Claims (4)
기판을 이송시키는 반송롤러와, 기판의 상측면과 접촉하여 회전하는 브러쉬와, 상기 브러쉬의 상측에 위치되어 세정중에 오염된 브러쉬를 세정하는 슬리트노즐과, 상기 슬리트노즐의 상측에 다수개 연결되어 슬리트노즐에 세정액을 공급하는 급수관과, 상기 슬리트노즐 상단부에 위치되어 슬리트노즐에 공급되는 세정액에 초음파 진동을 걸어주는 초음파진동자와, 상기 슬리트노즐을 지지 고정하는 슬리트노즐 지지축으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.A conveying roller for conveying the substrate, a brush rotating in contact with the upper surface of the substrate, a slit nozzle positioned above the brush to clean the contaminated brush during cleaning, and a plurality of connected to the upper side of the slit nozzle A water supply pipe for supplying a cleaning liquid to the slit nozzle, an ultrasonic vibrator positioned at an upper end of the slit nozzle and applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid supplied to the slit nozzle, and a slitting nozzle support shaft for supporting and fixing the slit nozzle. Substrate cleaning apparatus, characterized in that consisting of.
기판을 이송시키는 반송롤러와, 기판의 상측면과 접촉하여 회전하는 브러쉬와, 상기 브러쉬의 상측에 위치되어 세정중에 오염된 브러쉬를 세정하는 슬리트노즐과, 상기 슬리트노즐의 상측에 다수개 연결되어 슬리트노즐에 세정액을 공급하는 급수관과, 상기 슬리트노즐 상단부에 위치되어 슬리트노즐에 공급되는 세정액에 초음파 진동을 걸어주는 초음파진동자와, 상기 슬리트노즐을 지지 고정하는 슬리트노즐 지지축과, 상기 슬리트노즐의 하측에 위치되어 상기 슬리트노즐을 전후 이동가능토록 한 안내판으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.A conveying roller for conveying the substrate, a brush rotating in contact with the upper surface of the substrate, a slit nozzle positioned above the brush to clean the contaminated brush during cleaning, and a plurality of connected to the upper side of the slit nozzle A water supply pipe for supplying a cleaning liquid to the slit nozzle, an ultrasonic vibrator positioned at an upper end of the slit nozzle and applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid supplied to the slit nozzle, and a slitting nozzle support shaft for supporting and fixing the slit nozzle. And a guide plate positioned below the slit nozzle to move the slit nozzle back and forth.
제2항에 있어서, 상기 안내판은 양단부가 굴절형성되고 그 굴절부에 장공이 형성되어 상기 슬리트노즐이 장공을 따라 이동하고 볼트에 의해 안내판과 결합하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.The substrate cleaning apparatus according to claim 2, wherein the guide plate is bent at both ends thereof, and a long hole is formed at the refraction thereof, so that the slits nozzle moves along the long hole and is coupled to the guide plate by bolts.
기판을 이송시키는 반송롤러와, 기판의 상측면과 접촉하며 회전하는 브러쉬와, 상기 브러쉬의 상측에 위치되어 세정중에 오염된 브러쉬를 세정하는 다수개의 노즐과, 상기 노즐의 상측에 연결되어 노즐에 세정액을 공급하는 급수관과, 상기 노즐 상단부에 위치되어 노즐에 공급되는 세정액에 초음파 진동을 걸어주는 초음파진동자와, 상기 노즐을 지지 고정하는 노즐 지지축으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.A conveying roller for transporting the substrate, a brush rotating in contact with the upper surface of the substrate, a plurality of nozzles located above the brush to clean the contaminated brush during cleaning, and a cleaning liquid connected to the nozzle above the nozzle And a water supply pipe for supplying an ultrasonic wave, an ultrasonic vibrator positioned at the upper end of the nozzle to apply ultrasonic vibration to the cleaning liquid supplied to the nozzle, and a nozzle support shaft for supporting and fixing the nozzle.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.