KR100661911B1 - Inspection apparatus - Google Patents

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KR100661911B1
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Abstract

본 발명은 반도체 칩의 검사 장치에 관한 것으로, 상기 장치는 확산판, 상기 확산판에 형성된 홀을 통해 이동되며 반도체 칩을 지지하는 피커, 상기 반도체 칩을 촬상하는 카메라, 그리고 백라이트 조명 기구를 가진다. 본 발명에서 백라이트 조명 기구는 확산판과 수직하게 설치된 측벽들을 가지며, 상기 측벽 상에 복수의 LED들이 설치된다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus for a semiconductor chip, wherein the apparatus includes a diffuser plate, a picker that moves through a hole formed in the diffusion plate, and supports a semiconductor chip, a camera for imaging the semiconductor chip, and a backlight lighting apparatus. In the present invention, the backlight luminaire has sidewalls installed perpendicular to the diffuser plate, and a plurality of LEDs are installed on the sidewalls.

검사 장치, 백라이트 조명, 확산판Inspection device, backlit illumination, diffuser

Description

검사 장치{INSPECTION APPARATUS} Inspection device {INSPECTION APPARATUS}

도 1은 일반적인 백라이트 조명 기구를 사용한 검사 장치를 개략적으로 보여주는 도면;1 is a schematic view of an inspection apparatus using a general backlight luminaire;

도 2는 본 발명의 검사 장치를 개략적으로 보여주는 도면;2 schematically shows an inspection apparatus of the present invention;

도 3은 도 2의 백라이트 조명 기구, 피커, 그리고 확산판의 결합관계를 보여주는 사시도;3 is a perspective view illustrating a coupling relationship between the backlight luminaire, the picker, and the diffusion plate of FIG. 2;

도 4는 도 2의 백라이트 조명 기구의 상부벽이 제거된 상태에서의 평면도;4 is a plan view with the top wall of the backlight luminaire of FIG. 2 removed;

도 5는 반사판 사용시 광의 경로를 보여주는 도면;5 shows the path of light when using a reflector;

도 6a와 도 6b는 제 1프리즘 사용시 광의 확산 경로를 보여주는 도면들;6A and 6B show diffusion paths of light when using a first prism;

도 6c와 도 6d는 제 2프리즘 사용시 광의 확산 경로를 보여주는 도면들;6C and 6D show diffusion paths of light when using a second prism;

도 6e와 도 6f는 제 1프리즘과 제 2프리즘을 상하 적층하여 사용시 광의 확산 경로를 보여주는 도면들;6E and 6F illustrate a diffusion path of light when the first prism and the second prism are stacked up and down;

도 7a와 도 7b는 제 1측벽과 제 2측벽에 설치된 LED로부터 확산판으로 직접 조사되는 광의 경로를 개략적으로 보여주는 도면들7A and 7B are schematic views showing a path of light directly irradiated onto a diffuser plate from LEDs installed on the first side wall and the second side wall.

도 8a와 도 8b는 제 3측벽과 제 4측벽에 설치된 LED로부터 확산판으로 직접 도달되는 광의 경로를 개략적으로 보여주는 도면들;8A and 8B are schematic views showing a path of light directly reaching the diffuser plate from the LEDs installed in the third and fourth side walls;

도 9a 내지 도 9c는 LED로부터 조사된 광들 중 반사판에 의해 반사된 후 확산판으로 도달되는 광의 경로를 개략적으로 보여주는 도면들;9A-9C schematically illustrate the path of light reaching the diffuser plate after being reflected by the reflector of light emitted from the LEDs;

도 10a 내지 도 10c는 확산판에 도달되는 광의 경로가 모두 도시된 도면들;10A to 10C are views showing all paths of light reaching the diffuser plate;

도 11은 일반적인 백라이트 조명 사용시 광의 경로를 도시한 도면; 그리고FIG. 11 shows the path of light when using general backlight illumination; FIG. And

도 12는 본 실시예의 백라이트 조명 기구 사용시 발생되는 효과를 설명하기 위한 도면이다.12 is a view for explaining the effects caused when using the backlight luminaire of this embodiment.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 확산판 200 : 카메라100: diffuser 200: camera

300 : 백라이트 조명 기구 320 : 몸체300: backlight luminaire 320: body

340 : 반사판 360 : LED340: reflector 360: LED

420 : 피커 500 : 제어부420: picker 500: control unit

본 발명은 전자부품과 같은 대상물의 검사장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 백라이트(backlight) 조명과 카메라를 이용하여 대상물을 검사하는 장치 및 이에 사용되는 백라이트 조명 기구에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for inspecting an object, such as an electronic component, and more particularly, to an apparatus for inspecting an object using a backlight lighting and a camera and a backlight lighting apparatus used therefor.

반도체 장비 또는 전자기기에 설치되기 전의 전자부품에 대한 불량검사를 실시하여 상태를 확인하기 위한 작업이 필수적으로 요구된다. 이들 검사를 위한 일반적인 검사장치의 구성은 도 1에 도시된 바와 같다. 확산판(40)의 일측에는 검사 대 상물인 반도체 칩(10)이 피커(picker)(30)에 의해 흡착되고, 검사 대상물을 촬상하는 복수의 카메라들(50)이 배치된다. 또한, 확산판(40)의 타측에는 확산판(40)으로 광을 조사하는 백라이트 조명(20)이 배치된다. 이로 인해 카메라(50) 촬상에 의해 획득된 영상에서 대상물이 위치되는 곳은 그림자가 생기고, 이외의 부분은 밝게 된다.It is indispensable to carry out a defect inspection of electronic components before they are installed in semiconductor equipment or electronic devices to check their status. The configuration of a general inspection apparatus for these inspections is as shown in FIG. On one side of the diffusion plate 40, the semiconductor chip 10, which is an object to be inspected, is adsorbed by the picker 30, and a plurality of cameras 50 for photographing the object to be inspected are disposed. In addition, the backlight 20 for irradiating light to the diffusion plate 40 is disposed at the other side of the diffusion plate 40. As a result, a shadow is generated where the object is located in the image acquired by the camera 50 imaging, and the other part becomes bright.

백라이트 조명(20)은 확산판(40)과 대향되도록 위치되는 플레이트(22)와 이들 상에 설치된 복수의 발광다이오드들(24)을 가지며, 피커(30)는 플레이트(22)와 확산판(40)에 형성된 홀에 삽입되어 상하로 이동 가능하도록 설치된다. 그러나 발광다이오드들(24)로부터 광은 위에서 아래로 방출되므로 확산판(40)의 영역 중 홀이 형성된 부분은 다른 영역에 비해 균일도(uniformity)가 현저하게 저하되며, 확산판(40)과 경사지게 배치된 카메라(54, 56) 촬상에 의해 획득된 영상에는 농담(濃淡)이 점진적으로 변화되는 명암의 이행(gradation)이 발생된다. 이들은 고정밀도를 요구하는 반도체 칩의 검사시 밝기의 차이에 의한 오차를 증가시켜 동일영역이라도 각각의 카메라(54, 56)에 의해 획득된 영상에 따라 측정값이 다르게 나타나는 등 정밀도를 저하시키며, 카메라(50)에 의해 촬상된 영상에서 리드의 끝단과 같은 특정위치의 검출을 어렵게 한다. The backlight illumination 20 has a plate 22 positioned to face the diffuser plate 40 and a plurality of light emitting diodes 24 installed thereon, the picker 30 having a plate 22 and a diffuser plate 40. Inserted into the hole formed in the) is installed to be movable up and down. However, since light from the light emitting diodes 24 is emitted from the top to the bottom, the hole-formed portion of the region of the diffusion plate 40 is significantly lowered in uniformity than other regions, and is inclined with the diffusion plate 40. In the image obtained by imaging the taken cameras 54 and 56, a gradation of light and shade gradually occurs. They increase the error due to the difference in brightness when inspecting a semiconductor chip that requires high precision, and thus lower the precision, such that the measured values are different depending on the images acquired by the respective cameras 54 and 56 even in the same area. In the image picked up by 50, it becomes difficult to detect a specific position such as the end of the lead.

본 발명은 카메라로 검사대상물 촬상시 균일한 밝기의 영상이 획득될 수 있도록 하는 백라이트 조명 기구 및 이를 이용한 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. It is an object of the present invention to provide a backlight lighting apparatus and an inspection apparatus using the same so that an image of uniform brightness can be obtained when an inspection object is captured by a camera.                         

또한, 본 발명은 검사대상물 촬상시 영상에 명암의 이행이 발생되는 것을 방지할 수 있도록 하는 백라이트 조명 기구 및 이를 이용한 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to provide a backlight luminaire and an inspection apparatus using the same to prevent the transition of the contrast in the image when the inspection object is captured.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명인 검사 장치는 반투명 아크릴을 재질로 하는 확산판, 대상물을 지지하는 피커, 백라이트 조명 기구, 카메라, 그리고 제어부를 가진다. 상기 확산판을 사이에 두고 일측에는 대상물이 상기 피커에 의해 지지되고, 상기 카메라가 배치되며, 타측에는 상기 백라이트 조명 기구가 설치된다. 상기 백라이트 조명 기구는 상기 확산판으로부터 소정각도 경사지거나 수직으로 설치된 측벽들을 가지는 몸체와 각각의 상기 측벽들 내측면에 설치되는 복수의 발광소자들을 포함한다. In order to achieve the above object, the present invention inspection apparatus has a diffuser plate made of translucent acrylic, a picker for supporting an object, a backlight luminaire, a camera, and a control unit. An object is supported by the picker on one side with the diffusion plate interposed therebetween, the camera is disposed, and the backlight luminaire is installed on the other side. The backlight luminaire includes a body having sidewalls inclined at a predetermined angle or vertically from the diffusion plate, and a plurality of light emitting elements disposed on inner surfaces of the sidewalls.

일 예에 의하면, 상기 몸체는 상기 확산판과 수직한 네 측벽을 가지는 직육면체 형상으로 형성되고, 상기 몸체의 상부벽은 상기 발광소자들로부터 상기 확산판과 반대방향으로 발산되는 광의 일부분을 상기 확산판으로 반사시키는 반사판으로 이루어진다. 상기 반사판은 상기 발광소자부터 도달되는 광을 상기 확산판으로 반사하기 위해 은으로 양극처리(anodizing)되고, 상기 발광소자로부터 도달되는 광을 난반사시키기 위해 울퉁불퉁한 표면을 가지는 것이 바람직하다. In some embodiments, the body may have a rectangular parallelepiped shape having four sidewalls perpendicular to the diffuser plate, and an upper wall of the body may include a portion of light emitted from the light emitting elements in a direction opposite to the diffuser plate. It consists of a reflector to reflect. The reflecting plate is preferably anodized with silver to reflect light arriving from the light emitting device to the diffuser plate, and preferably has a rugged surface for diffuse reflection of light arriving from the light emitting device.

또한, 상기 발광소자로부터 방출된 광을 발산시키기 위해 상기 확산판 상에 프리즘이 설치될 수 있으며, 상기 프리즘은 횡방향으로 빛을 발산시키는 제 1프리즘과 상기 제 1프리즘과 적층되어 배치되며 종방향으로 빛을 발산시키는 제 2프리 즘을 가진다.In addition, a prism may be installed on the diffusion plate to emit light emitted from the light emitting device, and the prism is disposed by being laminated with the first prism and the first prism that emit light in the lateral direction, and the longitudinal direction. It has a second prism that emits light.

또한, 본 발명의 백라이트(backlight) 조명 기구는 플레이트를 사이에 두고 대상물과 반대측에 위치되는 측벽들을 가지는 몸체와 상기 몸체의 측벽들 각각의 내측면에 설치되는 복수의 발광다이오드들을 포함하며, 상기 몸체의 측벽들은 상기 플레이트와 소정각도 경사지거나 수직으로 설치된다. 바람직하게는 상기 몸체는 상기 확산판과 수직한 네 측벽을 가지는 직육면체 형상으로 형성되고, 상기 몸체의 상부벽은 상기 발광소자들로부터 상기 확산판과 반대방향으로 발산되는 광의 일부분을 상기 확산판으로 반사시키는 반사판으로 이루어진다.Further, the backlight luminaire of the present invention includes a body having sidewalls positioned opposite to an object with a plate therebetween, and a plurality of light emitting diodes installed on inner surfaces of each of the sidewalls of the body. The side walls of the inclined or perpendicular to the plate at a predetermined angle. Preferably, the body is formed in a rectangular parallelepiped shape having four sidewalls perpendicular to the diffuser plate, and an upper wall of the body reflects a portion of light emitted from the light emitting elements in a direction opposite to the diffuser plate to the diffuser plate. Made of a reflector.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 12를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다. 본 실시예에서는 검사대상물로 반도체 칩을 예로 들어 설명하나, 이에 한정되지는 않는다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 2 to 12. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape of the elements in the drawings are exaggerated to emphasize a clearer description. In the present embodiment, a semiconductor chip is described as an inspection object, but the present invention is not limited thereto.

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 검사장치(1)를 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 3은 도 2의 확산판(100), 백라이트 조명 기구(300), 그리고 피커(420)의 결합관계를 개략적으로 보여주는 분해사시도이다. 도 2를 참조하면, 검사장치는 플레이트, 카메라부(200), 백라이트 조명 기구(300), 피커(420), 그리고 제어부(500)를 가진다. 플레이트는 사각의 평판을 가지며, 플레이트의 하부에는 반도체 칩(10)을 촬상하기 위한 복수의 카메라들(200)이 배치되고, 플레이트의 상부에는 카메라(200)에 의해 획득된 영상에서 반도체 칩(10)의 윤곽이 뚜렷하게 나타나도록 광을 조사하는 백라이트 조명 기구(300)가 배치된다. 플레이트로는 백라이트 조명기구(300)로부터 방출된 광을 확산시키는 확산판(100)이 사용된다. 확산판(100)은 광을 잘 투과할 수 있는 반투명 아크릴을 재질로 하여 이루어진다. FIG. 2 is a view schematically illustrating an inspection apparatus 1 according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a combination of the diffuser plate 100, the backlight luminaire 300, and the picker 420 of FIG. 2. An exploded perspective view schematically illustrating the relationship. Referring to FIG. 2, the inspection apparatus includes a plate, a camera unit 200, a backlight luminaire 300, a picker 420, and a controller 500. The plate has a rectangular flat plate, and a plurality of cameras 200 for photographing the semiconductor chip 10 is disposed below the plate, and the semiconductor chip 10 is disposed on an image obtained by the camera 200 above the plate. The backlight luminaire 300 for irradiating light is disposed so that the outline of the circumference is apparent. As the plate, a diffusion plate 100 for diffusing the light emitted from the backlight luminaire 300 is used. The diffusion plate 100 is made of a translucent acrylic material that can transmit light well.

카메라부(200)는 확산판(100)과 정면으로 대향되는 위치에 설치되는 제 1카메라(220)와 이의 양측에 각각 확산판(100)과 약 45°의 각도로 경사져 확산판(100)을 바라보도록 각각 위치되는 제 2카메라(240) 및 제 3카메라(260)로 이루어진다. 제어부(500)는 각각의 카메라의 셔터속도(shutter speed) 등을 제어하고, 카메라들의 촬상에 의해 획득된 영상로부터 반도체 칩의 결함 등을 검사한다.The camera unit 200 is inclined at an angle of about 45 ° with the diffuser plate 100 at both sides of the first camera 220 and both sides thereof, which are installed at positions facing the diffuser plate 100 in front of the diffuser plate 100. It consists of a second camera 240 and a third camera 260, respectively positioned to look. The controller 500 controls a shutter speed of each camera and the like, and inspects a defect of the semiconductor chip and the like from an image obtained by imaging of the cameras.

피커(420)는 검사공정 진행 중 반도체 칩(10)을 진공으로 흡착 고정한다. 도 3을 참조하면, 피커(420)는 하나 또는 복수개가 제공되며, 각각의 피커(420)는 수직으로 위치되어 백라이트 조명 기구(300)에 삽입되며, 그 끝단은 확산판(100)에 형성된 홀(120)을 통해 확산판(100) 아래로까지 돌출 된다. 피커(420)는 피커 지지체(440)에 고정 설치된다. 피커 지지체(440)는 구동모듈(444)과 이에 결합되어 수평으로 돌출된 복수의 지지대들(442)를 가진다. 각각의 지지대(442)의 끝단 하부면에는 피커(420)의 상단부가 고정된다. 구동모듈(444)은 상하로 이동될 수 있다.The picker 420 sucks and fixes the semiconductor chip 10 in a vacuum during the inspection process. Referring to FIG. 3, one or more pickers 420 may be provided, and each picker 420 may be vertically positioned to be inserted into the backlight luminaire 300, and an end thereof may be formed in the diffuser plate 100. It protrudes down through the diffusion plate 100 through 120. The picker 420 is fixed to the picker support 440. The picker support 440 has a driving module 444 and a plurality of supports 442 protruding horizontally coupled thereto. The upper end of the picker 420 is fixed to the lower end surface of each support 442. The driving module 444 may be moved up and down.

백라이트 조명 기구(300)는 직육면체 형상으로 형성된 몸체(320)를 가진다. 몸체(320)는 네 개의 측벽(322, 324, 326, 328)과 상부벽(340)을 가지며, 하부는 개방된다. 네 개의 측벽(322, 324, 326, 328)은 모두 확산판(100)과 수직하게 설치되며, 몸체(320)는 확산판(100)에 탈착 가능하도록 결합된다. 몸체(320)의 전면과 후면을 구성하는 측벽들(322, 324)을 각각 제 1, 2측벽이라 하고, 이를 제외한 다른 측벽들(326, 328)을 제 3, 4측벽이라 한다. 몸체의 상부벽(340)이 제거된 상태의 평면도인 도 4를 참조하면, 각각의 측벽의 내측면에는 복수의 발광소자들(360)이 설치되며, 발광소자(360)로는 발광다이오드(light emitting diode : 이하 'LED(360)')가 사용된다. LED(360)들은 복수의 층을 이루도록 설치되며 각각의 층에 복수개가 설치된다. 제 1측벽(322)과 제 2측벽(324)에 설치된 LED들(360)의 수와 배치는 서로 동일하고, 제 3측벽(326)과 제 4측벽(328)에 설치된 LED들(360)의 수와 배치는 서로 동일한 것이 바람직하다. LED(360)의 온/오프 및 광량은 LED 조절부(도 1의 600)에 의해 조절되며, LED 조절부(600)는 상술한 제어부(500)와 신호를 주고받도록 연결된다.The backlight luminaire 300 has a body 320 formed in a cuboid shape. The body 320 has four sidewalls 322, 324, 326, 328 and an upper wall 340, the bottom of which is open. The four side walls 322, 324, 326, and 328 are all installed perpendicular to the diffuser plate 100, and the body 320 is detachably coupled to the diffuser plate 100. The side walls 322 and 324 constituting the front and rear surfaces of the body 320 are called first and second side walls, respectively, and the other side walls 326 and 328 are referred to as third and fourth side walls. Referring to FIG. 4, which is a plan view in which the upper wall 340 of the body is removed, a plurality of light emitting elements 360 are installed on an inner side surface of each side wall, and the light emitting device 360 includes a light emitting diode. diode: Hereafter 'LED 360') is used. The LEDs 360 are installed to form a plurality of layers, and a plurality of LEDs 360 are provided in each layer. The number and arrangement of the LEDs 360 installed on the first side wall 322 and the second side wall 324 are the same, and the arrangement of the LEDs 360 provided on the third side wall 326 and the fourth side wall 328. The numbers and arrangements are preferably the same. On / off and the amount of light of the LED 360 is controlled by the LED control unit (600 of Figure 1), the LED control unit 600 is connected to send and receive a signal with the control unit 500 described above.

백라이트 조명 기구의 상부벽(340)은 광을 반사할 수 있는 반사판(340)으로 이루어진다. 이는 LED(360)부터 방출된 광 중 몸체(320) 내 상부로 향하는 광을 확산판(100)으로 반사하여 확산판(100)에 도달되는 광량을 증가시킨다. 반사판(340)의 표면은 울퉁불퉁하게 형성된다. 이로 인해 도 5에 도시된 바와 같이 반사판(340)으로부터 광이 난반사된다.The top wall 340 of the backlight luminaire consists of a reflector plate 340 capable of reflecting light. This reflects the light directed upward in the body 320 among the light emitted from the LED 360 to the diffuser plate 100 to increase the amount of light reaching the diffuser plate 100. The surface of the reflecting plate 340 is formed bumpy. As a result, light is diffusely reflected from the reflecting plate 340 as shown in FIG. 5.

반사판(340)에는 피커들(420)의 삽입을 위한 하나의 홀(342)이 길게 형성된다. 이는 피커들(420)의 크기 및 수에 따라 피커들(420)의 간격을 조절할 수 있도록 한다. 피커들(420)의 간격 및 크기가 변함에 따라 이에 대응되는 간격과 크기로 형성된 확산판(100)들이 교체되어 사용될 수 있다. 그러나 이와 달리 반사판(340)에는 복수의 홀들이 형성되어 하나의 홀에는 하나의 피커(420)가 삽입될 수 있다.In the reflector plate 340, one hole 342 for inserting the pickers 420 is formed long. This makes it possible to adjust the spacing of the pickers 420 according to the size and number of pickers 420. As the spacing and size of the pickers 420 change, the diffusion plates 100 formed at the spacing and size corresponding thereto may be replaced and used. Unlike this, however, a plurality of holes may be formed in the reflective plate 340 so that one picker 420 may be inserted into one hole.

본 실시예에서 백라이트 조명기구(300)는 LED(360)로부터 방출된 광을 분산시키는 프리즘(380)을 가진다. 프리즘(380)은 확산판(100)의 상부면에 고정 설치된다. 프리즘은 도 6a와 도 6b에 도시된 바와 같이 제 1측벽(322)과 제 2측벽(324)을 향하는 방향(종방향)으로 광을 분산시키는 제 1프리즘(382)이 사용되거나 도 6c와 도 6d에 도시된 바와 같이 제 3측벽과 제 4측벽을 향하는 방향(횡방향)으로 광을 분산시키는 제 2프리즘(384)이 사용될 수 있다. 그러나 도 6e와 도 6f에 도시된 바와 같이 프리즘에 도달되는 광을 종방향 및 횡방향으로 동시에 분산시키도록 제 1프리즘(382)과 제 2프리즘(384)을 상하로 적층하여 사용하는 것이 바람직하다. 비록 본 실시예에서 광은 측벽으로부터 경사져서 프리즘(380)에 도달되나, 설명의 용이를 위해 도 6a, 도 6b, 그리고 도 6c에는 수직으로 도달되는 것으로 도시하였다.In the present embodiment, the backlight luminaire 300 has a prism 380 that disperses the light emitted from the LED 360. The prism 380 is fixedly installed on the upper surface of the diffusion plate 100. As shown in FIGS. 6A and 6B, the prism may use a first prism 382 for dispersing light in a direction (vertical direction) toward the first side wall 322 and the second side wall 324, or FIGS. 6C and 6B. As shown in 6d, a second prism 384 for dispersing light in a direction (lateral direction) toward the third and fourth side walls may be used. However, it is preferable to use the first prism 382 and the second prism 384 stacked up and down to simultaneously disperse the light reaching the prism in the longitudinal and transverse directions as shown in FIGS. 6E and 6F. . Although light in this embodiment is inclined from the side wall to reach the prism 380, it is shown as reaching vertically in FIGS. 6A, 6B, and 6C for ease of explanation.

도 7 내지 도 9는 본 실시예에서 LED(360)로부터 방출된 광이 확산판(100) 에 도달되는 경로를 보여주는 도면이다. 도 7a는 백라이트 조명기구(300) 내부를 전면에서 바라본 도면이고, 도 7b는 백라이트 조명기구(300) 내부를 상부에서 바라본 도면이다. 도 7a와 도 7b에는 제 1측벽(326)과 제 2측벽(328)에 설치된 LED(360)로부터 방출된 광들 중 확산판(100)에 직접 도달되는 광만을 도시하였다. 또한, 도 8a는 백라이트 조명기구(300) 내부를 측면에서 바라본 도면이고, 도 8b는 백라이트 조명기구(300) 내부를 상부에서 바라본 도면이다. 도 8a와 도 8b에는 제 3측벽(326)과 제 4측벽(328)에 설치된 LED(360)로부터 방출된 광들 중 확산판(100) 에 직접 도달되는 광만을 도시하였다. 7 to 9 are diagrams showing a path in which light emitted from the LED 360 reaches the diffusion plate 100 in this embodiment. 7A is a view of the inside of the backlight luminaire 300 from the front, and FIG. 7B is a view of the inside of the backlight luminaire 300 from the top. 7A and 7B show only the light directly reaching the diffuser plate 100 among the light emitted from the LEDs 360 installed on the first side wall 326 and the second side wall 328. 8A is a view of the backlight luminaire 300 viewed from the side, and FIG. 8B is a view of the backlight luminaire 300 viewed from above. 8A and 8B show only the light directly reaching the diffuser plate 100 among the light emitted from the LEDs 360 installed on the third side wall 326 and the fourth side wall 328.

도 7과 도 8에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 일반적인 경우와 달리 LED(360)들이 확산판(100)과 수직하게 배치된 네 측벽(322, 324, 326, 328)에 설치되어 광을 조사하므로 확산판(100)에 형성된 홀(120) 주변을 포함한 확산판(100) 전체에 광이 균일하게 도달될 수 있으므로 카메라(200)의 촬상에 의해 획득된 영상에서 밝기의 균일성이 우수하다. 또한, 다양한 방향에서 광이 조사되므로 확산판(100)과 경사지도록 설치된 카메라(240, 260)의 촬상에 의해 획득된 영상에 농담의 변화가 생기지 않으므로 명암의 이행(gradation)이 발생되지 않는다. As shown in FIGS. 7 and 8, in this embodiment, unlike the general case, the LEDs 360 are installed on four sidewalls 322, 324, 326, and 328 disposed perpendicular to the diffuser plate 100 to emit light. Since the light can reach the entire diffuser plate 100 including the periphery of the hole 120 formed in the diffuser plate 100 uniformly, the uniformity of brightness is excellent in an image obtained by imaging of the camera 200. . In addition, since light is irradiated in various directions, a change in light and shade does not occur in an image obtained by imaging of the cameras 240 and 260 installed to be inclined with the diffusion plate 100, and thus no gradient is generated.

도 9a는 백라이트 조명 기구(300) 내부를 전면에서 바라본 도면이고, 도 9b는 백라이트 조명 기구(300) 내부를 측면에서 바라본 도면이며, 도 9c는 백라이트 조명기구(300) 내부를 상부에서 바라본 도면이다. 도 9a 내지 도 9c에는 LED(360)로부터 방출된 광 중 확산판(100)으로 향하지 않고 상부로 향하는 광들의 이동경로만을 도시하였다. 도 9a 내지 도 9c에 도시된 바와 같이 본 발명에서 백라이트 조명 기구의 상부벽은 울퉁불퉁한 면을 가진 반사판(340)으로 이루어지므로 LED(360)로부터 방출되어 확산판(100)으로 직접 향하지 않고 상부로 향하는 광은 반사판(340)으로부터 반사되어 확산판(100) 전체에 균일하게, 그리고 다양한 각도에서 도달되어 카메라 영상에서 밝기의 균일성이 더욱 우수하고, 명암의 이행이 발생되는 것을 더욱 방지할 수 있다.9A is a view of the inside of the backlight luminaire 300 viewed from the front, FIG. 9B is a view of the backlight luminaire 300 viewed from the side, and FIG. 9C is a view of the backlight luminaire 300 viewed from the top. . 9A to 9C only show movement paths of light directed upward, not toward the diffusion plate 100, among the light emitted from the LED 360. As shown in Figures 9a to 9c in the present invention the upper wall of the backlight luminaire is made of a reflecting plate 340 with a rugged surface, so that it is emitted from the LED 360 and not directed directly to the diffuser plate 100, The light directed toward the diffuser plate 340 is reflected from the reflector plate 340 to reach the diffuser plate 100 uniformly and at various angles, so that the uniformity of brightness in the camera image is better, and the transition of contrast can be further prevented. .

도 10과 도 11은 본 실시예에서 광의 경로와 일반적인 백라이트 조명 사용시 광의 경로를 비교하기 위한 도면이다. 도 10a는 백라이트 조명 기구(300) 내부를 전면에서 바라본 도면이고, 도 10b는 백라이트 조명 기구 내부(300)를 측면에서 바라본 도면이며, 도 10c는 백라이트 조명기구 내부(300)를 상부에서 바라본 도면이다. 도 10에는 상술한 도 7 내지 도 9의 광 경로를 모두 도시하였다. 도 11에 도시된 바와 같이 확산판(100)과 대향되도록 배치된 플레이트(22)에 LED(360)들이 설치되면 플레이트(22)에 부착할 수 있는 LED(360)들의 수는 한정되고, 피커(30) 삽입을 위해 확산판(40)에 형성된 홀(42) 근처에서 밝기의 균일성이 현저하게 저하된다. 또한, 확산판(40)과 경사지도록 배치된 카메라 촬상에 의해 획득된 영상에는 명암이 단계적으로 변화되는 명암의 이행(gradation)이 발생된다. 그러나 도 10에 도시된 바와 같이 확산판(100)에 수직하게 설치된 측벽들(322, 324, 326, 328) 상에 LED들(360)이 설치되면, 측벽에 부착할 수 있는 LED(360)의 수에 제한이 없다. 또한, 복수의 층상의 LED(360)로부터 광이 경사져서 확산판(100)으로 도달되므로, 확산판(100) 전체에 균일하게 광이 도달되며, 확산판(100)과 경사지도록 배치된 카메라(240, 260)와 평행한 방향을 포함하여 다각도에서 광이 조사되므로 카메라(200) 촬상에 의해 획득된 영상에 명암의 이행(gradation)이 발생되지 않는다.10 and 11 are diagrams for comparing the path of the light and the path of the light when using a general backlight illumination in this embodiment. FIG. 10A is a view of the inside of the backlight luminaire 300 from the front, FIG. 10B is a view of the backlight luminaire 300 from the side, and FIG. 10C is a view of the backlight luminaire 300 from the top. . 10 illustrates all of the optical paths of FIGS. 7 to 9 described above. As shown in FIG. 11, when the LEDs 360 are installed on the plate 22 disposed to face the diffuser plate 100, the number of LEDs 360 that can be attached to the plate 22 is limited, and the picker ( 30) The uniformity of the brightness is remarkably lowered near the hole 42 formed in the diffusion plate 40 for insertion. In addition, in the image obtained by camera imaging disposed to be inclined with the diffuser plate 40, a gradation of light and shade is gradually changed. However, as shown in FIG. 10, when the LEDs 360 are installed on the sidewalls 322, 324, 326, and 328 installed perpendicular to the diffusion plate 100, the LED 360 may be attached to the sidewalls. There is no limit to the number. In addition, since the light is inclined from the plurality of layered LEDs 360 to reach the diffusion plate 100, the light reaches the entire diffusion plate 100 uniformly, and the camera is disposed to be inclined with the diffusion plate 100 ( Since light is irradiated from various angles including directions parallel to the 240 and 260, no gradation of contrast is generated in an image obtained by imaging the camera 200.

도 12는 본 발명의 백라이트 조명 기구(300) 사용시 발생되는 또 다른 효과를 설명하기 위한 도면이다. 본 발명의 백라이트 조명 기구(300) 사용시 피커의 주변 영역('A' 영역)은 도 12에 도시된 바와 같이 이에 직접 조사되는 광 뿐만 아니라 피커들(420) 사이를 통과하는 광의 회절현상으로 인해 더욱 밝아진다.12 is a view for explaining another effect generated when using the backlight luminaire 300 of the present invention. When using the backlight luminaire 300 of the present invention, the peripheral region ('A' region) of the picker is further shown by the diffraction phenomenon of the light passing between the pickers 420 as well as the light directly irradiated thereto as shown in FIG. 12. Brighter

본 실시예에서 LED(360)들은 확산판(100)과 수직하게 설치된 몸체의 측벽(322, 324, 326, 328) 상에 설치되는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리 측벽(322, 324, 326, 328)은 확산판(100)과 일정각도 경사지도록 설치될 수 있다. 또한 몸체(320)가 네 측벽으로 이루어진 직육면체 형상을 가지는 것으로 설명되었으나, 몸체(320)의 측벽 수는 다양하게 변화될 수 있다.In the present embodiment, the LEDs 360 are described as being installed on the sidewalls 322, 324, 326, and 328 of the body installed perpendicular to the diffusion plate 100. Alternatively, the side walls 322, 324, 326, and 328 may be installed to be inclined at a predetermined angle with the diffusion plate 100. In addition, although the body 320 has been described as having a rectangular parallelepiped shape having four sidewalls, the number of sidewalls of the body 320 may vary.

본 발명의 백라이트 조명 기구에 의하면 확산판에 홀이 형성된 경우에도 카메라로 검사대상물 촬상시 균일한 밝기의 영상이 획득되므로 정확한 검사가 가능하다.According to the backlight luminaire of the present invention, even when a hole is formed in the diffusion plate, an image of uniform brightness is obtained when the inspection object is photographed by the camera, thereby enabling accurate inspection.

또한, 본 발명의 백라이트 조명 기구에 의하면 확산판과 일정각도 경사진 카메라로 검사대상물 촬상시 영상에 명암의 이행(gardation)이 발생되는 것을 방지할 수 있으므로 정확한 검사가 가능하다.In addition, according to the backlight lighting apparatus of the present invention, it is possible to prevent the generation of light and shade (gardation) in the image when photographing the inspection object with the diffuser plate and the camera inclined at a certain angle, so that accurate inspection is possible.

Claims (16)

중앙에 적어도 하나의 홀이 형성된 확산판과;A diffusion plate in which at least one hole is formed; 상기 홀을 통해 이동가능하며, 대상물을 지지하는 피커와;A picker movable through the hole and supporting an object; 상기 확산판을 사이에 두고 상기 대상물과 반대측에 배치되는 백라이트(backlihgt) 조명 기구와;A backlight luminaire disposed opposite the object with the diffuser plate therebetween; 상기 피커에 지지되는 대상물을 기준으로 상기 백라이트 조명 기구와 반대측에 배치되며, 상기 대상물을 촬상하는 카메라와; 그리고A camera disposed on an opposite side to the backlight luminaire based on an object supported by the picker, for imaging the object; And 상기 카메라에 의해 촬상된 영상로부터 상기 대상물에 대해 검사를 수행하는 제어부를 포함하되,It includes a control unit for performing an inspection on the object from the image captured by the camera, 상기 백라이트 조명 기구는,The backlight luminaire, 상기 확산판으로부터 소정각도 경사지거나 수직으로 설치된 측벽들을 가지는 몸체와;A body having side walls inclined at a predetermined angle or vertically installed from the diffusion plate; 각각의 상기 측벽들 내측면에 설치되는 복수의 발광소자들을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.And a plurality of light emitting elements provided on inner surfaces of the sidewalls, respectively. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 몸체는 상기 확산판과 수직한 네 측벽을 가지는 직육면체 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 검사장치.And the body has a rectangular parallelepiped shape having four sidewalls perpendicular to the diffusion plate. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 몸체의 상부벽은 상기 발광소자들로부터 상기 확산판과 반대방향으로 발산되는 광의 일부분을 상기 확산판으로 반사시키는 반사판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사장치.And the upper wall of the body comprises a reflecting plate for reflecting a portion of the light emitted from the light emitting elements in the opposite direction to the diffuser plate to the diffuser plate. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 반사판은 상기 발광소자부터 도달되는 광을 상기 확산판으로 반사하기 위해 은으로 양극처리(anodizing)된 것을 특징으로 하는 검사장치.And the reflecting plate is anodized with silver to reflect light from the light emitting element to the diffusion plate. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 반사판은,The reflector is, 상기 발광소자로부터 도달되는 광을 난반사시키기 위해 울퉁불퉁한 표면을 가지는 것을 특징으로 하는 검사장치.And an uneven surface for diffusely reflecting the light arriving from the light emitting element. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 확산판은 반투명 아크릴을 재질로 하는 것을 특징으로 하는 검사장치.The diffusion plate is a test device, characterized in that the translucent acrylic material. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 발광소자들은 발광다이오드인 것을 특징으로 하는 검사장치.And the light emitting elements are light emitting diodes. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 장치는 발광소자로부터 방출된 광을 발산시키기 위해 상기 확산판 상에 설치되는 프리즘을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.The apparatus further comprises a prism mounted on the diffusion plate to emit light emitted from the light emitting element. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 프리즘은,The prism is, 횡방향으로 빛을 발산시키는 제 1프리즘과;A first prism for emitting light in the lateral direction; 상기 제 1프리즘과 적층되도록 배치되며, 종방향으로 빛을 발산시키는 제 2프리즘을 구비하는 것을 특징으로 하는 검사장치.And a second prism disposed to be laminated with the first prism and emitting light in a longitudinal direction. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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