KR970021359A - 반응성 물질 증발용 저항가열 증발원 및 그 제조방법 - Google Patents

반응성 물질 증발용 저항가열 증발원 및 그 제조방법 Download PDF

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문종호
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김종진
포항종합제철 주식회사
신창식
재단법인 산업과학기술연구소
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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Abstract

본 발명은 금속계 다층박막의 진공증착에 사용되는 저항가열 증발원 및 그 제조방법에 관한 것으로, 비정질 탄소 또는 흑연으로 이루어지는 저항가열 증발원의 표면(증발부위)에 알루미늄과 질화붕소를 촉매로 하여 안정된 탄화붕소 화합물층과 알루미늄 화합물층을 형성시키므로서, 저항가열 증발원과의 반응성이 너무 크기 때문에 증발시키기가 매우 어려운 티타늄, 철, 코발트, 니켈 및 실리콘 등을 증발시킬 수 있는 저항가옅 증발원 및 그 제조방법을 제공하고자 하는데, 그 목적이 있다.
상기한 목적 달성을 위한 본 발명은 비정질탄소 또는 흑연으로 된 저항가열 증발원에 있어서, 상기 저항가열 증발원의 증발부위가 비정질탄소 또는 흑연층, 탄화붕소 화합물층 및 알루미늄 화합물층으로 이루어진 반응성 물질 증발용 저항가열 증발원 및 이의 제조방법에 관한 것을 그 요지로 한다.

Description

반응성 물질 증발용 저항가열 증발원 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 방법이 적용되는 저항가열 증발원의 개략도,
제2도는 본 발명의 방법이 적용된 일실시예에 있어서 증발원과 증발물질사이에 생성된 화합물 층의 구조도.

Claims (2)

  1. 비정질탄소 또는 흑연으로 된 저항가열 증발원에 있어서, 상기 저항가열 증발원의 증발부위가 비정질탄소 또는 흑연층, 탄화붕소 화합물층 및 알루미늄 화합물층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반응성 물질 증발용 저항가열 증발원.
  2. 저항가열 증발원의 제조방법에 있어서, 밀도 1.4g/cm2이상의 비정질탄소 또는 흑연으로 저항가열 증발원을 제조하고 그 증발부위에 질화붕소를 도포하여 건조시키는 단계; 및 상기 제조된 저항가열 증발원을 진공증착장치내에 설치한 후 증발부위에 알루미늄을 장입하여 이를 용해시키고 1,600℃ 이상의 온도에서 열처리 하여 증발부위에 탄화붕소 화합물층 및 알루미늄 화합물층을 형성시키는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 반응성 물질 증발용 저항가열 증발원의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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