KR960026511A - 금속유기물 화학 증착에 의한 막의 모니터링 장치 - Google Patents

금속유기물 화학 증착에 의한 막의 모니터링 장치 Download PDF

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양승택
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Abstract

상이한 파장을 갖는 두개의 레이저빔을 성장 중인 막에 동시에 투사하고, 성장중의 막으로부터 반사된 두개의 반사빔들 각각의 간섭패턴주기를 분석하여 막의 두께와 조성을 모니터링한다.
막으로부터 반사되는 두개의 반사광을 각각 검출하기 위한 광검출기로서, 단파장용 레이저빔의 검출에 적합한 실리콘검출기와 장파장용 레이저빔의 검출에 적합한 저매늄검출기를 이용하여, 동시에 서로 상이한 파장용 두 반사광을 감지하여실시간으로 막의 두께 및 조성을 측정한다.

Description

금속유기물 화학 증착에 의한 막의 모니터링 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 막 모니터링 장치의 구성도.

Claims (4)

  1. 소정의 제1파장을 갖는 제1레이저빔을 발생하는 제1레이저빔발생수단과; 상기 소정의 제1파장과 상이한 소정의 제2파장을 갖는 제2레이저빔을 발생하는 제2레이저빔발생수단과; 상기 제1레이저빔을 소정의 비율로 분할하는 빔분할수단과; 상기 제1레이저빔발생수단으로 부터의 상기 제1레이저빔을 통과시키고 그리고 상기 제2레이저빔발생수단로부터의 상기 제2레이저빔을 반사시키되, 상기 제1및 제2레이저빔들이 챔버내에 위치한 샘플의 표면으로 각각 입사되게 하는 제1필터수단과; 상기 샘플의 상기 표면으로 부터 반사되는 상기 제1레이저빔의 반사광을 통과시키고 상기 샘플의 상기 표면으로 부터 반사되는 상기 제2레이저빔의 반사광을 반사시키는 제2필터수단; 상기 제2필터수단으로부터의 상기 제1레이저빔의 상기 반사광을 검출하여 그에 대응되는 전기신호를 출력하는 제1광검출수단과; 상기 제2필터수단으로부터의 상기 제2레이저빔의 상기 반사광을 검출하여 그에 대응되는 전기신호를 출력하는 제2광검출수단과; 상기 제1 및 제2 각 광검출수단들로 부터의 상기 전기신호들을 받아들여 비교분석하는 연산수단을 포함하는 금속유물 화학 증착에 의한 막의 모니터링 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1및 제2레이저빔은 챔버내에 위치한 상기 샘플의 상기 표면의 수직방향에 대해 71˚의 각도로 입사되는 금속유기물 화학증착에 의한 막의 모니터링 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1레이저발생수단은 0.6328㎛의 파장을 갖는 He-Ne 레이저발생기이고, 제2레이저발생수단은 1.5304㎛의 파장을 갖는 반도체 레이저 다이오드인 금속유기물 화학증착에 의한 막의 모니터링 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1광검출수단은 실리콘검출기이고, 상기 제2광검출수단은 저매늄검출기인 금속유기물 화학증착에 의한 막의 모니터링 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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