KR960001797A

KR960001797A - 분광기의 파장주사기구 및 그 파장주사방법

Info

Publication number: KR960001797A
Application number: KR1019950014700A
Authority: KR
Inventors: 마사루 이노우에; 주이치로 우콘
Original assignee: 호리바 아츠시; 가부시키가이샤 호리바 세이사쿠쇼
Priority date: 1994-06-04
Filing date: 1995-06-03
Publication date: 1996-01-25
Also published as: KR0184297B1; JPH07333062A; US5710627A

Abstract

일정 파장범위내에서 반복주사성이 우수한 저렴한 분광기의 파장주사기구 및 그 파장 주사방법을 제공한다.

회절격자에 기부가 고정된 접촉바의 요동단에 펄스모터로 구동되는 편심원판캠을 미끄럼 접촉시키고 있다.

Description

분광기의 파장주사기구 및 그 파장주사방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 분광기의 파장주사기구의 일실시예를 예시하는 단면도.

제2도는 동 제어계통도.

제3도는 동 파장주사의 기본적인 제어흐름을 나타내는 순서도.

Claims

광원과, 그 광원으로 부터의 광을 입사시키기 위한 입사슬릿과, 그 입사슬릿을 통과한 광을 회절시키기 위한 회동자재의 회절격자와, 회절광을 출사시키기 위한 회절광 출사슬릿과, 그 회절광 출사슬릿을 통과한 회절광을 검출하기 위한 회절광 검출기와, 상기 회절격자에 기부가 고정된 접촉바의 요동단에 미끄럼접촉하는 편심원판캠과, 그 편심원판캠을 회전시키기 위한 펄스모터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 분광기의 파장주사기구.
광원과, 그 광원으로 부터의 광을 입사시키기 위한 입사슬릿과, 그 입사슬릿을 통과한 광을 반사시키기 위한 제1오목구면경과, 그 제1오목구면경에서 반사된 광을 회절시키기 위한 회동자재의 회절격자와, 그 회절격자에서 경면반사된 광이 상기 제1오목구면경에서 반사·집광된 후에, 그 광을 출사시키기 위한 0차 광출사슬릿과, 그 0차 광출사슬릿으로부터 출사된 0차광을 검출하기 위한 0차 광검출기와, 상기 회절격자에서 회절된 회절광을 반사시키기 위한 제2오목구면경과, 그 제2오목구면경에서 반사·집광된 회절광을 출사시키기 위한 회절광 출사슬릿과, 그 회절광 출사슬릿을 통과한 회절광을 검출하기 위한 회절광 검출기와, 상기 회절격자에 기부가 고정된 접촉바와, 그 접촉바의 요동단에 미끄럼접촉하는 편심원판캠과, 그 편심원판캠을 회전시키기 위한 펄스모터와, 그 펄스모터를 파장주사를 위해 필요한 제어프로그램에 따라 제어구동시키기 위한 컨트롤러를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 분광기의 파장주사기구.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 편심원판캠은 상기 펄스모터에 의해 회전되는 회전체의 회전축으로부터 편심된 위치에 부착된 캠폴로워로 이루어지고, 그 캠폴로워는 상기 회절격자에 기부가 고정된 접촉바의 요동단에 미끄럼접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 분광기의 파장주사기구.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 편심원판캠은 상기 펄스모터에 의해 회전되는 회전체의 회전축으로부터 상이한 거리만큼 편심된 위치에 각각 부착된 캠폴로워로 이루어지고, 그 각각의 캠폴로워는 상기 회절격자에 기부가 고정된 접촉바의 요동단에 각각 순차적으로 미끄럼접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 분광기의 파장주사기구.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 회절격자에는 그 회절격자에 대한 부착각도가 상이한 복수의 접촉바의 기부가 고정되는 한편, 상기 회전체의 회전축으로부터 편심된 위치에는 설정위치가 가변인 캠폴로워가 축지지되고, 그 캠폴로워는 어느 하나의 상기 접촉바의 요동단에 선택적으로 미끄럼접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 분광기의 파장주사기구.
상기 광원을 점등시키고, 상기 0차광검출기에 의해 0차광을 검출한 시점과, 그 0차광이 검출되지 않게된 시점에 있어서의 상기 펄스모터의 카운트수의 중심치를 구하여 상기 회절격자의 초기위치를 설정·확인한후, 그 펄스모터의 카운트수가 미리 설정된 스펙트럼 측정개시파장과 대응하는 지정치로 될때까지 그 펄스모터를 한스텝씩 진행시킨후, 상기 회절광 검출기에 의해 회절광의 검출을 행하고, 그 검출신호를 AD 변환시킨후 상기 컨트롤러내의 연산수단에 수납시켜 분광강도를 연산하고, 이어서, 다음회의 지정치를 설정하고, 예정의 데이타 수납수가 종료될때까지, 미리 설정된 지정치에 대한 파장의 회절광을 순차적으로 반복주사하고, 검출·연산하는 것을 특징으로 하는 제2항, 제3항, 제4항 또는 제5항에 기재된 분광기의 파장주사기구의 파장주사방법.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.