Claims (15)
회전체(8), 회전체(8)에 배치되고 바람직하게는 이것과 결합된 받침부재(10)와, 그리고 바람직하게 지지면으로서 형성된 받침홈(14)을 갖춘 시소체(12)를 구비하고 운반프레임(2)에 고정된 적어도 하나의 잠금장치(6, 6a, 6b, 6c, 6d)에 의해 운반프레임(2)상에 조임작용을 행함에 의해 적어도 하나의 플레이트체로 구성된 적어도 하나의 플레이트 구조체(4)를 풀림가능식으로 고정시키기 위한 장치에 있어서, 시소제(12)는 받침홈(14)에 의해 받침부재(10)상에 기울오질 수 있게 배치되고, 그리고 스프링부재(16)에 의해 우선적인 경사위치(PB)에서 선부하를 받고, 운반프레임(2)과 시소체(12)의 지지부(18) 사이에 배치된 플레이트 구조체(4)는 조임식으로, 그리고 바람직하게 운반프레임(2)에 대해 이동하지 않게 유지되는 것을 특징으로 하는 장치.A seesaw body 12 having a rotating body 8, a supporting member 10 disposed on and preferably coupled to the rotating body 8, and a supporting groove 14 preferably formed as a support surface; At least one plate structure composed of at least one plate body by tightening on the transport frame 2 by at least one locking device 6, 6a, 6b, 6c, 6d fixed to the transport frame 2 In the device for fixing (4) in a releasable manner, the seesaw 12 is arranged to be tilted on the support member 10 by the support groove 14, and by the spring member 16 The plate structure 4, which is subjected to a preload in the preferred inclined position PB and is disposed between the conveying frame 2 and the support 18 of the seesaw 12, is tightened and preferably conveying frame 2. The device remains unmoved relative to).
제1항에 있어서, 시소체(12)는 선부하에 대향하여 이것의 단부측에 가해진 압력에 의해 자유위치(PE)로 기울어질 수 있고, 그에 따라 플레이트 구조체(4)는 자유롭게 되고, 그리고 시소체(12)는 잠금장치(6, 6a, 6b, 6c, 6d)에 의해 운반프레임(2)에 의해 자유위치(PE)에서 제거위치(PA)까지 회전할 수 있어서 지지부(18)는 플레이트 구조체(4)의 지지영역으로부터 완전히 회전될 수 있게 되고 따라서 플레이트 구조체(4)가 운반프레임(2)으로부터 이탈될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.2. The platen body (12) according to claim 1 can be inclined to the free position (PE) by the pressure exerted on its end side against the load and thus the plate structure (4) is freed and the seesaw The sieve 12 can be rotated from the free position PE to the removal position PA by the transport frame 2 by the locking devices 6, 6a, 6b, 6c, 6d so that the support 18 is plate structure. Apparatus characterized in that it is possible to rotate completely from the support area of (4) and thus the plate structure (4) can be released from the conveying frame (2).
제1항 또는 제2항에 있어서, 회전체(8)는 기본적으로, 고정부재(20a, 20b, 20c)에 의해 운반프레임(2)과 바람직하게 풀림가능식으로 결합되고 오목부(40)를 갖추고 내측원주상에 링홈(24)이 형성되어 있는 받침프레임(22)고하 오목부(44)에 배치된 회전판(26)을 구비하고 있고, 회전판(26)은 이것의 원주상의 외측면에 형성된 태핏(28a, 28b, 28c)에 의해 링홈(24)내로 안내되고 그리고 회전가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 장치.3. The rotating body (8) according to claim 1 or 2, is basically coupled to the conveying frame (2) by means of fixing members (20a, 20b, 20c), preferably releasingly and concave portion (40). And a rotating plate 26 disposed in the lower concave portion 44 of the support frame 22 in which the ring groove 24 is formed on the inner circumference, and the rotating plate 26 is formed on the outer circumferential surface thereof. And is rotatably guided into the ring groove (24) by a tappet (28a, 28b, 28c).
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 회전판(26)은 전방측으로 시소체(12)를 수용하기 위해 바람직하게 이것의 직경에 걸쳐 방사상 방향으로 연장된 오목부(30)와, 바람직하게 오목부(30)내의 홈으로 형성된 받침부재 수용부(32)를 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.4. The rotating plate 26 is preferably a recess 30 which extends in a radial direction, preferably over its diameter, for receiving the body 12 on the front side. And a support member receiving portion (32) formed as a groove in the recess (30).
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 받침부재(10)는 바람직하게 특수간으로 제작된 삼각핀(10)으로 제작되고, 삼각핀은 그 외피면에 받침부재 수용부(32)내에 기본적으로 형상결합식으로 이동하지 않도록 설치되는 것을 특징으로 하는 장치.The support member (10) according to any one of claims 1 to 4, wherein the support member (10) is made of a triangular pin (10), which is preferably made of special interlocks, and the support pin (32) is supported on its outer surface. Apparatus characterized in that it is installed so as not to move basically in the form of coupling.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 스프링부재(16)는 바람직하게 U자형으로 판스프링(16)으로 구성되어 있고, 판스프링은 자유로운 양 스프링태브(38a, 38b)가 회전판(26)의 전방측면에 바람직하게 2개의 고정베이스(40a, 40b)에 의해, 그리고 오목부(30)의 상부에서 이것에 대해 대칭적으로 배치되어 풀림가능식으로고정되고 그리고 회전판(26)위로 돌출한 스프링판(42)에 의해 시소체(12)상에 스프링응력을 가하게 되고, 그에 따라 시소체(12)는 우선 경사위치(PB)에서 선부하를 받는 것을 특징으로 하는 장치.The spring member (16) according to any one of the preceding claims, wherein the spring member (16) is preferably composed of a leaf spring (16) in a U-shape, and the leaf springs are free of both spring tabs (38a, 38b). On the front side of 26 it is preferably arranged symmetrically about this by two fixing bases 40a, 40b and at the top of the recess 30, which is fixed in a releaseable manner and protrudes onto the swivel plate 26. The spring plate (42) exerts a spring stress on the body (12), whereby the body (12) is first subjected to a preload in an inclined position (PB).
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 운반 플레이트92)는 시소체(12)의 지지부(18)가 제거위치(PA)로 기울어질 수 있게 되는 오목부(44a, 44b, 44c, 44d)를 갖추고 있고 그에 따라 각각의 잠금장치(6,6a,6b,6c,6d)는 회전판(26)의 자발적인 회전을 방지하는 것이 보장되는 것을 특징으로 하는 장치.7. The conveying plate (92) according to any one of claims 1 to 6, wherein the conveying plate (92) is provided with recesses (44a, 44b, 44c), by which the support portion (18) of the body (12) can be tilted to the removal position (PA). 44d), so that each locking device (6,6a, 6b, 6c, 6d) is guaranteed to prevent spontaneous rotation of the rotating plate (26).
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 스프링부재(16)는 구리-베릴륨 또는 크롬-니켈-합금으로 제작되는 것을 특징으로 하는 장치.8. The device according to any one of the preceding claims, wherein the spring member (16) is made of copper-beryllium or chromium-nickel-alloy.
특히 청구범위 제1항 내지 제8항의 적어도 한 항에 따라 적어도 하나의 플레이트 구조체(4)를 운반프레임(2)상에 스프링부재(46)에 의해 풀림가능식으로 고정시키기 위한 장치에 있어서, 스프링부재(46)는 단부측에서 각각 유지부재(50a, 50b)에 지지될 수 있고 그리고 기본적으로 그 중앙영역에서 플레이트 구조체(4)에 응력, 바람직하게 횡응력이 가해져서 플레이트 구조체(40는 운반프레임(2)상에 미끄러지지 않게 가압되는 것을 특징으로 하는 장치.In particular an apparatus for releasably fastening at least one plate structure 4 on a conveying frame 2 by means of a spring member 46 in accordance with at least one of the claims 1-8. The member 46 can be supported on the retaining members 50a and 50b respectively at the end side and basically a stress, preferably transverse stress, is applied to the plate structure 4 at its central region so that the plate structure 40 is carried in the conveying frame. (2) The apparatus characterized in that the pressure is not slipped on.
제9항에 있어서, 스프링부재는 응력벨트(46)로 형성되어 있고 이것에는 자유단부 사이에 배치된 스템프(52)가 고정되어 있고, 스템프(52)는 응력벨트(46)의 고정위치(PC)에서 기본적으로 플레이트 구조체(4)의 상부면에 평행하게 정렬된 그템프면(53)이 플레이트 구조체(4)상에 놓여지고 그리고 운반프레임(2)에 대하여 이것을 가압하는 것을 특징으로 하는 장치.The spring member is formed of a stress belt (46), to which a stamp (52) disposed between free ends is fixed, and the stamp (52) is a fixed position (PC) of the stress belt (46). Device, which is placed on the plate structure (4) and presses it against the conveying frame (2), essentially aligned parallel to the upper surface of the plate structure (4).
제9항 또는 제10항에 있어서, 유지부재(50a, 50b)는 응력벨트(46)를 단부측에서 수용하기 위한 삽입개구부(70a, 70b)를 구비한 수용슈우(50a, 50b)로 구성되어 있고, 적어도 2개의 수용슈우(50a, 50b)는 운반프레임(2)상에 바람직하게 플레이트 본체(4)의 대향한 가장자리 영역에 배치되고 그리고 삽입슬릿(56a, 56b)에 형성된 삽입개구부(70a, 70b)는 서로 대향하고 그리고 지지부재(50a, 50b) 사이에 삽입된 응력벨트(46)는 플레이트 구조체(4)를 팽창에 의해 가압하는 것을 특징으로 하는 장치.11. The holding member (50a, 50b) according to claim 9 or 10 is composed of receiving shoes (50a, 50b) having insertion openings (70a, 70b) for accommodating the stress belt (46) at the end side. At least two receiving shoes 50a, 50b are preferably arranged on the conveying frame 2 in the opposite edge region of the plate body 4 and formed in the insertion slits 56a, 56b. 70b) are opposed to each other and the stress belt 46 inserted between the support members 50a, 50b presses the plate structure 4 by expansion.
제9항 내지 제1항 중 어느 한 항에 있어서, 간격을 두고 서로 조정가능하고 각각 파지부재(62a, 62b)을 구비한 적어도 2개의 파지장치(50a, 50b)가 구비되고, 이 파지장치에는 응력벨트(46)가 각각 단부측에서 삽입가능하게 되고 그리고 특히 삽입슬롯(56a, 56b)내에 삽입된 선부하를 받는 응력벨트(46)는 기본적으로 서로 응력벨트(46)에 의해 발생한 스프링력 방향 및 대향한 방향으로의 파지장치(50a, 50b)의 이동에 의해 삽입슬릿(56a, 56b)으로부터 이격된 위치에서 근접위치(PD)로 탄성적 변형에 의해 변할 수 있게 되고, 스템프(52)는 플레이트 구조체(4)로부터 이탈되고 그에 따라 플레이트 구조체(4)는 운반프레임(2)에서 제거될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.The holding device according to any one of claims 9 to 1, which is provided with at least two holding devices (50a, 50b), which are adjustable at intervals and are provided with holding members (62a, 62b), respectively. The stress belts 46 are each insertable at the end side, and in particular, the stress belts 46 receiving the preload inserted in the insertion slots 56a and 56b are basically spring force directions generated by the stress belts 46 from each other. And by the movement of the holding device (50a, 50b) in the opposite direction can be changed by elastic deformation from the position spaced apart from the insertion slit (56a, 56b) to the proximal position (PD), the stamp 52 Device, characterized in that it is detached from the plate structure (4) and thus the plate structure (4) can be removed from the conveying frame (2).
제9항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 수용슈우(50a, 50b)는 각각 삽입슬릿(56a, 56b)뒤에 배치되고 이것을 부분적으로 관통하는 삽입개구부(64)를 구비하고 있고, 삽입개구부내에는 파지장치(59a, 59b)가 각각 개별적으로 그리고 바람직하게는 응력벨트(46)의 선단측 후방파지부쪽으로 삽입될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.13. The insertion opening according to any one of claims 9 to 12, wherein the receiving shoes 50a and 50b are provided with insertion openings 64 disposed behind and partially penetrating the insertion slits 56a and 56b, respectively. Wherein the gripping devices (59a, 59b) can each be inserted individually and preferably towards the leading side rear gripping portion of the stress belt (46).
제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 플레이트 구조체(4)는 서로 느슨하게 설치된 단일 플레이트 본체(3, 5, 66, 68), 바람직하게 코팅하려는 기판(5, 68)과 기판(5, 68)에 배치된 코팅마스크(3, 66)로 구성되어 있고, 스프링부재(46)에 의해 기판(68)은 코팅마스크(66)에 대하여 가압할 수 있고, 그에 따라 코팅마스크(66)는 그 전체면에 걸쳐 코팅하려는 기판(68)에 직접 밀착되고 그리고 바람직하게 진공증착방법에 의해 기판(68)상에 형성되는 층구조는 코팅마스크(3, 66)의 마스크 가장자리에 의해 규정된 극명한 경계를 이루는 가장자리 윤곽에 의해 분리될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.14. The plate structure (4) according to any one of the preceding claims, wherein the plate structure (4) is a single plate body (3, 5, 66, 68) loosely installed on each other, preferably the substrate (5, 68) and the substrate (5) to be coated. , The coating masks 3 and 66 are disposed on the substrate 68, and the substrate 68 can be pressed against the coating mask 66 by the spring member 46. The layer structure which is directly adhered to the substrate 68 to be coated over its entire surface and is preferably formed on the substrate 68 by a vacuum deposition method has a sharp boundary defined by the mask edges of the coating masks 3 and 66. Device which can be separated by an edge contour constituting the unit.
제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 운반프레임(2)에 배치된 플레이트 구조체(4)는, 진공상태로 실행되는 코팅공정, 바람직하게는 스퍼터링 코팅공정, 플라즈마식 및/또는 열적으로 유도되는 증착코팅에서 사용될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.The plate structure (4) according to any one of the preceding claims, wherein the plate structure (4) arranged in the conveying frame (2) is a coating process carried out in a vacuum state, preferably a sputtering coating process, a plasma type and / or thermal Apparatus, characterized in that can be used in the deposition coating induced.