KR970000443Y1

KR970000443Y1 - Lighting apparatus for monitoring of semiconductor device pin

Info

Publication number: KR970000443Y1
Application number: KR2019910012472U
Authority: KR
Inventors: 김대년
Original assignee: 엘지산전 주식회사; 이희종
Priority date: 1991-08-05
Filing date: 1991-08-05
Publication date: 1997-01-20
Also published as: KR930005661U

Abstract

내용 없슴.No content.

Description

Surface-mount semiconductor device pin inspection lighting device

제1도는 종래의 반도체소자핀 검사조명장치의 일예시도.1 is an example of a conventional semiconductor device pin inspection lighting device.

제2도는 종래의 반도체소자핀 검사조명장치의 주요 단면 구조도.2 is a main cross-sectional structure diagram of a conventional semiconductor device pin inspection lighting device.

제3도는 본 고안에 의한 조명장치의 주요 단면 구조도.3 is a main cross-sectional structural view of the lighting apparatus according to the present invention.

제4도는 본 고안에 적용되는 발광다이오드 조명채의 평면 구조도.4 is a plan view of a light emitting diode illumination device applied to the present invention.

제5도는 본 고안의 동작설명을 위한 광로의 계통로.5 is a system of the optical path for explaining the operation of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

2 : 피사채 10 : 조광부2: bond 10: lighting unit

11 : 인쇄회로기판 12 : 발광다이오드11: printed circuit board 12: light emitting diode

13 : 4각구멍13: square hole

본 고안은 표면실장형 반도체소자핀의 시각검사 및 위치보정 시스템에 사용되는 조명장치에 관한 것으로, 특히 반도체소자핀의 리드영상이 CCD 카매라에 촬상될때 직진성을 갖는 일정한 조도로 조광되게 하므로서 촬상되는 리드의 윤곽이 명확하게 보일 수 있도록 한 표면실정형 반도체소자핀 검사용 조명장치에 관한 것이다.The present invention relates to an illumination device used for visual inspection and position correction system of a surface-mounted semiconductor device pin, and in particular, a lead image of the semiconductor device pin that is photographed by dimming at a constant illuminance with linearity when the CCD image is captured by a CCD camera The present invention relates to an illumination device for inspecting a surface-mounted semiconductor device pin so that the outline of the contour can be clearly seen.

종래의 표면실장형 반도체소자핀 검사용 조명장치는 제1동에 나타낸 바와 같이 피사체(2)의 표면실장형 반도체소자를 조명하기 위한 환형 형광등(3)과 피사체(2)에서 반사되어 온 빛만을 카메라로 통과시키고 환형 형광등(3)의 빛이 직접 카메라로 조사되는 것을 방지하기 위하여 환형형광등 외측으로 광 차단갓(4)을 설치하고, 상기 피사체(2)를 흡착하여 일정거리를 유지시켜 주도록 수직 운동하는 SMC 마운터(1)와 피사체(2)로 부터 반사되어 온 빛을 영상화시켜주는 CCD 카메라(5)로 구성되어져 있다.The conventional surface-mounted semiconductor device pin inspection illumination device uses only an annular fluorescent lamp 3 for illuminating the surface-mounted semiconductor device of the subject 2 and the light reflected from the subject 2, as shown in the first cavity. In order to pass through the camera and prevent the light of the annular fluorescent lamp 3 from being directly irradiated by the camera, a light blocking shade 4 is installed outside the annular fluorescent lamp, and the object 2 is adsorbed to maintain a constant distance. It is composed of a moving SMC mounter (1) and a CCD camera (5) for imaging the light reflected from the subject (2).

이와 같이 구성된 종래의 반도체소자핀 검사용 조명장치는 제2도에서와 같이 환형의 형광등(3)에서 발산된 빛을 피사체(2)에 조사하여 반사되는 피사체(2)의 화상이 카메라 렌즈(6)를 통해 접속되어 CCD 카메라에 의해 촬상된다.In the conventional semiconductor device pin inspection lighting device configured as described above, as shown in FIG. 2, the image of the subject 2 reflected by the light emitted from the annular fluorescent lamp 3 is reflected on the subject 2 to display the camera lens 6. ), And is captured by the CCD camera.

이렇게 촬상된 피사체(2)의 영상은 피사체의 표면(본체 및 핀)은 밝게 나타나나며 배경은 어둡게 나타나게 되어 반도체 소자의 핀상태 및 핀굴곡의 일치성 등을 검사할 수가 있다.In this way, the image of the object 2 captured is bright on the surface of the subject (body and pin) and dark on the background, so that the pin state of the semiconductor element and the coincidence of pin bending can be examined.

그러나 이와 같은 종래의 표면실장형 반도체소자핀 검사용 조명장치는 심한 광변화 내지는 빛의 직진성이 없는 형광등을 조명용으로 사용하므로서, 만일 피사체(반도체소자)의 핀굴곡이 많을 경우 핀의 굴곡부위에서 빛이 서로 간섭하게 되어 CCD 카메라를 통해 촬상된 핀 굴곡부위의 명암이 선명하게 나타나지 않게 되어 핀상태를 정확하게 검사할 수가 없을 뿐만 아니라, 영상의 디지탈 처리시 중간값을 가진 핀 굴곡경사면의 영상으로 인해 오류의 결과를 초래하게 되며, 아울러 수명이 짧은 형광등의 조광특성이 시간경과에 따라 변화되므로 조명효율이 뒤떨어지는 문제점이 있었다.However, such a conventional surface-mounted semiconductor device pin inspection lighting device uses a fluorescent light without severe light change or linearity of light, so that if the subject (semiconductor device) has a large number of pin bends, light may be emitted from the bend of the pins. Interference with each other prevents the sharpness of pin bends captured by CCD cameras from appearing clearly, making it impossible to accurately check the pin condition. In addition, since the dimming characteristics of the fluorescent lamps with short lifespan change over time, there was a problem of inferior lighting efficiency.

따라서 본 발명의 목적은 상기한 종래 기술의 문제점을 감안하여 조명의 지향성이 좋은 수개 내지 수십개의 발광다이오드 배열로 조명효율을 피하도록 하므로서 반사된 피사체의 영상이 명확히 구별되고, 특히 핀의 윤곽을 명확하게 구분시켜 검사 오류를 방지하는데 있는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to clearly distinguish the image of the reflected subject, in particular, by avoiding the lighting efficiency in the arrangement of several to several dozen light emitting diodes having good directivity of light in view of the above-described problems of the prior art, in particular the clear outline of the pin It is to prevent the test error.

이하, 본 고안을 첨부도면에 의하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by the accompanying drawings.

제3도 및 제5도에서와 같이 본 고안은 피사체(2)를 흡착하여 일정거리 유지시키도록 수직 왕복운동하는 SMC 마운터(1)와, 피사체(2)로 부터 반사된 빛을 영상화시켜 주는 CCD 카메라(5)를 갖는 검사장치에 있어서, 피사체(2)의 명암구분을 위해 직진성을 갖는 조도율이 같은 일정 빛을 생성하여 평면광으로 조사시키는 조광부(10)를 구비하여서 된 것이다.As shown in FIGS. 3 and 5, the present invention is a vertical reciprocating SMC mounter 1 for absorbing the subject 2 and maintaining a constant distance, and a CCD for imaging the light reflected from the subject 2. In the inspection apparatus having the camera (5), it is provided with a dimming unit (10) for generating a constant light having the same straightness of illuminance to irradiate the plane light to distinguish the contrast of the subject (2).

또한 상기한 조광부(10)는 제4도에 나타낸 평면구조와 같이 중앙에 각 구멍(13)이 형성되고, 전체적으로 4각형의 구조를 갖는 인쇄회로기판(11)의 각변에 적어도 수십개의 발광다이오드(12)를 2열로 배열하여서 구성된 것이다.In addition, the dimming part 10 has at least tens of light emitting diodes on each side of the printed circuit board 11 having respective holes 13 formed in the center and having a quadrangular structure as shown in FIG. It is composed of (12) arranged in two rows.

이와 같이 구성된 본 고안의 작용효과를 제3도 내지 제5도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the effects of the present invention configured as described with reference to Figures 3 to 5 as follows.

즉, 제3도에서와 같이 시각검사 및 위치보정을 하기 위해 SMC 마운터 (1)에 의해 검색기 상측에 고정된 피사체(2)에는 제4도에 도시한 바와 같은 4각 형의 인쇄회로기판(11)에 빛의 균일성을 주기 위해서 발광다이오드가 2열로 배열된 조광부(10)로 조명이 일정하게 조사된다.That is, a quadrangular printed circuit board 11 as shown in FIG. 4 is applied to the subject 2 fixed to the upper side of the searcher by the SMC mounter 1 for visual inspection and position correction as shown in FIG. In order to give uniformity to light, illumination is uniformly irradiated to the dimming unit 10 in which the light emitting diodes are arranged in two rows.

이와 같이 조광부(10)에서 조사되는 빛은 직진성을 갖는 평면광으로서, 이의 평면광은 피사체(2)의 핀이 예를 들어 2회정도 굴절된 경우 핀의 굴절면마다 각각 다른 경로로 반사되어 CCD 카메라(5)에 입사된다.As described above, the light irradiated from the dimming part 10 is a planar light having straightness, and the planar light is reflected by different paths for each of the refraction surfaces of the pin when the pin of the subject 2 is refracted, for example, twice. Incident on the camera 5.

즉, 제5도에서와 같이 피사체(2)의 핀이 A, B, C로 굴절되어 있을 경우 각 굴절면마다 수평 및 경사정도를 정확히 구별하기 위해 핀의 (B) 부분이 핀의 (A)(C)부분보다 아주 밝거나 또는 아주 어둡게 조광되도록 조사하면 핀의 수평부분(A)(C)은 경사부분(B)보다 월등히 많은 빛을 반사시키게 되어 CCD 카메라(5)를 통해서는 (B)부분의 명암이 확실히 구별되는 상태로 나타나게 된다.That is, as shown in FIG. 5, when the pins of the subject 2 are refracted by A, B, and C, the (B) portion of the pin is (A) ( When irradiated to be much brighter or darker than C), the horizontal portions (A) and (C) of the fins reflect much more light than the inclined portions (B). Of contrast will be clearly distinguished.

따라서 굴절부위의 조광을 다르게 조사시켜 명암 편차에 의해 구분되도록 하므로서 피사체(2) 핀의 검색 오류를 쉽게 막을 수 있으며, 또한 과정을 간단하게 행할 수가 있다.Therefore, the illumination error of the refraction portion is irradiated differently so as to be distinguished by the deviation of contrast, thereby making it possible to easily prevent a search error of the pin of the subject 2, and also to simplify the process.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안은 표면실장형 반도체소자의 핀 상태를 검사하는데 있어 조명장치로 빛의 직진성과 균일성이 양호한 발광다이오드에 의해 지향성을 갖는 평면광을 조사토록 하므로서 반도체소자핀의 굴적 및 평면부위를 명확히 검사할 수 있음은 물론 조광부의 발광체를 수명이 반영구적인 발광다이오드를 사용하므로서 시간 경과에 관계없이 조도율이 일정하게 조사되는 등 보수면에서도 탁월한 효과가 있다.As described above, the present invention is designed to examine the planar light having directivity by a light emitting diode having good linearity and uniformity of light as a lighting device for inspecting the pin state of the surface-mount semiconductor device. Not only can the surface be clearly inspected, but the light emitter of the lighting unit is semi-permanent.

Claims

In the inspection apparatus having an SMC mounter (1) reciprocating vertically to attract a subject (2) to maintain a constant distance, and a CCD camera (5) for imaging the light reflected from the subject (2), the subject ( Illumination device for surface-mounted semiconductor device pin inspection, characterized in that it comprises a dimming portion 10 for generating a constant light having the same straightness for the light intensity of 2) and irradiated with the plane light.

The dimming part 10 has a quadrangular hole 13 formed at a center thereof, and at least several tens of light emitting diodes 12 are formed at each side of the printed circuit board 11 having a quadrangular structure. Surface-mount semiconductor device pin inspection lighting device, characterized in that arranged in two rows.