KR970022562A - 노광장치 - Google Patents
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
발명은 램프를 일정한 에너지를 내는 정도에서 수명을 향상시키기 위한 방법으로 틈을 사용하여 램프의 수명을 연장하는 방법에 대한 것이다. 투사형 정렬기에서는 작은 구멍을 사용하게 되어 있는데, 이는 광원에서 나온 빛을 작은 구멍을 통하여 원호 모양으로 만들어 주는 역할을 하게 되고 오목 또는 볼록거울에 전사될때 균등성을 얻는데 필수적이다. 이와같이 이 틈 크기의 변경을 U.V 광원의 탐지기와 연결하면 램프의 광량이 시간이 지남에 따라 낮아지는 것을 틈의 폭을 늘려나감으로써 일정한 량의 광량를 유리위 P·R 피복된 부분에 전사시킬 수 있다. 이렇게 함으로서 기존의 방법보다 월등히 3램프의 사용시간을 연장시킬 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 이 발명의 실시예에 따른 노광장치의 구성도이다.
Claims (1)
- 본 발명은 거울투사형 배향기에 있어서, U.V램프(1)에서 광량을 탐지하는 광원탐지기(3)과 이 광원탐지기(3)에서 필요한 광량의 부족분에 대한 모터 구동전원(10)에 신호를 인가하면 슬리트(6)의 간격을 조절하여 주는 슬리트 간격 조정모터(11)로 슬리트(6)의 간격을 조정하여 주는 것을 특징으로 하는 노광장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950035167A KR970022562A (ko) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 노광장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950035167A KR970022562A (ko) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 노광장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970022562A true KR970022562A (ko) | 1997-05-30 |
Family
ID=66582560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950035167A KR970022562A (ko) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 노광장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970022562A (ko) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62193125A (ja) * | 1986-02-19 | 1987-08-25 | Canon Inc | 露光むら補正装置 |
| JPH0265222A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Nec Yamagata Ltd | 半導体装置の露光装置 |
| JPH04142020A (ja) * | 1990-10-02 | 1992-05-15 | Nec Yamagata Ltd | 露光装置 |
| KR960003103U (ko) * | 1994-06-25 | 1996-01-22 | 반도체 패키지의 성형용 금형 |
-
1995
- 1995-10-12 KR KR1019950035167A patent/KR970022562A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62193125A (ja) * | 1986-02-19 | 1987-08-25 | Canon Inc | 露光むら補正装置 |
| JPH0265222A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Nec Yamagata Ltd | 半導体装置の露光装置 |
| JPH04142020A (ja) * | 1990-10-02 | 1992-05-15 | Nec Yamagata Ltd | 露光装置 |
| KR960003103U (ko) * | 1994-06-25 | 1996-01-22 | 반도체 패키지의 성형용 금형 |
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