KR960003270B1 - 증가된 압력으로 생성기체를 제조하기 위한 저온공기분리시스템 - Google Patents

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Abstract

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Description

증가된 압력으로 생성기체를 제조하기 위한 저온공기분리시스템
제1도는 본 발명의 저온공기분리시스템중의 하나의 바람직한 구현의 개략적인 공정 계통도.
제2도는 산소비등압력에 대한 공기응축압력을 도시한 그래프.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
100 : 공급공기 101,110,112,122 : 열교환기
102 : 터보팽창기 105 : 제1컬럼
107,131 : 응축기 108 : 분리기
130 : 비등컬럼 132 : 아르곤컬럼
162 : 뒤끓임장치
본 발명은 저온공기분리에 관한 것으로, 더 상세하게는 증가된 압력으로 공기를 분리하여 생성기체를 제조하는 방법에 관한 것이다.
공기의 분리를 위해 통상 사용되는 상용시스템은 저온정류이다. 분리는 일반적으로 컬럼시스템속으로 유입되기 전에 압축기내에서 공급공기를 압축하여 얻어진 증가된 공급압력에 의해 작동된다. 분리는 증기액체 접촉소재위의 컬럼 또는 컬럼들을 통해 역류접촉으로 액체 및 증기를 통과시켜 휘발성이 큰 성분(들)은 액체로부터 증기로 통과시키고, 휘발성이 작은 성분(들)은 증기로부터 액체로 통과시켜 수행한다. 증기가 컬럼상부로 진행함으로써 휘발성이 큰 성분들이 점차적으로 증가하게 되고, 액체가 컬럼하부로 진행함으로써 휘발성이 작은 성분들이 점차적으로 증가하게 된다. 일반적으로 저온분리는 공급공기가 질소가 풍부한 성분및 산소가 풍부한 성분으로 분리되는 적어도 하나의 컬럼으로 구성되는 주컬럼시스템 및 주컬럼시스템으로부터 공급공기가 아르곤이 풍부한 성분 및 산소가 풍부한 성분으로 분리되는 보조 아르곤 컬럼으로 수행된다.
종종 증가된 압력에서 공기분리시스템으로부터 생성기체를 회수하는 것이 바람직하다. 일반적으로 이것은 압축기를 통해 통과시켜 높은 압력으로 생성기체를 압축하여 수행된다. 이러한 시스템은 효율적이나 상당히 고가이다.
따라서, 본 발명의 목적은 개량된 저온공기분리시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 생성기체 압축을 위해 필요한 수단을 감소시키거나 또는 제거하면서 증가된 압력 생성기체를 제조하기 위한 저온공기분리시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 증가된 아르곤 회수를 발휘하는 저온공기분리시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 명세서를 볼때 이 분야의 당업자에게 명백해질 상기 및 그밖의 목적들은 일반적으로 플랜트 냉각을 제공하고, 아르곤 회수를 증가시키기 위해 압축된 공급공기의 한 부분의 터보팽창 및 생성기체를 제조하기 위해 휘발하는 액체에 대한 공급공기의 다른 부분의 응축으로 구성되는 본 발명에 의하여 달성된다.
더 상세하게는 본 발명의 한 측면은
(A) 냉각되고, 압축된 공급공기의 제1부분을 터보팽창시키고, 얻어진 터보팽창된 부분을 공기분리플랜트 제1컬럼으로 유입시키고, 상기 제1컬럼을 60 내지 100psia의 압력으로 조절하고;
(B) 냉각되고, 압축된 공급공기의 제2부분의 적어도 일부를 압축하고, 그리고 얻어진 액체를 상기 제1컬럼으로 유입시키고;
(C) 상기 제1컬럼을 통과한 유체는 질소가 풍부하고 그리고 산소가 풍부한 유체로 분리하고, 상기 유체는 상기 공기분리플랜트의 제2컬럼으로 통과시키고, 상기 제2컬럼은 상기 제1컬럼의 압력보다 낮은 압력으로 조절하고;
(D) 제2컬럼을 통과한 유체는 질소가 풍부한 증기 및 산소가 풍부한 액체로 분리하고;
(E) 냉각되고, 압축된 공급공기의 제2부분과 더불어 간접열교환에 의해 산소가 풍부한 액체를 증발시켜 단계(B)의 응축을 수행하고;
(F) 생성된 산소기체로서 단계(E)의 열교환으로부터 얻어지는 증기를 회수하고; 그리고
(G) 아르곤 함유 액체를 제2컬럼으로부터 아르곤 컬럼으로 통과시키고, 아르곤 함유 유체를 산소가 풍부한 액체 및 아르곤이 풍부한 액체로 분리하고, 그리고 적어도 약간의 아르곤이 풍부한 유체를 회수함을 특징으로 하는 생성기체를 제조하기 위한 저온증류에 의하여 공기의 분리방법으로 구성된다.
본 발명의 다른 측면은
(A) 제1컬럼, 제2컬럼, 뒤끓임 장치, 제1컬럼으로부터 뒤끓임 장치로 유체를 통과시키기 위한 수단 및 뒤끓임 장치로부터 제2컬럼으로 유체를 통과시키기 위한 수단으로 구성되는 공기분리플랜트;
(B) 터보팽창기, 터보팽창기로 공급공기를 제공하기 위한 수단 및 터보팽창기로부터 제1컬럼으로 유체를 통과시키기 위한 수단;
(C) 응축기, 응축기로 공급공기를 제공하기 위한 수단 및 응축기로부터 제1컬럼으로 유체를 통과시키기 위한 수단;
(D) 공기분리플랜트로부터 응축기로 유체를 통과시키기 위한 수단;
(E) 응축기로부터 생성기체를 회수하기 위한 수단 ; 및
(F) 아르곤컬럼, 제2컬럼으로부터 아르곤컬럼으로 유체를 통과시키기 위한 수단, 및 아르곤컬럼으로부터 유체를 회수하기 위한 수단으로 이루어지는 생성기체를 제조하기 위한 저온증류에 의하여 공기의 분리를 위한 장치로 구성된다.
본 발명에서 사용된 “컬럼”이란 용어는 예를들면 충전소재에 대해 컬럼내에 수직으로 또는 교대로 배열되어 설치된 일련의 단 또는 플레이트에 증기 및 액체상을 접촉시킴으로써 유체 혼합물의 분리를 수행하기 위해 액체 및 증기상이 역류적으로 접촉하는 접촉컬럼 또는 구역과 같은 증류 또는 분별증류컬럼 또는 구역을 의미한다. 증류컬럼의 상세한 사항은 다음 문헌에 기재되어 있다[The Chemical Engineers′ Hanbook, 4판 R.H. Perry 및 C.H. Chilton에 의해 출판됨, McGraw-Hill Book Co., New York, Section 13 “증류(Distillation)” B.D. Smith 등의 페이지 13-3 연속증류방법]. 이중컬럼이란 용어는 저압컬럼의 하부말단과 더불어 열교환 관계에 있는 그의 상부말단을 갖는 고압컬럼을 나타내기 위해 사용하였다. 이중컬럼에 대한 상세한 사항은 다음 문헌에 기재되어 있다[“기체의 분리”, Oxford University Press, 1949, VII장, 공업적인 공기분리].
본 발명에서 사용한 ”아르곤컬럼”이란 용어는 상행증기가 하행액체에 대해 역류흐름에 의하여 점차적으로 아르곤이 증가하게 되고, 아르곤 생성물이 컬럼으로부터 회수되는 컬럼을 의미한다.
본 발명에서 사용한 “간접열교환”이란 용어는 어떤 물리적 접촉없이 두유체흐름이 열교환 관계를 갖거나 또는 서로 유체들의 혼합을 의미한다.
본 발명에서 사용한 “증기-액체 접촉 소재”란 용어는 2개의 상들의 역류 흐름 동안 액체 증기 계면에서 물질전달 또는 성분분리를 촉진하기 위해 컬럼 내부 부품으로서 사용된 어떤 장치를 의미한다.
본 발명에 사용한 “단”이란 용어는 유체 증기가 발생함으로서 구멍을 통해 플레이트를 가로질러 유동할 수 있어 2상 사이의 물질전달을 하기 위한 구멍 및 액체입구 및 출구를 갖는 실질적으로 편평한 플레이트를 의미한다.
본 발명에서 사용한 “충전”이란 용어는 2상의 역류흐름동안 액체-증기 계면에서 물질전달을 일으키도록 액체에 표면적을 제공하기 위해 컬럼 내부재로서 사용된 미리 결정된 배열, 크기 및 모양의 어떤 고체 또는 속이빈 물체를 의미한다.
본 발명에서 사용한 “랜덤충전”이란 용어는 각각의 부재들이 서로간에 또는 컬럼축에 대해 어떤 특정배향을 갖지 않고 있는 충전을 의미한다.
본 발명에서 사용한 “구조화된 충전”은 각각의 부재들이 서로간에 또는 컬럼축에 대해 특정배향을 갖는 충전을 의미한다.
본 발명에서 사용한 “이론적인 단”이란 용어는 존재하는 흐름이 평형에 있도록 이루어진 단으로 상부방향 흐름증기와 하부방향 흐름액체 사이의 이상적인 접촉을 의미한다.
본 발명에서 사용한 “터보팽창”이란 용어는 기체의 압력 및 온도를 감소시키기 위해 터빈을 통해 고압기체를 유동시켜 냉각을 얻음을 의미한다. 발전기, 동력계 또는 압축기와 같은 부하장치는 대표적으로 에너지를 회수하기 위해 사용된다.
본 발명에 사용된 “응축기”란 용어는 간접열교환에 의해 증기를 응축하기 위해 사용된 열교환기를 의미한다.
본 발명에 사용된 “뒤끓임장치”란 용어는 간접열교환에 의해 액체를 증발시키기 위해 사용된 열교환기를 의미한다. 뒤끓임장치는 대표적으로 증기-액체 접촉소재로 증기흐름을 제공하기 위해 증류컬럼의 하부에 사용된다.
본 발명에 사용된 “공기분리플랜트”란 용어는 펌프, 파이프, 밸브 및 열교환기와 같은 적어도 하나의 컬럼 및 부수적인 상호연결장치로 구성되고, 공기가 저온정류에 의해 분리되는 설비를 의미한다.
본 발명은 도면을 참고로 상세히 설명될 것이다.
제1도를 참고로 90 내지 500파운드/in2(psia)의 절대압력의 범위내로 일반적으로 압축된 공급공기(100)은 열교환기(101)을 통과하여 환원흐름에 대해 간접열교환에 의해 냉각된다. 냉각된 압축공급공기의 제1부분(103)은 터보 팽창기(102)로 이송되고, 일반적으로 60 내지 100psia 범위내의 압력으로 터보팽창된다. 얻어진 터보팽창된 공기(104)는 일반적으로 60 내지 100psia 범위내의 압력으로 조절되는 제1컬럼(105)로 유입된다. 일반적으로 부분(103)은 70 내지 90%의 공급공기(100)로 구성될 것이다.
냉각되고, 압축된 공급공기의 제2부분(106)은 나중에 더 상세히 설명하게 될 공기분리플랜트로부터 얻은 증발하는 산소가 풍부한 액체와 더불어 간접열교환에 의해 적어도 부분적으로 응축된 응축기(107)로 공급된다. 일반적으로 제2부분(106)은 공급공기(100)의 5 내지 30%로 구성된다. 얻어진 액체는 상기 증기공급시점에서 컬럼(105)로 유입된다. 흐름(106)이 단지 부분적으로 응축되는 경우에 얻어진 흐름(160)은 컬럼(105)로 직접 통과하거나 또는 제1도에 제시한 것처럼 분리기(108)로 통과할 수 있다. 그다음 분리기(108)로부터의 액체(109)는 컬럼(105)로 통과하기전에 열교환기(110)을 통과하여 더욱더 냉각될 수 있다. 공급공기의 응축된 부분의 냉각은 공정으로부터 액체생산을 증가시킨다.
분리기(108)로부터의 증기(111)은 컬럼(105)로 직접 통과하거나 또는 귀환흐름에 대한 열교환기(112)에서 냉각 또는 응축될 수 있고, 그다음 컬럼(105)로 통과한다. 더욱더, 냉각된 압축공급공기의 제4부분(113)은 귀환흐름에 대한 열교환기(112)에서 냉각 또는 응축될 수 있고, 그다음 컬럼(105)로 통과한다. 흐름(111) 및 (113)은 터보팽창된 공급공기분획(103)의 온도를 조절하기 위해 이용될 수 있다. 예를들면, 흐름(113)의 증가는 열교환기(112)에서 귀환흐름의 온도를 증가시켜 흐름(103)의 온도가 증가하게 될 것이다. 터보팽창기(102)로의 더 높은 유입온도는 얻어진 냉각화를 증가시킬 수 있고 어떤 액체성분을 피하기 위해 팽창된 공기의 배출온도를 조절할 수 있다. 냉각, 압축된 공급공기의 제3부분(120)은 아르곤컬럼에서 형성된 유체와 더불어 열교환기(122)와 같은 간접열교환에 의해 더욱더 냉각되거나 또는 응축될 수 있고 그다음 컬럼(105)로 통과한다.
제1컬럼(105)내에서 공급공기는 질소가 풍부하고, 그리고 산소가 풍부한 유체로 분리된다. 제1도에 설명한 구현에서 제1컬럼은 고압컬럼 이중컬럼 시스템이다. 질소가 풍부한 증기(161)은 컬럼(105)로부터 회수되고 비등컬럼(130) 하부에 대한 뒤끓임장치(162)에서 응축된다. 얻어진 액체(163)은 액체환류로서 컬럼(105)로 귀환되는 흐름(164) 및 열교환기(112)에 보조 냉각되고, 공기분리플랜트의 제2컬럼속으로 분사된 흐름(118)으로 나누어진다. 제2컬럼(130)은 제1컬럼(105)의 압력보다 낮은 압력에서, 일반적으로 15 내지 30psia 범위내의 압력에서 작동된다. 액체 질소 생성물은 컬럼(130)속으로 분사되기 전에 흐름(180)으로부터 회수하거나, 또는 제1도에 설명한 것처럼 탱크 분사 방출을 최소화하기 위해 흐름(119)로서 직접 컬럼(130)밖으로 배출될 수 있다.
산소가 풍부한 액체는 흐름(117)로서 컬럼(105)로부터 회수되고 열교환기(112)에서 부냉각되고 컬럼(130)으로 통과한다. 흐름(117)의 전부 또는 일부분은 아르곤 컬럼 상부 증기를 응축시키는 응축기(131)속으로 분사될 수 있다. 그다음 각각 증기 및 액체로 구성되는 얻어진 흐름(165) 및 (166)은 응축기(131)로부터 컬럼(130)속으로 통과한다.
컬럼(130)내에서 컬럼속을 통과한 유체는 저온 증류에 의하여 질소가 풍부한 증기 및 산소가 풍부한 액체로 분리된다. 질소가 풍부한 증기는 거의 주변온도로 열교환기(112) 및 (101)를 통과하여 가열되고, 질소기체제품으로서 회수된 흐름(114)로서 컬럼(130)으로부터 회수된다. 질소가 풍부한 폐기흐름(115)는 질소가 풍부하고 산소가 풍부한 공급흐름 유입점 사이의 어느 위치에서 컬럼(130)으로부터 회수되고, 대기로 방출되기 전에 열교환기(112) 및 (101)을 통과하여 가열된다. 폐기흐름(115)의 일부분은 공급공기를 맑게 하기위해 사용된 흡수층을 재생시키기 위해 이용할 수 있다. 90% 또는 그 이상까지 질소의 회수는 본 발명의 사용에 의해 가능하다.
주로 산소 및 아르곤으로 구성되는 흐름은 컬럼(130)으로부터 흐름(134)를 통해 아르곤컬럼(132)으로 통과되고, 여기서 저온증류에 의해 산소가 풍부한 액체 및 아르곤이 풍부한 증기로 분리된다. 산소가 풍부한 액체는 흐름(133)으로서 컬럼(130)으로 복귀한다. 아르곤이 풍부한 증기는 흐름(167)을 통해 아르곤컬럼 응축기(131)로 통과하고, 아르곤이 풍부한 액체(168)를 제조하기 위해 산소가 풍부한 유체에 대해 응축시킨다. 아르곤이 풍부한 액체의 일부분(169)은 컬럼(132)를 위한 액체 환류로서 이용된다. 아르곤이 풍부한 액체의 다른 부분(121)은 일반적으로 96%를 초과하는 아르곤농도를 갖는 정제되지 않은 아르곤 생성물로서 회수된다. 제1도에 흐름(121)은 더욱더 정제 및 회수되기 전에 공급공기흐름(120)에 대한 열교환기(122)에서 가열 또는 증발될 수 있다.
특히 본 발명은 냉각이 고압컬럼에 유입되기 전에 공급공기의 일부분을 팽창시켜 얻어지기 때문에 우수한 아르곤 회수를 얻는데 유리하다. 이것은 저압컬럼으로 액체공급물을 최대로 공급하고, 이 컬럼의 환류비를 증가시킨다. 고압컬럼으로부터 증기를 팽창시키거나 또는 저압컬럼속으로 공기를 팽창시키는 다른 시스템들은 저압컬럼으로 액체 공급물을 덜 공급할 것이다.
산소가 풍부한 액체(140)은 컬럼(130)으로부터 회수되고, 제1도에 설명한 것처럼 펌프질, 가압된 저장탱크의 사용에 의한 액체헤드의 신설과 같은 증가폭의 변화 또는 이러한 방법들의 임의의 조합에 의하여 컬럼(130)의 압력보다 더 큰 압력으로 가압된다. 그 다음 액체는 열교환기(110)을 통과하여 가열되고, 응축기 또는 생성물 가열기(107)로 통과하여, 여기서 적어도 부분적으로 증발된다. 기체상태의 생성된 산소(143)은 응축기(107)에서 배출되어 열교환기(101)를 통해 가열되고, 산소기체제품으로서 회수된다. 본 발명에 사용된 것처럼 “회수된”이란 용어는 대기로 배출되는 것을 포함하는 기체 또는 액체의 어떤 처리를 의미한다. 액체(116)은 응축기(107)로부터 배출될 수 있고, 열교환기(112)를 통과하여 부냉각되고, 그리고 액체산소제품으로서 회수된다. 일반적으로 산소생성물은 99.0 내지 99.95% 범위내의 순도를 가질 것이다. 99.9%까지의 산소회수는 본 발명에 의해 달성된다.
컬럼(105)의 바닦으로부터 액체의 산소함량은 공기 응축기를 이용하지 않는 종래의 공정에서보다 낮다. 이것은 종래의 공정과 비교할때 컬럼(105)의 바닥 및 컬럼(130)의 모든 부분에서의 환류비를 변화시킨다. 높은 생성물회수는 냉각이 컬럼(105)로부터 요구되는 증기회수 또는 컬럼(130)으로 추가된 증기공급없이 얻어지므로 본 발명과 더불어 가능하다. 터빈에 공급하기 위해 터빈으로부터 컬럼(130)으로 증기공기의 부가 또는 컬럼(105)로부터 증기질소제거에 의한 냉각화는 컬럼(130)의 환류비를 감소시키고, 상당히 생성회수율을 저하시킨다. 본 발명은 쉽게 높은 환류비를 유지할 수 있고, 그 결과 높은 제품회수율을 유지할 수 있다.
추가의 공정변화는 공급공기를 열교환기(101)에 유입되기 전에 공급공기를 분열시켜 달성할 수 있을 것이다. 공기는 액체제조요구가 제품압력요구와 대항하지 않는다면 2개의 다른 압력으로 공급될 수 있다. 액체 요구량의 증가가 터빈 입구에서 요구되는 공기압력을 증가시킬 동안 증가하는 제품 압력은 제품 가열기에서 요구된 공기압력을 증가시킬 것이다.
제2도는 1 및 2°K의 제품가열 델타 T를 위한 압력의 범위에 걸쳐 산소기체제품을 제조하는데 요구되는 공기압축압력을 설명한다. 이것은 어떤 간접 열교환기에서 흐름들 사이의 한정된 온도차(델타 T)이다. 열교환기 표면적 및/또는 열전달 계수의 증기는 흐름들 사이의 온도차(델타 T)를 감소시킬 것이다. 고정된 산소압력요구를 위해 델타 T의 감소는 공기압력을 감소시킬 것이고, 공기를 압축하는데 요구되는 에너지를 감소시키고, 가동비용을 감소시킬 것이다.
순수한 액체생산은 많은 매개변수에 의해 영향을 받을 것이다. 터빈유출량, 압력, 유입온도는 냉각생산을 결정하므로 중대한 의미를 갖을 것이다. 공기유입압력, 온도 및 더운 말단 델타 T는 더운 말단 손실을 고정할 것이다. 전체 액체생산량(공기의 분획으로서 표현된)은 터빈의 유입 및 배출 공기압력, 터빈유입온도, 터빈효율, 주열교환기 유입온도 및 고압기체로서 제조된 제품의 양에 의존한다. 고압제품으로서 제조된 기체는 제품압축기 동력을 대치하기 위해 공기압축기로 동력유입을 요구한다.
최근에 충전재는 단(tray) 대신에 저온증류에서 증기-액체 접촉소재로서 사용이 증가하고 있다. 구조화되어 있거나 또는 불규칙한 충전은 컬럼의 조작압력을 상당히 증가시킴없이 단을 컬럼에 가할 수 있는 장점을 갖고 있다. 이것은 제품회수를 최대화하는데 도움이 되고, 액체생산을 증가시키고, 그리고 제품순도를 증가시킨다. 구조화된 충전은 그 수행상 더 예상할 수 있기 때문에 불규칙한 충전보다 바람직하다. 본 발명은 구조화된 충전의 사용에 더 적합하다. 특히 구조화된 충전은 제2 또는 저압컬럼 및 아르곤컬럼에서 증기-액체 접촉 소재의 일부 또는 전체로서 유리하게 사용될 수 있다.
본 발명과 더불어 달성할 수 있는 높은 제품전달압력은 제품압축가격을 감소하거나 또는 제거할 것이다. 추가로, 약간의 액체생산이 요구된다면, 비교적 작은 자본규모로 본 발명에 의해 제조될 수 있다. 주열교환기들은 저압컬럼에 공기팽창을 사용하는 종래의 시스템에서 요구하는 것보다 더 짧고 더 숫자가 작다. 이것은 열전달을 위한 큰 구동력에 기인한다.
본 발명은 특정구현을 참고로 상세히 설명하였지만, 이 분야의 당업자들은 본 특허청구의 정신 및 범위내에 다른 구현들을 포함하고 있는 것으로 인정할 것이다.

Claims (2)

  1. (A) 냉각되고, 압축된 공급공기의 제1부분을 터보팽창시키고, 얻어진 터보팽창된 부분을 공기분리플랜트 제1컬럼으로 유입시키고, 상기 제1컬럼을 60 내지 100psia의 압력으로 조절하고; (B) 냉각되고, 압축된 공급공기의 제2부분의 적어도 일부를 압축하고, 그리고 얻어진 액체를 상기 제1컬럼으로 유입시키고; (C) 상기 제1컬럼을 통과한 유체는 질소가 풍부하고 그리고 산소가 풍부한 유체로 분리하고, 상기 유체는 상기 공기분리플랜트의 제2컬럼으로 통과시키고, 상기 제2컬럼은 상기 제1컬럼의 압력보다 낮은 압력으로 조절하고; (D) 제2컬럼을 통과한 유체는 질소가 풍부한 증기 및 산소가 풍부한 액체로 분리하고; (E) 냉각되고, 압축된 공급공기의 제2부분과 더불어 간접열교환에 의해 산소가 풍부한 액체를 증발시켜 단계(B)의 응축을 수행하고 ; (F) 생성된 산소기체로서 단계(E)의 열교환으로부터 얻어지는 증기를 회수하고; 그리고 (G) 아르곤 함유 액체를 제2컬럼으로부터 아르곤 컬럼으로 통과시키고, 아르곤 함유 유체를 산소가 풍부한 액체 및 아르곤이 풍부한 액체로 분리하고, 그리고 적어도 약간의 아르곤이 풍부한 유체를 회수함을 특징으로 하는 생성기체를 제조하기 위한 저온증류에 의하여 공기의 분리방법.
  2. (A) 제1컬럼, 제2컬럼, 뒤끓임 장치, 제1컬럼으로부터 뒤끓임 장치로 유체를 통과시키기 위한 수단 및 뒤끓임 장치로부터 제2컬럼으로 유체를 통과시키기 위한 수단으로 구성되는 공기분리플랜트; (B) 터보팽창기, 터보팽창기로 공급공기를 제공하기 위한 수단 및 터보팽창기로부터 제1컬럼으로 유체를 통과시키기 위한 수단; (C) 응축기, 응축기로 공급공기를 제공하기 위한 수단 및 응축기로부터 제1컬럼으로 유체를 통과시키기 위한 수단; (D) 공기분리플랜트로부터 응축기로 유체를 통과시키기 위한 수단; (E) 응축기로부터 생성기체를 회수하기 위한 수단; 및 (F) 아르곤컬럼, 제2컬럼으로부터 아르곤컬럼으로 유체를 통과시키기 위한 수단, 및 아르곤컬럼으로부터 유체를 회수하기 위한 수단으로 이루어지는 생성기체를 제조하기 위한 저온증류에 의한 공기의 분리를 위한 장치.
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