KR960005755A - 포토리지스트 스트립핑 장치 - Google Patents

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KR960005755A
KR960005755A KR1019940018364A KR19940018364A KR960005755A KR 960005755 A KR960005755 A KR 960005755A KR 1019940018364 A KR1019940018364 A KR 1019940018364A KR 19940018364 A KR19940018364 A KR 19940018364A KR 960005755 A KR960005755 A KR 960005755A
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선우국현
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김광호
삼성전자 주식회사
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/42—Stripping or agents therefor
    • G03F7/422—Stripping or agents therefor using liquids only

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
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Abstract

본 발명은 포토리지스트 스트립핑 장치에 관한 것이며, 좀 더 상세히는 박막웨이퍼 제조 공정에서 외부용기(8)에 설치된 내부용기(11)상에 웨이퍼를 설치하여 스트립퍼(5)를 통하여 웨이퍼(7)의 포토리지스트를 제거하는 포토리지스트 스트립핑 장치에 있어서, 상기 외부용기(8)의 바닥부에 스트립퍼 통로(20)가 형성되어 있고 상기 외부용기(8)의 커버(12)에 장착된 모타(13)로 부터 연결설치된 샤프트(14)의 일단에 웨이퍼 홀더(15)가 장착되고, 상기 웨이퍼 홀더(15)에 고정된 웨이퍼(7) 상에 상기 내부용기(11)의 내측에서 모타(21)에 의해 테프론 튜브(10)를 통하여 순환하는 스트립퍼(5)를 분출시켜 포토리지스트를 제거하도록 형성된 것을 특징으로 하며, 건식에칭공정후의 포토리지스트 스트립핑이 O2플라즈마에 의한 포토리지스트 에싱 공정없이 가능하므로 공정이 간단해지고 공정시간 및 비용이 절약되며, 상온에서 수행되는 스트립핑 공정이므로 기존의 고온 스트립핑 공정에 비해 하지막의 손상을 최소화 할 수 있고, 상온에서 수행되는 스트립핑 공정이므로 스트립퍼 열화가 거의 일어나지 않으므로 스트립핑의 재현성 확보되는 효과가 있다.

Description

포토리지스트 스트립핑 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 포토리지스트 스트립핑 장치의 개략도이다.

Claims (3)

  1. 박막 웨이퍼 제조공정에서 외부용기(8)에 설치된 내부용기(11) 상에 웨이퍼를 설치하여 스트립퍼(5)를 통하여 웨이퍼(7)의 포토리지스트를 제거하는 포토리지스트 스트립핑 장치에 있어서, 상기 외부용기(8)의 바닥부에 스트립퍼 통로(20)가 형성되어 있고 상기 외부용기(8)의 커버(12)에 장착된 모타(13)로 부터 연결설치된 샤프트(14)의 일단에 웨이퍼 홀더(15)가 장착되고, 상기 웨이퍼 홀더(15)에 고정된 웨이퍼(7)상에 상기 내부용기(11)의 내측에서 모타(21)에 의해 테프론 튜브(10)를 통하여 순환하는 스트립퍼(5)를 분출시켜 포토리지스트를 제거하도록 형성된 것을 특징으로 하는 포토리지스트 스트립핑 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼(7)를 고정시키고 있는 웨이퍼 홀더(15)가 스트립퍼(5)를 분출시키는 내부용기(11)로 부터 10센티미터 이내로 유지되어 형성된 것을 특징으로 하는 포토리지스트 스트립핑 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 내부용기(11)로부터 스트립퍼 통로(20) 사이에 테프론 튜브(10)상에 필터(9)가 더 구성되어 순환하는 스트립퍼(5)를 연속 여과시키도록 형성된 것을 특징으로 하는 포토리지스트 스트립핑 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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