KR960017039A - 레이저 마아킹 장치 - Google Patents

레이저 마아킹 장치 Download PDF

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KR960017039A
KR960017039A KR1019950044198A KR19950044198A KR960017039A KR 960017039 A KR960017039 A KR 960017039A KR 1019950044198 A KR1019950044198 A KR 1019950044198A KR 19950044198 A KR19950044198 A KR 19950044198A KR 960017039 A KR960017039 A KR 960017039A
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laser
sliding
branching
condensing
laser beam
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KR1019950044198A
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요시노리 사이토오
미사오 카토오
마사토 수와
마사시 이치하라
사다하루 아오키
Original Assignee
안자키 사토루
카부시키가이샤 코마쯔세이사쿠쇼
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Abstract

광파이버 사이의 피치를 짧게할 수 있도록 하여, 분기선의 전환을 고속으로 할 수 있음과 아울러, 파이버다발의 공간배치의 밀도를 향상시킬 수 있도록 한다.
1개의 레이저 발진기로부터 발사된 레이저 광선을 복수의 서로 다른 광로에 시간분할로 분기하는 레이저 분기장치와, 이 레이저 분기장치에 의하여 분기된 각 레이저 광선을 사용하여 소요의 각인패턴이 표시된 액정 마스크 위에서 레이저광을 주사시켜, 그 액정마스크를 통과한 레이저빔에 의하여 피가공물을 마아킹하는 복수의 마아킹장치 등을 구비한 레이저 마아킹 장치에 있어서, 상기한 레이저 분기장치는, 상기한 레이저 발진기로부터의 레이저광을 집광하는 집광수단과, 그 집광수단에 의하여 집광된 레이저광을 복수의 서로 다른 광로에 시간분할로 분기하는 레이저 분기수단과, 이 레이저 분기수단에 의하여 분기된 각 레이저광을 상기한 복수의 마아킹 장치에 도광하는 복수개의 광파이버 등을 구비하도록 한다.

Description

레이저 마아킹 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예를 표시하는 도면이다,
제2도는 파이버(강압섬유) 탈락검출센서의 구체예를 표시하는 도면이다,
제3도는 마아킹 장치의 내부구성을 표시하는 도면이다,
제4도는 수광확인센서의 구체예를 표시하는 도면이다,
제5도는 레이저 마아킹 장치의 제어계의 구성을 표시하는 도면이다,
제6도는 분기선의 전환의 여러가지 방법을 표시하는 도면이다,
제7도는 레이저 분기장치의 다른 구성예를 표시하는 도면이다,
제8도는 제7도의 레이저 분기장치에 의한 레이저 분기상태를 표시하는 도면이다.

Claims (4)

  1. 레이저 발진기와, 이 레이저 발진기로부터 발사된 레이저 광선을 복수로 달리하는 광로에 시간분할로 분기하는 레이저 분기장치와, 이 레이저 분기장치에 의하여 분기된 각 레이저 광선을 사용하여 소요의 각인패턴이 표시된 액정마스크 위에서 레이저 광을 주사시켜, 그 액정마스크를 통과한 레이저 빔에 의하여 피가공물을 마아킹하는 복수의 마아킹 장치 등을 구비한 레이저 마아킹 장치에 있어서, 상기한 레이저 분기장치는, 상기한 레이저 발진기로부터의 레이저 광을 집광하는 집광수단과, 그 집광수단에 의하여 집광된 레이저광을 복수의 서로 다른 광로에 시간분할로 분기하는 레이저 분기수단과, 이 레이저 분기수단에 의하여 분기된 각 레이저 광을 상기한 복수의 마아킹 장치에 도광하는 복수개의 광파이버 등을 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 마아킹 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 레이저 분기수단은, 상기한 집광수단으로 집광된 레이저광을 편향하는 편향수단과, 그 편향수단 및 상기한 집광수단을 일체적으로 미끄럼 이동시키는 미끄럼수단 등을 보유하는 것을 특징으로 하는 레이저 마아킹 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기한 레이저 분기수단은, 상기한 집광수단으로 집광된 레이저 광을 편향하는 편향수단과, 그 편향수단을 미끄럼 이동시키는 미끄럼수단 등을 보유하는 것을 특징으로 하는 레이저 마아킹 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기한 레이저 분기수단은, 상기한 집광수단으로 집광된 레이저광을 편향하는 제1의 편향수단과, 이 제1의 편향수단 또는 상기한 집광수단과 상기한 제1의 편향수단을 일체적으로 미끄럼 이동시키는 제1의 미끄럼수단 등을 보유하는 제1의 편향부와, 상기한 제1의 편향수단에 의하여 편향된 레이저광을, 더우기 편향하는 복수의 편향면을 보유하는 제2의 편향수단과, 이 제2의 편향수단을 제1의 미끄럼수단에 의한 미끄럼 방향과 직각인 방향으로 미끄럼 이동시키는 제2의 미끄럼수단 등을 보유하는 제2의 편향부 등을 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 마아킹 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950044198A 1994-11-28 1995-11-28 레이저 마아킹 장치 KR960017039A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100350997B1 (ko) * 1999-12-24 2002-08-30 금호산업 주식회사 레이저빔을 이용한 타이어 마킹장치

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3468660B2 (ja) * 1997-03-27 2003-11-17 三菱電機株式会社 レーザビーム分岐装置
EP0984844B1 (en) * 1997-05-27 2002-11-13 SDL, Inc. Laser marking system and method of energy control
US6275250B1 (en) 1998-05-26 2001-08-14 Sdl, Inc. Fiber gain medium marking system pumped or seeded by a modulated laser diode source and method of energy control
JP2001105164A (ja) 1999-10-07 2001-04-17 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ穴あけ加工方法及び加工装置
DE10105878A1 (de) * 2001-02-09 2002-09-12 Mlt Micro Laser Technology Gmb Vorrichtung zur Substratbehandlung mittels Laserstrahlung
US7119351B2 (en) 2002-05-17 2006-10-10 Gsi Group Corporation Method and system for machine vision-based feature detection and mark verification in a workpiece or wafer marking system
US7705268B2 (en) 2004-11-11 2010-04-27 Gsi Group Corporation Method and system for laser soft marking
JP4664102B2 (ja) * 2005-03-18 2011-04-06 東レエンジニアリング株式会社 露光装置及び露光方法
KR100598521B1 (ko) * 2005-04-07 2006-07-10 현대자동차주식회사 레이저빔을 이용한 용접장치
JP5030512B2 (ja) * 2005-09-30 2012-09-19 日立ビアメカニクス株式会社 レーザ加工方法
JP2007167936A (ja) * 2005-12-26 2007-07-05 Miyachi Technos Corp 金メッキ剥離方法及び金メッキ剥離装置
JP5051686B2 (ja) * 2006-09-29 2012-10-17 パナソニック デバイスSunx株式会社 レーザ加工装置及び記憶媒体
KR101135537B1 (ko) * 2010-07-16 2012-04-13 삼성모바일디스플레이주식회사 레이저 조사 장치
JP2011034123A (ja) * 2010-11-19 2011-02-17 Toray Eng Co Ltd 露光装置及び露光方法
DE102011003686A1 (de) 2011-02-07 2012-08-09 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh Laserbearbeitungsvorrichtung
WO2015145609A1 (ja) * 2014-03-26 2015-10-01 株式会社島津製作所 レーザ装置
US10423015B2 (en) 2016-09-29 2019-09-24 Nlight, Inc. Adjustable beam characteristics
US10730785B2 (en) 2016-09-29 2020-08-04 Nlight, Inc. Optical fiber bending mechanisms
JP6306659B1 (ja) * 2016-10-19 2018-04-04 ファナック株式会社 ビーム分配器
JP7042823B2 (ja) 2016-12-02 2022-03-28 テラダイオード, インコーポレーテッド レーザビームに関連する方法およびレーザシステム
US10916462B2 (en) * 2017-10-25 2021-02-09 Kla-Tencor Corporation Laser marking focus feedback system having an intensity indication of reflected radiation passed through an objective lens, a beam splitter and a pinhole
JP6999401B2 (ja) * 2017-12-19 2022-01-18 東京エレクトロン株式会社 レーザー加工装置
IT201800005899A1 (it) * 2018-05-31 2019-12-01 Apparecchiatura per saldatura laser di materiali plastici e relativo procedimento.
CN110722270B (zh) * 2018-06-29 2021-02-02 上海微电子装备(集团)股份有限公司 激光传输系统、激光切割装置和激光切割方法
IT202000003970A1 (it) * 2020-02-26 2021-08-26 Cemas Elettra S R L Apparecchiatura per saldatura laser di materiali plastici e relativo procedimento

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62292288A (ja) * 1986-06-11 1987-12-18 Sanoyasu:Kk Yagレ−ザ−を用いた高速多点スポツト溶接法及びその装置
US4838631A (en) * 1986-12-22 1989-06-13 General Electric Company Laser beam directing system
JP2904556B2 (ja) * 1990-07-31 1999-06-14 芝浦メカトロニクス株式会社 レーザ加工装置
JP2701183B2 (ja) * 1991-08-09 1998-01-21 株式会社小松製作所 液晶マスク式レーザマーカ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100350997B1 (ko) * 1999-12-24 2002-08-30 금호산업 주식회사 레이저빔을 이용한 타이어 마킹장치

Also Published As

Publication number Publication date
EP0798067A1 (en) 1997-10-01
JPH08150485A (ja) 1996-06-11
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EP0798067A4 (en) 1997-12-10

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