, 상기 스페이서 형성용 물질(24)중 노광되지 않은 부분(24b)을 제거하여 게이트 전극의 표면상에 스페이서(24a)를 형성하는 단계에 의하여 제조된다. 상술한 본 발명의 스페이서는 단순화된 공정으로 정밀한 패터닝이 가능한 장점을 갖는다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3a도 내지 제3c도는 본 발명에 따른 FED용 스페이서의 제조 공정 순서를 나타낸 단면도.
Claims (3)
- 감광 특성을 갖는 물질을 이용한 FED용 스페이서의 제조방법에 있어서, ITO 투명전극 및 형광층이 형성되어 있는 하판의 전면에 스페이서 형성용 물질(24)을 형성하는 단계와, 상기 스페이서 형성용 물질(24)중 노광되지 않은 부분(24b)을 제거하여 애노드 기판의 표면상에 스페이서(24a)를 형성하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 FED용 스페이서의 형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 스페이서 형성용 물질(24)을 글래스 또는 다른 물질의 분말에 감광재가 포함되어 있는 물질인 것을 특징으로 하는 FED용 스페이서의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 스페이서 형성용물질(24)중 노광된 부분(24a)이 제거됨을 특징으로 하는 FED용 스페이서의 형성방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950043634A KR970030068A (ko) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | Fed용 스페이서의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950043634A KR970030068A (ko) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | Fed용 스페이서의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970030068A true KR970030068A (ko) | 1997-06-26 |
Family
ID=66588852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950043634A KR970030068A (ko) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | Fed용 스페이서의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970030068A (ko) |
-
1995
- 1995-11-24 KR KR1019950043634A patent/KR970030068A/ko not_active Application Discontinuation
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