KR960042930A - 열증착을 이용한 박막제조 장치 및 방법 - Google Patents
열증착을 이용한 박막제조 장치 및 방법 Download PDFInfo
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Abstract
상부 챔버와 하부 챔버의 진공도를 달리하여 정해진 압력차를 이용하고 하부 챔버 내부에 열선이 내장된 도가니를 장착하여 셔터방향으로 증기를 유도하고 정밀 진공 게이지에 덕트를 달아 도가니 내부의 진공도를 정밀 측정함으로서 원하는 박막을 얻는 것을 특징으로 하는 열 증착을 이용한 박막제조 장치 및 방법.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 열증착을 이용한 박막제조 진공장치의 내부구성도.
Claims (4)
- 시료를 장착시키는 보트와, 상기 보트 상부의 시료에 열을 가하여, 증발된 시료를 상부로 가이드 함으로써, 오염부를 줄일 수 있는 도가니와, 상기 시료가 증발되기 시작할때, 진공도의 변화를 감지할 수 있는 덕트를 가진 진공게이지를 포함하는 하부 챔버와; 상기 하부챔버의 시료가 증발되어 부착되는 기판과, 상기 기판을 상부에서 고정하는 샘플홀더와, 상기 기판의 소정부분에 증발새료가 증착되도록 하기 위해 상기 기판 하부에 형성되는 마스크를 가진 상부 챔버와; 상기 하부챔버와 상부 챔버를 분리시키는 셔터를 구비하여 상기 상·하부 챔버를 서로 다른 진공상태로 한다음, 압력차를 이용하여 정밀제어를 통한 박막제조를 하도록 구성된 열증착을 이용한 박막제조장치.
- 제1항에 있어서, 상기 진공 게이지는 일정 진공도에서 셔터가 열리도록 서로 인터페이스 되어 있는 것을 특징으로 하는 열증착을 이용한 박막제조장치.
- 제1항에 있어서, 상기 상부 챔버는 기판에 증착되는 시료의 두께를 감지하여 조절하기 위한 박막모니터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열증착을 이용한 박막제조장치.
- 하부 챔버안에 미리 세척되어진 몰리브덴 보트를 연결한 다음 열 증착을 위한 시료를 몰리브덴 보트에 위치시키는 단계와, 상부 챔버에 있는 샘플홀더에 기판을 위치시키고 박막의 두께를 측정할 수 있는 두께 모니터를 준비하고, 로타리 펌프(rotary pump)를 이용하여 일정한 압력에 도달할때 까지 셔터를 열어두고, 일정압력에 도달한 후에는 셔터르 닫고 확산 펌프(diffusion pump)를 이용하여 차동 펌핑(differential pumping)을 하는 단계와, 하부 챔버의 도가니 내부의 열선에 전류를 흘려 온도를 높인 후 적정온도를 유지시키는 단계와, 상기 셔터의 적정 개방시간을 정한후, 몰리브덴보트에 일정한 전류를 흘려서 온도를 올리면 열로 인하여 물질이 기화되면서 도가니내부의 진공도가 소정 압력을 올라가면 덕트를 통해 진공게이지가 셔터를 열 준비를 하는 단계와, 상기 셔터를 열게 되면 하부 챔버의 증기들이 상부 챔버로 확산되게 하는 단계를 포함하는 열증착을 이용한 박막제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950013748A KR0149796B1 (ko) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | 열증착을 이용한 박막제조 장치 및 방법 |
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| KR1019950013748A KR0149796B1 (ko) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | 열증착을 이용한 박막제조 장치 및 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960042930A true KR960042930A (ko) | 1996-12-21 |
| KR0149796B1 KR0149796B1 (ko) | 1998-12-01 |
Family
ID=19415788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950013748A KR0149796B1 (ko) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | 열증착을 이용한 박막제조 장치 및 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0149796B1 (ko) |
-
1995
- 1995-05-30 KR KR1019950013748A patent/KR0149796B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0149796B1 (ko) | 1998-12-01 |
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