KR960002462A - 방전 램프 - Google Patents

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KR960002462A
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light emitting
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유키오 야스다
기요타다 나카무라
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다나카 아키히로
우시오덴키 가부시키가이샤
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
    • G03F7/70016—Production of exposure light, i.e. light sources by discharge lamps
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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Abstract

본 발명은 파장 220nm 부근의 광을 산업상 이용할 수 있을 정도까지 충분히 방사할 수 있음과 동시에, 방사광의 투과율은 충분히 유지할 수 있으며, 또한 점등중에 물이나 수소를 방출하지 않는 양호한 방전램프에 관한 것으로서, 본 발명의 방전램프는 석영유리의 발광관내에 근접하여 한쌍의 전극을 배치하고, 수은과 희가스를 봉입한 방전램프에 있어서, 석영유리에는 OH기가 300~800중량ppm 함유되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 석영유리의 금속불순물 함유량은 1중량ppm 이하인 것을 특징으로 한다.

Description

방전 램프
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 방전램프 실시예의 설명도.

Claims (4)

  1. 상기 석영유리의 발관관내에 근접하여 한쌍의 전극을 배치하고, 수은과 희가스를 봉입한 방전램프에 있어서, 상기 석영유리의 OH기 농도가 300~800중량ppm인 것을 특징으로 하는 방전램프.
  2. 상기 석영유리의 발광관내에서 근접하여 한쌍의 전극을 배치하고, 수은과 희가스를 봉입한 방전램프에 있어서, 상기 석영유리의 금속불순물 농도가 1중량ppm 이하인 것을 특징으로 하는 방전램프.
  3. 상기 석영유리의 발광관내에 근접하여 한쌍의 전극을 배치하고, 수은과 희가스를 봉입한 방전램프에 있어서, 상기 수은 봉입량은 발광관 내용적 1㎤당 14mg 내지 30mg으로 하고, 희가스는 크세논 혹은 크립톤을 사용해서 25℃ 기준에서 0.1×105Pa 내지 5×105Pa로 하는 것을 특징으로 하는 방전램프.
  4. 상기 석영유리의 발광관내에 근접하여 한쌍의 전극을 배치하고, 수은과 희가스를 봉입한 방전램프에 있어서, 상기 수은의 봉입량은 발광판 내용적 1㎤당 14mg 내지 30mg으로 하고, 희가스는 아르곤을 사용해서 25℃ 기준에서 0.03×105Pa 내지 5×105Pa로 하는 것을 특징으로 하는 방전램프.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950016285A 1994-06-21 1995-06-19 방전램프 KR100349800B1 (ko)

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