KR970016823A - 마스크와 작업편의 간극설정장치 - Google Patents

Abstract

「과제」

중량이 큰 작업편/작업편 스테이지에도 적용가능한 마스크와 작업편의 간극설정장치를 제공하는 것.

「해결수단」

에어 서스펜션(15)내부에 일정압력의 기체를 충전하여 상부를 향한 일정한 힘을 작용시켜서, 작업편 스테이지(12), 작업편(W)의 하중을 일부 상쇄한다. 이 상태에서, 베이스 이동부(14a)에 의해 베이스(14), 작업편 스테이지(12)를 상승시켜서 작업편(W)을 마스크(M)에 접촉시킨 후, 작업편(W)을 더욱 상승시킨다. 간극설정기구(13)의 압축코일스프링(29)은 각각 독립하여 변위하고, 마스크(M)의 전면이 작업편(W)과 접촉한다. 이 시점에서 각 간극설정기구(13)의 변위상태를 지지시켜서, 베이스(14) 및 작업편 스테이지(12)를 소정량 하강시킨다. 이에 따라, 마스크(M)와 작업편(W)은 평행하게 또한 그 간극이 일정하게 설정된다. 계속해서, 마스크(M)에 평행광을 조사하여, 작업편(W)을 노광한다.

Description

마스크와 작업편의 간극설정장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 제1실시예에 도시한 도면이다.

Claims (4)

1. 마스크와, 이 마스크를 지지하는 마스크 스테이지와, 작업편과, 이 작업편을 상기 마스크에 대향시켜서 지지하는 작업편 스테이지와, 베이스와, 이 베이스를 적어도 수직방향으로 이동시키는 베이스 이동부와, 상기 작업편 스테이지와 상기 베이스를 접속하는 적어도 3개의 간극설정기구를 구비하고, 상기 간극설정기구는 이 간극설정기구가 소망량만큼 변위한 것을 검출하는 검출수단과, 그때의 변위상태를 지지하는 지지수단을 포함하고, 상기 베이스 이동부를 마스크와 작업편이 접촉하는 방향으로 이동시켰을 때, 작업편과 마스크가 접촉하여 실질적으로 그 이상으로 당해 상대적 이동이 불가능해진 시점으로부터, 상기 베이스 이동부로부터의 구동력을 흡수하여 변위하기 시작해서, 각 간극설정기구에 설치된 모든 상기 검술수단이 출력을 발생시켰을 때, 상기 지지수단에 의해 그때의 변위량을 유지하는 기능을 구비하고 있고, 상기 마스크와 작업편을 접촉시킨 후, 각 간극설정기구의 변위량을 유지시킨 채로 마스크와 작업편을 이간시킴으로써, 마스크와 작업편의 간극을 일정하게 설정하는 마스크와 작업편의 간극설정기구에 있어서, 작업편 스테이지와 베이스 사이의 상기 간극설정기구에 둘러싸이는 위치에 하중조정 스테이지를 배치하고, 상기 하중조정 스테이지가 상기 작업편과 상기 작업편 스테이지의 하중과 반대방향으로 항상 미리 정해진 일정한 힘을 상기 작업편 스테이지에 대해서 작용시키는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 간극설정장치.
2. 제1항에 있어서, 하중조정 스테이지를 내부에 기체가 공급/배기됨으로써 수직 방향으로만 신축가능한 기체실과, 상기 기체실내로부터 기체를 배기하는 배기수단과, 상기 기체실내에 충전하는 기체공급수단과, 상기 기체실내의 압력을 일정하게 제어하는 제어부로 구성되고, 상기 기체실내의 압력을 일정하게 유지하여 일정한 힘을 상기 작업편 스테이지에 대해서 작용시키는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 간극설정장치.
3. 제2항에 있어서, 작업편 스테이지의 하중조정 스테이지 부착면 측에 오목부 혹은 V자 홈을 형성한 수용부재를 설치하고, 상기 수용부재에 의해 상기 하중조정 스테이지의 작업편 스테이지면에 대한 평행방향의 이동을 제한하고, 또한 상기 하중조정 스테이지를 작업편 스테이지에 대해서 경사가능하게 계합시키는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 간극설정장치.
4. 제3항에 있어서 기체실에의 공기의 공급/배기속도를 조정하는 기체이동 속도조정기구를 구비한 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 간극설정장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.