KR960025924A - 섀도우 마스크의 곡률 측정시스템 및 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 섀도우 마스크의 곡률 측정시스템 및 방법에 관한 것으로서, 3차원 측정기와, 상기 3차원 측정기를 구동시키는 측정기 제어부와, 상기 3차원 측정기의 Z축에 고정 설치되어 영상을 인식 하는 현미경 프로브와, 상기 현미경 프로브로부터 영상 데이타를 전송받아 디지탈로 변환시키는 프레임 그래버와, 상기 측정기 제어부와 프레임 그래버 사이에 연결된 컴퓨터로 구성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 섀도우 마스크 곡률 측정시스템 및 방법은 비접촉 측정이므로 제품에 변형을 주지 않으면서 측정이 가능하고, 섀도우 마스크의 자유곡면, 재질 및 구멍의 유무에 영향을 받지 않으면서 측정이 가능하며, 자동화 측정이 가능하다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 의한 섀도우 마스크 곡률 측정시스템의 구성도, 제5도는 본 발명의 현미경 프로브의 구성도, 제6도는 본 발명에 의한 현미경 프로브의 외관도, 제7도는 본 발명에 의한 컴퓨터가 지원하는 기능을 도시한 도면, 제8도는 본 발명에 의한 측정 지그부(외면곡률 치수측정시)의 상세도, 제9도는 본 발명에 의한 측정 지그부(내면곡률 치수측정시)의 상세도, 제10도는 본 발명에 의한 섀도우 마스크 곡률 측정방법의 흐름도, 제11도는 본 발명에 의한 자동집속으로 촛점을 맞추는 방법(외면곡률 치수측정시)을 도시한 도면, 제12도는 본 발명에 의한 자동집속으로 촛점을 맞추는 방법(내면곡률 치수측정시)을 도시한 도면이다.
Claims (9)
- 3차원 측정기와, 상기 3차원 측정기를 구동시키는 측정기 제어부와, 상기 3차원 측정기의 Z축에 고정 설치되어 영상을 인식하는 현미경 프로브와, 상기 현미경 프로브로부터 영상 데이타를 전송받아 디지탈로 변환시키는 프레임 그래버와, 상기 측정기 제어부와 프레임 그래버 사이에 연결된 컴퓨터로 구성된 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 곡률 측정 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 3차원 측정기에 현미경 프로브와 수직이 되도록 설치되어 섀도우 마스크를 고정시키는 측정지그부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 곡률 측정시스템.
- 제2항에 있어서, 외면곡률 치수측정 시, 상기 측정 지그부는 측정 지그판의 4모서리에 측정핀을 부착시켜 구성된 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 곡률 측정 시스템.
- 제2항에 있어서, 내면곡률 치수측정시, 상기 측정 지그부는 측정지그판의 4 모서리에 측정핀을 부착하고, 중앙에는 반투명 아크릴로 싸여진 형광등을 부착하는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 곡률 측정시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 측정기 제어부는 콘트롤러와 조이스틱으로 구성된 것을 특징으로 하는 섀도우마스크 곡률 측정시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 현미경 프로브는 광학계와, 조명계와, CCD카메라로 구성된 것을 특징으로 하는섀도우 마스크 곡률 측정시스템.
- 섀도우 마스크의 측정기준을 설정하는 제1과정과, 섀도우 마스크 의 측정점으로 현미경 프로브를 이동시키는 제2과정과, 자동집속으로 촛점이 가장 잘 맞는 Z값을 구하는 제3과정과, 모든 측정점을 측정한 후 복귀하는 제4 과정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 곡률 측정방법.
- 제7항에 있어서, 상기 제3과정은 외면곡률 치수측정시에는, 현미경 프로브가 상하 이동하며 에너지를판독하는 제1단계와, 상기 에너지가 최대가 되는 부분으로 상기 현미경 프로브를 이동하는 제2단계와, 상시 섀도우 마스크를 다수의 서브윈도우(subwindow)로 분할한 후 상기 서브윈도우들의 에너지값을 산출하는 제3단계와, 에너지가 최대가되는 서브윈도우가 발생 되면 각 서브윈도우들을 연결함으로 집속위치를 산출하는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 곡률 측정방법.
- 제7항에 있어서, 상기 제3과정은 내면곡률 치수측정시에는, 현미경 프로브를 이동하는 제1단계의, 영상을 감지한 후 미분을 행함으로 에너지를 구하는 제2단계와, 상기 에너지 값을 가우스 방정식에 대입하여 최소자승법에 의한 곡률맞춤으로 집속위치를 산출하는 제3단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 곡률 측정 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940037277A KR0143522B1 (ko) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | 섀도우 마스크의 곡률 측정시스템 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940037277A KR0143522B1 (ko) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | 섀도우 마스크의 곡률 측정시스템 및 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960025924A true KR960025924A (ko) | 1996-07-20 |
| KR0143522B1 KR0143522B1 (ko) | 1998-07-01 |
Family
ID=66769638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940037277A KR0143522B1 (ko) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | 섀도우 마스크의 곡률 측정시스템 및 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0143522B1 (ko) |
-
1994
- 1994-12-27 KR KR1019940037277A patent/KR0143522B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0143522B1 (ko) | 1998-07-01 |
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