KR940012485A - 진공 처리장치 - Google Patents

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테루오 이와타
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이노우에 아키라
도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤
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Abstract

진공처리장치는, 피처리체에 소정의 진공처리를 실시하는 진공처리실과, 그 진공처리실에 대한 피처리체의 반출입시에, 그 내부 압력이 진공처리실의 압력과 대기압과의 사이에서 변동되는 예비진공실과, 예비진공실 내를 배기하는 배기 수단을 갖추고 있다. 배기수단은, 최소한 하나의 상기 예비진공실 내의 벽면으로부터 떨어진 위치에 위치하는 배기구를 가지고 있다.

Description

진공 처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 한 형태에 관한 플라즈마 에칭장치를 나타내는 단면도.
제3도는 본 발명의 경우의 배기흐름을 모식적으로 나타내는 도면.
제4도는 제1도의 장치에서의 예비 진공실의 변형예를 나타내는 도면.
제5A, 5B, 5C도는 본 발명의 배기구의 변형예를 나타내는 그림.
제6도는 배기관을 구동시키는 기구를 나타내는 도면.
제7도는 배기관의 다른 예를 나타내는 도면.
제8도는 본 발명의 다른 형태에 관한 진공처리장치에 사용되는 예비 진공실을 나타내는 단면도.
제9도는 제8도의 예비진공실 내부를 나타내는 사시도.

Claims (16)

  1. 피처리체의 소정의 진공처리를 실시하는 진공처리실과, 그 진공처리실에 대한 상기 피처리체의 반출입에 있어서, 그 내부의 압력이 상기 진공처리실의 압력과 대기압과의 사이에서 변동되는 압력변동실과, 압력 변동실내를 배기하는 배기수단을 갖추고, 상기 배기수단은, 최소한 하나의 상기 예비진공실내의 벽면으로부터 떨어진 위치에 위치하는 배기구를 가지고 있는 진공처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 배기수단은 상기 압력변동실내로 돌출하는 배기관을 가지며, 그 앞끝단에 배기구가 형성되어 있는 진공처리장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 배기구가 필터를 가지는 진공처리장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 배기구가 여러개의 작은 구멍을 가지는 진공처리장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 배기관은 그 앞끝단부가 분기하고 있으며, 이들 앞끝단부 각각에 배기구를 가지는 진공처리장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 배기관의 상기 압력변동실내에 존재하는 부분을 이동시키는 구동수단을 가지는 진공처리장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 압력변동실은, 대기측과 상기 진공처리실과의 사이에서 피처리체를 반송할 때에, 대기측으로부터 피처리체가 반입될 때에는 대기압으로 유지되고, 진공처리실에 반출할 때에는, 진공처리실내의 진공도로 유지되는 진공처리장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 압력변동실은, 피처리체 반송기구를 가지고 있으며, 상기 배기구는, 상기 피처리체 반송기구상의 피처리체의 아래쪽에 위치되는 진공처리장치.
  9. 피처리체에 소정의 진공처리를 하는 진공처리실과, 그 진공처리실에 대한 상기 피처리체의 반출입시에, 그 내부의 압력이 상기 진공처리실의 압력과 대기압과의 사이에서 변동되는 압력변동실과, 압력변동실 내를 배기하는 배기수단을 갖추고, 상기 배기수단은, 벽면에 설치된 배기구와, 그 벽면에 대향해서 설치되고, 다수의 미세구멍을 가지는 배기부재를 가지며, 압력변동실 내부는 배기부재의 미세구멍을 통해서 배기구로부터 배기되는 진공처리장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 배기부재가 다공질체로 형성되어 있는 진공처리장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 배기부재가, 상기 예비처리실의 저면벽의 대량 전체면을 덮고 있는 진공처리 장치.
  12. 제9항에 있어서, 상기 배기부재와 상기 압력변동실의 저면 벽과의 사이에 통기실이 형성되어 있는 진공처리장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 배기부재와, 상기 통기실이 유니트화되어 있는 진공처리장치.
  14. 피처리체의 소정의 진공처리를 하는 진공처리실과, 그 진공처리실에 대한 상기 피처리체의 반출입시에, 그 내부의 압력이 상기 진공처리실 압력과 대기압과의 사이에서 변동되는 압력변동실과, 압력변동실 내를 배기하는 배기수단을 갖추고, 상기 배기수단은, 그 앞끝단에 배기구가 형성된 다수의 침 형상 배기관을 가지는 진공처리장치.
  15. 피처리체에 소정의 진공처리를 하는 여러개의 진공처리실과, 이들 진공처리실에 대한 상기 피처리체의 반출입을 행하고, 그 때에 그 내부 압력이 상기 진공처리실의 압력과 대기압과의 사이에서 변동되는 반송실을 갖추고, 상기 배기수단은, 최소한 1개의 상기 예비진공실내의 벽면으로부터 떨어진 위치에 위치하는 배기구를 가지고 있는 진공처리장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 반송실과의 사이에서 피처리체의 반출입을 행하며, 그 때에 그 내부의 압력이 상기 진공처리실의 압력과 대기압과의 사이에서 변동되는 로드록실을 가지는 진공처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930024820A 1992-11-20 1993-11-20 진공처리장치 KR100248562B1 (ko)

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