KR970005806Y1 - 레이저 빔을 이용한 레벨러 - Google Patents

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류달래
이희목
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현대전자산업 주식회사
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Abstract

요약 없음.

Description

레이저 빔을 이용한 레벨러
제1도는 종래의 기포를 이용한 레벨링 방법을 설명하기 위한 설명도
제2도는 본 고안의 실시예를 나타낸 개략적인 구성도
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10 : 레이저 다이오드20 : 미러(mirror)
30 : 피측정자31 : 웨이퍼
32 : 척(chuck)40 : 검출기
50 : 마이크로 미터60 : 제어부
본 고안은 레이저 빔을 이용한 레벨러에 관한 것으로, 특히 발광부에서 출력되는 레이저 빔을 통해 반도체 제조공정에 사용되는 척(chuck)의 레벨링 상태를 점검하는 레이저 빔을 이용한 레벨러에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정에 있어서 포트레지스터(photo resist)를 코팅하는 트랙장비중 웨이퍼를 회전시키는 척(chuck)의 레벨링 상태는 포토레지스터의 균일성(uniformity)에 큰 영향을 미친다.
따라서 종래에는 척(chuck)의 레벨링을 유지하기 위하여 제1도에 도시된 바와 같이, 청명관(3)에 물을 넣고 기포(1)를 형성시켜서 이 기포(1)가 원형의 청명관(3) 중앙에 오도록 조정하는 방법이 사용되었다.
그러나, 상기와 같은 종래의 방법은 측정자가 육안으로 기포의 움직임을 검사함에 따라 측정자 마다 오차가 발생하여 정밀도가 떨어진다는 문제점이 있었다.
또한, 척(chuck)의 레벨링을 측정하기 위해서는 청명관을 측정하고자 하는 표면, 즉 척(chuck) 또는 웨이퍼 표면에 접촉시킴에 따라 접촉면과 청명관 사이의 공간에 의한 오차가 발생하여 정밀도가 떨어지며 아울러 작업공정 진행중에는 레벨링 상태를 측정할 수 없다는 문제점이 있었다.
이에 본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 발광부에서 출력되는 레이저 빔을 통해 반도체 제조공정에 사용되는 척(chuck)의 레벨링 상태를 점검하는 레이저 빔을 이용한 레벨러를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 레이저 빔을 출력하는 발광부와; 이 발광부와 피측정자 사이에 적정한 간격을 두고 설치되어 피측정자에서 반사된 레이저 빔을 다시 90° 반사시키는 반사부와; 이 반사부에서 반사된 레이저 빔을 수광하는 수광부와; 이 수광부가 부착되어 상기 반사부에서 반사된 레이저 빔을 따라 상하로 승강하는 승강부와; 이 승강부의 이동거리를 통해 피측정자의 레벨링 상태를 판단하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 고안의 실시예를 첨부된 도면에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 고안은 제2도에 도시된 바와 같이, 레이저 빔을 출력하는 레이저 다이오드(10)와, 이 레이저 다이오드(10)와 피측정자(30) 즉, 척(chuck)(32) 또는 웨이퍼(31) 사이에 적정한 간격을 두고 설치되어 피측정자(30)에서 반사된 레이저 빔을 다시 90°반사시키는 미러(mirroe)(20)와, 이 미러(mirror)(20)에서 반사된 레이저 빔을 수광하는 검출기(40)와, 이 검출기(40)가 부착되어 상기 미러(mirror)(20)에서 반사된 레이저 빔을 따라 상하로 승강하는 마이크로 미터(50)와, 이 마이크로 미터(50)의 이동거리를 통해 피측정자(30)의 레벨링 상태를 판단하는 제어부(60)로 구성되어 있다.
다음에는 상기와 같은 구성을 갖는 본 고안의 작용 및 효과를 상세히 설명한다.
레이저 다이오드(10)에서 출력되는 레이저 빔은 미러(20)를 통과하는 피측정자(30) 즉, 척(chuck)(32) 또는 웨이퍼(31)의 표면에서 반사되어 다시 미러(mirror)(20)에 도달하게 된다.
상기와 같이 미러(mirror)(20)에 도달한 레이저 빔은 미러(mirror)(20)에 의해 90°로 반사되어 검출기(40)로 인가된다.
피측정자(30)가 평형상태를 유지하고 있는 경우에는 제2도의 실선과 같이 레이저 빔이 이동하므로 마이크로 미터(50)는 승강동작을 수행하지 않고 검출기(40)를 통해 레이저 빔을 수광하게 된다. 따라서 제어부(60)는 피측정자(30)가 평형상태로 유지하고 있음을 판단하게 된다.
한편, 피측정자(30)가 평형상태를 유지하고 있지 않는 경우에는 제2도의 점선과 같이 레이저 빔이 이동하므로 마이크로 미터(50)는 검출기(40)를 통해 레이저 빔을 수광하기 위해 하측 방향으로 승강작동하게 된다. 따라서 제어부(60)는 마이크로 미터(50)가 이동한 거리를 측정하여 피측정자(30)가 어느정도 기울어져 있는지 판단하고 기울어짐이 심한 경우에는 경보를 통해 작업자에게 알려주게 된다.
상기와 같이 본 고안은 레이저 빔을 이용하여 피측정자의 레벨링 상태를 측정함에 따라 피측정자와의 접촉이 불필요하여 접촉면에 의한 오차가 발생하지 않으며 또한 공정 진행중에도 피측정자의 레벨링 상태를 점검할 수 있다.

Claims (3)

  1. 레이저 빔을 출력하는 발광부(10)와; 이 발광부와 피측정자(30) 사이에 적정한 간격을 두고 설치되어 피측정자(30)에서 반사된 레이저 빔을 다시 90°반사시키는 반사부와;
    이 반사부에서 반사된 레이저 빔을 수광하는 수광부(40)와;
    이 수광부(40)가 부착되어 상기 반사부(20)에서 반사된 레이저 빔을 따라 상하로 승강하는 승강부(50)와;
    이 승강부(50)의 이동거리를 통해 피측정자(30)의 레벨링 상태를 판단하는 제어부(60)을 구비하는 것을 특징으로 레이저 빔을 이용한 레벨러.
  2. 제1항에 있어서, 상기 발광부(10)가 레이저 다이오드인 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 레벨러.
  3. 제1항에 있어서, 상기 승강부(50)가 마이크로 미터인 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 레벨러.
KR2019940012334U 1994-05-30 1994-05-30 레이저 빔을 이용한 레벨러 KR970005806Y1 (ko)

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