KR960035759A - 코히어런스 팩터 조절용 기구 및 그 조절방법 - Google Patents

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KR960035759A
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김철홍
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김광호
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    • G03F7/70058—Mask illumination systems
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Abstract

신규한 코히어런스 팩터 조절용 기구 및 그 조절방법이 개시되어 있다. 본 발명에 의한 코히어런스 팩터 조절용 기구는 조리개 구경 및 상기 구경을 자동으로 조절하는 구동 모터들을 구비한다. 상기 구동모터들은 조리개 구경의 중심을 X축 및 Y축으로 미세 운동시키는 X구동모터 및Y구동모터와, 조리개 구경의 반경 조절용 모터로 이루어진다. 구경을 자동으로 구동시킴으로써 그 반경을 연속적으로 가변시킬 수 있고, 구경의 중심자체가 X축 및 Y축으로 미세운동하기 때문에 어떠한 스테퍼의 광축에도 미세정령이 가능하다.

Description

코히어런스 팩터 조절용 기구 및 그 조절방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 의한 코히어런스 팩터 조절용 기구의 설계도. 제5A도 및 제5B도는 본 발명의 일실시예에 의한 코히어런스 팩터 조절용 기구의 설계도들. 제6도는 본 발명의 다른 실시예에 의한 코히어런스 팩터 조절용 기구의 설계도. 제7도는 본 발명에 의한 자동 구경 제어기의 개략도.

Claims (7)

  1. 조리개 구경 : 및 상기 조리개 구경을 자동으로 조절하는 구동 모터들을 구비하는 것을 특징으로 하는 코히어런스 팩터 조절용 기구.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구동 모터들은, 상기 조리개 구경의 중심을 X축 및 Y축으로 미세 운동시키는 X구동 모터 및 Y구동 모터와, 상기 조리개 구경의 반경 조절용 모터로 이루어진 것을 특징으로 하는 코히어런스 팩터 조절용 기구.
  3. 구경의 반경 및 중심을 외부에서 자동 조절하여 코히어런스 팩터를 조절하는 것을 특징으로 하는 코히어런스 팩터 조절 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 구경의 반경을 연속적으로 가변시키는 것을 특징으로 하는 코히어런스 팩터 조절 방법.
  5. 제3항에 있어서, 상기 구경의 반경 및 중심을 반경 조절용 모터, X축 구동 모터 및Y축 구동모터를 이용하여 조절하는 것을 코히어런스 팩터 조절방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 X축 및Y축 구동 모터를 가이드를 이용한 슬라이딩 방식으로 운동시키는 것을 특징으로 하는 코히어런스 팩터 조절방법.
  7. 제3항에 있어서, 상기 구경의 반경을 모터 축에 폴리를 연결함으로서 조절하고, 상기 구경의 중심을 X축 구동 모터 및 Y축 구동 모터로 조절하는 것을 특징으로 하는 코히어런스 팩터 조절방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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