KR970018226A - 반도체 장치의 제조에 사용되는 유리류의 파티클 제거방법 - Google Patents
반도체 장치의 제조에 사용되는 유리류의 파티클 제거방법 Download PDFInfo
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Abstract
보우트 블로우(boat blower)에 의한 파티클의 제거방법에 관하여 개시한다. 본 발병은 반도체 장치에 사용되는 유리류에 묻어있는 파티클의 제거방법에 있어서, 상기 유리류를 챔버에 장착한 후 가압된 가스로 블로우하여 파티클을 제거하는 것을 특징으로 하는 파티클의 제거방법을 제공한다. 상기 가압된 가스는 질소가스를 사용하며, 상기 블로우한 후 챔버를 펌핑하여 배기구로 가스를 내보내는 단계를 더 포함할 수 있다. 본 발명에 의하면, 유리류에 묻어 있는 파티클을 화학용액으로 세정하지 않고 가압된 가스를 블로우 하여 제거함으로써 유리류의 수면 연장 및 생산성 향상을 이룩할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 블로우 장치를 이용한 파티클을 제거방법을 설명하기 위하여 도시한 도면이다,
제2도는 본 발명의 블로우장치를 이용하여 블로우 하였을때와, 블로우하지 않았을때의 파티클갯수의 비교 그래프이다.
Claims (3)
- 반도체 장치에 사용되는 유리류에 묻어 있는 파티클의 제거방법에 있어서, 상기 유리류를 챔버에 장착한 후 가압된 가스로 블로우하여 파티클을 제거하는 것을 특징으로 하는 파티클의 제거방법.
- 제1항에 있어서, 상기 가압된 가스는 질소가스를 이용하는 것을 특징으로 하는 파티클의 제거방법.
- 제1항에 있어서, 상기 블로우한 후 챔버를 펌핑하여 배기구로 가스를 내보내는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파티클의 제거방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950031025A KR970018226A (ko) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 반도체 장치의 제조에 사용되는 유리류의 파티클 제거방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950031025A KR970018226A (ko) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 반도체 장치의 제조에 사용되는 유리류의 파티클 제거방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970018226A true KR970018226A (ko) | 1997-04-30 |
Family
ID=66615358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950031025A KR970018226A (ko) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 반도체 장치의 제조에 사용되는 유리류의 파티클 제거방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970018226A (ko) |
-
1995
- 1995-09-21 KR KR1019950031025A patent/KR970018226A/ko not_active Application Discontinuation
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