KR970009824B1 - 배럴형 감광막 제거장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
제1도는 본 발명에 의한 배럴형 감광막 제거장치를 개략적으로 나타내는 단면도.
제2a도는 제1도의 A 부분을 나타내는 부분 확대도.
제2b도는 제1도의 B 부분을 나타내는 부분 확대도.
제3도는 본 발명에 의한 배럴형 감광막 제거장치의 정면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
2 : 공정 체임버 4 : 오-링(O-ring)
6 : 실링 프랜지 8 : 개스라인
10 : 진공라인 12 : 전극
14 : 라디오파 전원 등전위판 16 : 볼트와 너트
18 : 캔티레버(cantilever) 20 : 쿼츠 보트
22 : 도어 24 : 직선 블록
26 : 직선 안내수단 28 : 토트 핏팅 수단
본 발명은 반도체 제조 공정을 실시한 후 반도체 웨이퍼 상에 남게 되는 감광막을 제거하는 배럴 형 감광막 제거장치에 관한 것으로, 특히 전면 도어의 개폐를 완전히 자동화하고 전면 도어와 공정 체임버 사이를 완전하게 실링함으로써 감광막 제거를 균일하게 하며, 분진에 의한 공정 체임버의 오염을 방지할 수 있는 배럴 형 감광막 제거장치에 관한 것이다.
종래의 감광막 제거장치는 공정 체임버와 도어를 바이톤(viton) 재질의 개스킷(gasket)을 사용하여 실링하였으며, 개스 라인과 진공 라인의 접속부가 쿼츠 접촉에 의한 접속방식으로 되어있어 완벽하게 실링되지 못하여 대기 유입점이 되고 도어 개폐시 개스킷이 이탈하며, 도어 개폐와 웨이퍼의 로딩(loading)이 수동으로 이루어지면서 체임버 내부로 오염물질이 유입되는 문제점이 있었다. 또한, 개스 라인(gasl line)을 공정 체임버 하부에 설치하고 진공라인을 체임버 상부에 설치하여 공정체임버에서 반응 후 부산물의 방출이 어렵게 되어 있다.
따라서, 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 도어와 공정 체임버의 실링부 위를 오-링과 실링 플랜지(sealing flange)에 의하여 실링하며, 진공라인을 진공 체임버 하부에 개스라인을 공정 체임버 상부에 설치하고 이들을 토르 핏팅(torr fiting) 수단에 의하여 접속하며, 전면 도어를 완전 자동으로 구동함으로써, 공정 체임버의 실링을 완벽하게 유지하고 공정 체임버내로 오염물질이 유입되는 것을 방지하고 공정 후 부산물의 배출을 용이하게 할 수 있는 배럴형 감광막 제거장치를 제공함에 그 목적을 두고 있다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 웨이퍼상의 감광막을 제거하기 위하여 밀폐된 공간을 형성 하도록 하는 공정 체임버 ; 상기 공정 체임버의 입구에 밀착되며, 소정의 홈을 형성하여 오-링을 삽입하여 체결수단에 의하여 상기 공정 체임버를 완전히 밀폐하도록 하는 실링 프랜지 ; 상기 공정 체임버 상부에 형성되며, 상기 공정 체임버와 접속되어 반응개스를 상기 공정 체임버 내부로 공급하도록 하는 개스라인 : 상기 공정 체임버 하부에 형성되며, 상기 공정 체임버와 접속되어 반응이 끝난 개스와 산화된 감광막을 흡입하여 제거하도록 하는 진공라인 ; 상기 공정체임버의 외부에 형성되며, 반응개스와 웨이퍼 상의 감광막이 반응하도록 하는 라이오파 공급수단 ; 상기 실링 플랜지와 밀착하여 상기 공정 체임버의 입구를 밀폐하거나 개방시키며, 그에 접수된 캔티레버 바에 놓여진 쿼츠 보트를 상기 공정 체임버 내부 또는 외부로 이송시키기 위한 개폐수단 ; 및 직선으로 상부에 직선 안내홈이 형성하며, 상기 개폐수단에 접속된 직선 안내수단을 삽입하여 상기 개폐수단을 직선 안내홈을 따라 이동시키도록 하는 직선 블럭을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 배럴형 감광막 제거장치를 제공한다.
이하, 본 발명의 일실시예를 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 제1도는 본 발명에 의한 배럴형 감광막 제거장치를 개략적으로 나타내는 단면도이며, 제2a도는 제1도의 A 부분을 나타내는 부분 확대도이며, 제2b도는 제1도의 B 부분을 나타내는 부분 확대도이며, 제3도는 본 발명에 의한 배럴형 감광막 제거장치의 정면도이며, 도면에서 2는 공정 체임버, 4는 오-링(O-ring), 6은 실링 플랜지, 8은 개스라인, 10은 진공라인, 12는 전극, 14는 라이오파 전원 등전위판, 16은 볼트와 너트, 18은 캔티레버(cantilever), 20은 쿼츠 보트(quartz boat), 22는 도어, 24는 직선 블럭, 26은 직선 안내수단, 28은 토르 핏팅(torr fitting)수단을 각각 나타낸다.
제1도와 제2a도에 도시된 바와 같이, 실링 플랜지(6)에 소정의 홈을 형성하여 그 내부에 오-링(4)을 설치하여 공정 체임버(2)의 입구를 실링할 수 있도록 하고 실링 플랜지(4)의 두개의 부분을 볼트와 너트(16)의 결합에 의하여 연결하여 공정 체임버(2)를 완전하게 밀폐시킨다. 또한, 개스라인(8)을 공정체임버(2)의 상부에 설치하고 토르 핏팅수단(28)에 의하여 접속하여 공정 체임버(2)와 직접 접속되지 않도록 하여 개스누출이 방지되도록 하며, 공정이 끝난 배기가스를 공정 체임버(2)의 하부에 설치된 진공라인(10)으로 회수하여 공정 후 부산물의 배출을 용이하게 할 수 있도록 한다. 제3도에 나타난 바와 같이, 도어(22)와 접속된 직선 안내수단(26)을 소정의 직선 안내홈이 형성된 직선 블록(24)상에 설치한다. 개방스위치에 의하여 모터가 구동되면 도어(22)는 직선블럭(24) 상의 직선 안내홈을 따라 직선 안내수단(26)과 함께 개방되며, 이와 함께 쿼츠 보트(20)를 로딩(loading)할 수 있는 캔티레버(cantilever)(18)가 도어(22)에 부착된 상태로 공정 체임버(2) 내부에서 외부로 나타나게 된다. 이때 웨이퍼가 인입된 쿼츠 보트(20)를 캔트레버(18)에 로딩한 후 폐쇄 스위치에 의하여 도어(22)를 다시 직선 블럭(block)(24)상에 있는 직선 안내홈을 따라 직선운동을 하면서 쿼츠 보트(20)가 공정 체임버(2)내부로 내장된다. 도어(22)를 실링 플랜지(6)에 의하여 접속하여 도어(22)와 공정 체임버(2)를 오-링(4)을 이용하여 완전하게 밀폐시킨다. 그 다음 공정 체임버(2) 상부에 위치하는 개스라인(8)을 통하여 산소를 유입시키고 공정 체임버(2) 외부와 접속되는 전극(12)에 라이오파 발생기(RE Generatro)에서 발생한 라이오파 전원(RF Power)을 라이오파 전원 등전위판(RF Power Plate)(14)을 통하여 공정 체임버(2)상에 공급하여 웨이퍼 상의 감광막을 산화시키며, 반응이 이루어진 개스와 산화된 감광막을 부산물화하여 공정 체임버(2) 하부에 위치하는 진공라인(10)을 통하여 외부로 방출한다.
이상에서 언급한 바와 같이 본 발명은 도어와 공정 체임버의 실링부위를 오-링과 실링 플랜지에 의하여 실링하고 진공라인을 진공 체임버 하부에 설치하고 개스라인을 진공 체임버 상부에 설치하고 이들을 토르 핏팅 수단에 의하여 접속하였으며, 전면 도어를 완전 자동으로 구동함으로써, 진공 체임버의 실링을 완벽하게 유지하고 진공 체임버내로 오염물질이 유입되는 것을 방지하고 공정 후 부산물의 배출을 용이하게 할 수 있는 우수한 효과를 갖는다.
Claims (2)
- 배럴형 감광막 제거장치에 있어서, 웨이퍼상의 감광막을 제거하기 위하여 밀폐된 공간을 형성하도록 하는 공정 체임버(2) ; 상기 공정 체임버(2)의 입구에 밀착되며, 소정의 홈을 형성하여 오-링(4)을 삽입하여 체결수단(16)에 의하여 상기 공정 체임버(2)를 완전히 밀폐하도록 하는 실링 플랜지(6) ; 상기 공정 체임버(2) 상부에 형성되며, 상기 공정 체임버(2)와 접속되어 반응개스를 상기 공정 체임버(2) 내부로 공급하도록 하는 개스라인(8) ; 상기 공정 체임버(2) 하부에 형성되며, 상기 공정 체임버(2)와 접속되어 감광막이 산화 후 분해된 가스를 흡입하여 제거하도록 하는 진공라인(10) ; 상기 공정 체임버(2)의 외부에 형성되며, 반응개스와 웨이퍼 상의 감광막이 산화하도록 하는 라이오파 공급수단(12,14) ; 상기 실링 플랜지(6)와 밀착하여 상기 공정 체임버(2)의 입구를 밀폐하거나 개방시키며, 그에 접속된 캔티레버(18)에 놓여진 쿼츠 보트(20)를 상기 공정 체임버(2) 내부 또는 외부로 이송시키기 위한 개폐수단(22) 및 직선으로 상부에 직선 안내홈이 형성하며, 상기 개폐수단(22)에 접속된 직선 안내수단(26)을 삽입하여 상기 개폐수단(22)을 직선 안내홈을 따라 이동시키도록 하는 직선 블럭(24)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 배럴형 감광막 제거장치.
- 제2항에 있어서, 상기 개스라인(8)과 진공라인(10)은 토르 핏팅(torr fitting) 수단(28)에 의하여 상기 공정 체임버(2)와 접속되는 것을 특징으로 하는 배럴형 감광막 제거장치.
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