KR960024325A - 테스트 헤드 냉각 장치 - Google Patents

테스트 헤드 냉각 장치 Download PDF

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Abstract

반도체 IC 시험장치의 테스트 헤드를 밀폐 냉각하는 테스트 헤드 냉각 장치를 제공한다. 때문에, 테스트 헤드의 바구니체를 밀폐형 바구니체(10)로서 설치하고, 밀폐형 바구니체(10) 내부의 벽면을 냉풍이 효율좋게 흐르도록 에어덕트(20)를 설치하였다. 수천개의 케이블(90)은 보드 랙(70,71)에 고정한 복수의 보드(80,81)의 소켓에 접속하여 설치하고, 복수의 보드(80,81)는 보드 랙(70,71)의 소켓에 삽입하여 설치하며, 복수의 보드(80)와 보드(81)의 극간은 바람이 통과하기 좋은 구성으로 설치하고, 냉각관(61)을 열교환기(50)와 (51)에 접속하여 냉매를 순환시키는 구성으로 설치하며, 열교환기(50)는 냉매를 순환시키는 가요성 호스(60)와 접속하여 설치하고, 가요성 호스(60)는 열교환기(50)를 순환하는 냉매를 자유롭게 온도 제어를 할 수 있는 구성으로 외부 냉각기와 접속하여 설치하였다.

Description

테스트 헤드 냉각 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예의 일부를 절결한 평면도, 제2도는 본 발명의 제1실시예의 일부를 절결한 측면도, 제3도는 본 발명의 제2실시예의 일부를 절결한 평면도, 제4도는 본 발명의 제3실시예의 일부를 절결한 측면도, 제5도는 본 발명의 제4실시예의 일부를 절결한 평면도.

Claims (4)

  1. 반도체 IC 시험장치에 연장된 케이블(90)을 테스트 헤드 내장의 보드 랙(70,71)의 소켓에 접속하여, 해당 소켓에 복수의 보드(80,81)를 삽입한 테스트 헤드 냉각 장치에 있어서, 밀폐형 바구니체(10)로서 설치된 테스트 헤드 바구니체와; 밀폐형 바구니체(10) 내부의 벽면에 설치된 에어덕트(20)와; 상기 보드 랙(70,71)에 삽입한 복수의 보드(80, 81)를 냉각하는 열교환기(50, 51)와; 상기 열교환기(50, 51)에 접속된 냉각관(61)과; 상기 열교환기(50)와 접속되며 외부 냉각기와 접속하여 냉매를 순환시키는 가요성 호스(60)와, 열교환기(50)의 전면에 설치되어 밀폐형 바구니체(10)의 내부의 냉풍을 만드는 팬(30)과, 열교환기(51)의 전면에 설치되어 밀폐형 바구니체(10)의 내부의 냉풍을 만드는 팬(31)을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 테스트 헤드 냉각 장치.
  2. 반도체 IC 시험장치에서 연장된 케이블(90)을 테스트 헤드 내장의 보드 랙(70,71)의 소켓에 접속하여, 해당 소켓에 복수의 보드(80,81)를 삽입한 테스트 헤드 냉각 장치에 있어서, 밀폐형 바구니체(10)로서 설치된 테스트 헤드 바구니체와; 밀폐형 바구니체(10) 내부의 벽면에 설치된 에어덕트(20)와; 상기 보드 랙(70,71)에 삽입한 상기 복수의 보드(80,81)를 냉각하는 냉각관(61)과 접속한 풍통이 좋은 구성을 한 열교환기(52,53)와; 상기 열교환기(53)와 접속되며 외부 냉각기와 접속하여 냉매를 순환시키는 가요성 호스(60)와; 상기 열교환기(53)의 후면에 설치되어 밀폐형 바구니체(10) 내부의 냉풍을 만드는 팬(32)과; 열교환기(52)의 후면에 설치되어 밀폐형 바구니체(10) 내부에 냉풍을 만드는 팬(33)을 구비하고 있는것을 특징으로 하는 테스트 헤드 냉각 장치.
  3. 테스트 헤드 내장의 보드 랙(72)과; 반도체 IC 시험장치에서 연장된 케이블(90)을 테스트 헤드 내장의 보드 랙(72)의 소켓에 접속하여 해당 소켓에 삽입된 보드(83)와; 밀폐형 바구니체(10)로서 설치된 테스트 헤드의 바구니체와; 상기 밀폐형 바구니체(10)내부의 벽면에 설치된 에어덕트(20)와; 외부 냉각기와 접속하여 냉매를 순환시키는 가요성 호스(60)와 접속한 열교환기(54)와; 보드 랙(72)과 열교환기(54)의 사이의 간막이(11)와; 상기 간막이(11)롤 사이에 끼워 평행하게 배열하여 설치된 밀폐형 바구니체(10) 내부의 냉풍을 만드는 팬(34,35)을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 테스트 헤드 냉각 장치.
  4. 테스트 헤드 내장의 보드 랙(73,74,75,76)과; 반도체 IC 시험장치에 연장된 케이블(90)을 상기 테스트 헤드 내장의 보드 랙(73,74,75,76)의 소켓에 접속하여 해당 소켓에 삽입된 보드(84,85,86,87)와; 상기 보드 랙(73,74)과 (75,76)의 사이에 외부 냉각기와 접속하여 냉매를 순환시키는 가요성 호스(60)와 접속한 열교환기 (55)와; 상기 보드 랙(73)과 (74)의 사이의 및 보드 랙(75)과 (76)의 사이에 각각 설치된 칸막이(12)와; 보드(85,87)의 전면에 설치되어 밀폐형 바구니체(10) 내부의 냉풍을 만드는 팬(36,37)을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 테스트 헤드 냉각 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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