KR970021742A - 진공펌프 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 제조장치에 관한 것으로서, 특히 자체 순환 냉각수단을 갖는 진공펌프에 관해 개시한다. 본 발명의 진공펌프는 외부에서 계속적으로 냉각수의 유입 및 유출을 위해 필요한 유입 및 유출관을 구비하는 진공펌프에 있어서, 상기 유입 및 유출관을 구비하는 대신 외부에서 계속적인 냉각수의 공급이 필요하지 않은, 진공펌프와 일체로 구성된 냉각수단을 구비한다.
이와 같은 냉각 수단을 갖는 본 발명에 의하면, 1차 및 2차 방열판과 팬으로 구성된 자체 순환냉각수단을 구비함으로써, 종래의 진공펌프에서 외부로부터 냉각수를 유입하고 유출하기 위해 필요했던 유입 및 유출관이 필요하지 않다. 이 결과 설치장소에 구애받지 않고 펌프를 설치, 가동시킬 수 있고, 펌프의 이동이 쉽고, 유입 및 유출관의 설치에 따른 인력소모를 줄일 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 진공펌프를 나타낸 도면이다.
Claims (8)
- 외부에서 계속적으로 냉각수의 유입 및 유출을 위해 필요한 유입 및 유출관을 구비하는 진공펌프에 있어서, 상기 유입 및 유출관을 구비하는 대신 외부에서 계속적인 냉각수의 공급이 필요하지 않은, 진공펌프와 일체로 구성된 냉각수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
- 제1항에 있어서, 상기 수단은 상기 펌프를 냉각시키는 제1냉각수단과 상기 제1냉각수단을 냉각시키는 제2냉각 수단 및 상기 제2냉각 수단을 냉각시키는 제3냉각 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
- 제2항에 있어서, 상기 제1냉각 수단은 수냉식인 것을 특징으로 하는 진공펌프.
- 제2항에 있어서, 상기 제3냉각 수단은 공랭식인 것을 특징으로 하는 진공펌프.
- 제2항에 있어서, 상기 제1냉각 수단은 제1냉각제와 제1방열판으로 구성된 것을 특징으로 하는 진공펌프.
- 제2항에 있어서, 상기 제2냉각수단은 제2냉각제와 제2방열판으로 구성된 것을 특징으로 하는 진공펌프.
- 제2항 또는 제6항에 있어서, 상기 제3냉각 수단은 상기 제2방열판의 양단에 설치된 팬인 것을 특징으로 하는 진공펌프.
- 제6항에 있어서, 상기 제2냉각제는 알콜 또는 프레온에 준하는 냉매인 것을 특징으로 하는 진공펌프.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950034970A KR970021742A (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 진공펌프 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950034970A KR970021742A (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 진공펌프 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970021742A true KR970021742A (ko) | 1997-05-28 |
Family
ID=66583756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950034970A KR970021742A (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 진공펌프 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970021742A (ko) |
-
1995
- 1995-10-11 KR KR1019950034970A patent/KR970021742A/ko not_active Application Discontinuation
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |