KR970005408A - 표적분무장치를 위한 음극설비 - Google Patents

표적분무장치를 위한 음극설비 Download PDF

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KR970005408A KR1019960027188A KR19960027188A KR970005408A KR 970005408 A KR970005408 A KR 970005408A KR 1019960027188 A KR1019960027188 A KR 1019960027188A KR 19960027188 A KR19960027188 A KR 19960027188A KR 970005408 A KR970005408 A KR 970005408A
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    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
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Abstract

자석요크(22,23), 표적과 자석요크 사이에 배치된 영구자석(33,34,53,54 및 35,36,55,56), 및 자석요크(22 및 23)를 진공챔버(6)의 격벽부분(5)에 고정시키기 위한 고정부(A 및 B)를 갖추고 있는 표적(49 및 50) 분무용장치를 위한 음극설비에있어서, 나사 또는 스프링볼트(67,67'…)에 의해 틈(a)를 가지고 자석요크(22 및 23)와 결합되어 있는 상부 플레이트(41 및 42)에 그 측면이 지지되는 캠 또는 캠쌍(43,44 및 43',44')에, 표적(49 및 50)과 배향한 그 측면에 견고히 고정된 자석요크(22 및 23)가 설치되고, 자석요크(22 및 23)의 양측면에는 U자형태로 형성된 갈퀴비드 또는 클램프비드(37,38 및 39,40)가 구비되고 그것의 측면으로 떨어져 있는 레그 또는 갈퀴형의 에지부분(59 내지 66)은 각각 일측으로 상부플레이트(41 및 42)를, 그리고 다른 일측으로는 자석요크(22 및 23) 및/또는 표적 배면플레이트(51 및 52)를 중첩하고 있다.

Description

표적분무장치를 위한 음극설비
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 2개 음극설비의 횡단면도, 제2도는 제1도의 음극설비의 종단면도, 제3도는 제1도 및 제2도의 2개 음극설비를 부분적으로 단면으로 도시한 평면도, 제4도는 음극의 횡단면을 확대도시한 도면, 제5도는 음극이 중앙플레이트에서 이탈된 제1도의 음극설비의 횡단면도

Claims (4)

  1. 자석요크(22,23), 표적과 자석요크 사이에 배치된 영구자석(33,34,53,54 및 35,36,55,56) 및 자석요크(22 및 23)를 진공챔버(6)의 격벽부분(5)에 고정시키기 위한 고정부(A 및 B)를 갖추고 있는 표적(49 및 50) 분무장치를 위한 음극설비에 있어서, 표적(49 및 50)과 배향한 측면에 견고히 자석요크(22 및 23)가, 나사 또는 스프링볼트(67,67'…)에의해 틈(a)을 가지고 자석요크(22 및 23)와 결합되어 있는 상부플레이트(41 및 42)에 그 측면이 지지되는 캠 또는 캠쌍(43,44 및 43',44')에 설치되고, 자석요크(22 및 23)의 양측면에는 U자 형태로 형성된 갈퀴비드 또는 클램프비드(37,38 및 39,40)가 구비되고 그것의 측면으로 떨어져 있는 레그 또는 갈퀴형의 에지부분(59 내지 66)은 각각 일측으로 상부 플레이트(41 및 42)를, 그리고 다른 일측으로는 자석요크(22 및 23) 및/또는 표적 배면플레이트(51 및 52)를 중첩하고 있는 것을 특징으로 하는 음극설비
  2. 제1항에 있어서, 기층과 배향한 측면상에 견고히 고정된 자석요크는 U자형으로 형성된 갈퀴비드 또는 클램핑비드의 상부 갈퀴형 에지부분과 함께 그 측면에서 작동하는 캠 또는 캠쌍에 놓여지거나 또는 이것에 지지되고, 갈퀴형 에지부분을 그 하부에 갖추고 자석요크의 양측면에 배치된 클램핑비드는 기층에 배향한 자석요크, 또는 배면플레이트, 또는 표적의 표면을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 음극설비
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 캠축 또는 편심기축 또는 이것의 베어링저널은 자석 요크에 설치되고 그리고 캠 또는 편심기는 가압위치에서 상부플레이트에, 또는 직접 표적과 배향한 갈퀴비드의 에지부분에 지지되는 것을 특징으로 하는 음극설비
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 캠축 또는 편심기축 또는 이것의 베어링저널은 상부 플레이트에 설치되고 그리고 캠 또는 편심기는 가압위치에서 표적과 배향한 자석요크의 표면에, 또는 배면플레이트에 지지되는 것을 특징으로 하는 음극설비
KR1019960027188A 1995-07-08 1996-07-05 표적분무장치를 위한 음극설비 KR0171176B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100886447B1 (ko) * 2007-06-19 2009-03-04 신일식 돈사의 환기방법과 그 시스템

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