KR960001287B1 - 자기 헤드용 코어 제조방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

자기 헤드용 코어 제조방법

제1도는 본 발명을 실행하는데 사용되는 장치의 한 구현의 단면도 .

제2도는 본 발명의 제1구현에서, 자기 헤드용 코어의 트랙이 인산수용액에서, 2㎛이상의 치수정확도와 최소한 10㎛의 부식깊이로 가공되는 조건의 범위를 도시하는 그래프.

제3도는 본 발명 제1구현에서, 4㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔 및 다양한 농도의 인산수용액으로 실행된 실험의 결과를 도시하는 그래프.

제4도는 본 발명 제1실현에서, ±2㎛ 이상의 치수정확도가 획득될 수 있고, 집속 레이저빔 직경이 4㎛일때, 레이저력은 400mW로 일정하게 유지되며 인산수용액의 농도는 변화하는, 주사속도의 범위를 도시하는 그래프.

제5도는 본 발명의 제1구현에서, 10㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔 및 다양한 농도의 인산수용액으로 실행된 실험의 결과를 도시하는 그래프.

제6도는 본 발명의 제1구현에서, 20㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔 및 다양한 농도의 인산수용액으로 실행된 실험의 결과를 도시하는 그래프.

제7도는 본 발명의 제2구현에서, 자기 헤드용 페라이트 코어의 트랙이 알칼리 금속 수산화물 수용액에서, ±2㎛ 이상의 치수정확도와 최소한 10㎛의 부식깊이로 가공되는 조건의 범위를 도시하는 그래프.

제8도는 본 발명의 제2구현에서, 11㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔과 다양한 농도의 수산화칼륨 수용액으로 실행된 자기 헤드용 페라이트 코어의 트랙 가공 실험의 결과를 도시하는 그래프.

제9도는 본 발명의 제2구현에서, 자기 헤드용 페라이트 코어의 트랙은 2㎛ 이상의 치수정확도로 가공될 수 있고, 집속 레이저빔 직경이 11㎛일때, 레이저력은 550mW로 일정하게 유지되며 수산화칼륨 수용액의 농도는 변화되는, 주사속도의 범위를 도시하는 그래프.

제10도는 본 발명의 제2구현에서, 4㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔과 다양한 농도의 수산화칼륨 수용액으로 실행된, 자기 헤드용 페라이트 코어의 트랙 가공 실험 결과를 도시하는 그래프.

제11도는 본 발명의 제2구현에서, 2㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔과 다양한 농도의 수산화칼륨 수용액으로 실행된, 자기 헤드용 페라이트 코어의 트랙 가공 실험의 결과를 도시하는 그래프.

제12도는 본 발명의 제2구현에서, 4㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔과 다양한 농도의 수산화나트륨 수용액으로 실행된 자기 헤드용 페라이트 코어의 트랙 가공 실험 결과를 도시하는 그래프.

제13도는 본 발명의 제2구현에서, 자기 헤드용 페라이트 코어 트랙이 ±2㎛ 이상의 치수정확도로 가공될 수 있으며, 집속 레이저빔 직경이 4㎛일때, 레이저력은 550mW로 일정하게 유지되며 수산화나트륨 수용액의 농도는 변화되는, 주사속도의 범위를 도시하는 그래프.

제14도는 본 발명의 제2구현에서, 2㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔과 다양한 농도의 수산화 나트륨 수용액으로 실행된 자기 헤드용 페라이트 코어의 트랙 가공 실험의 결과를 도시하는 그래프.

제15도는 본 발명의 제3구현에서, 자기 헤드용 센더스트(Sendust) 코어의 트랙은 알칼리 금속 수산화물 수용액에서 ±2㎛ 이상의 치수정확도와 최소한 10㎛의 부식깊이로 가공되는 조건의 범위를 도시하는 그래프.

제16도는 본 발명의 제3실시예에서, 11㎛의 집속 레이저빔 직경과 다양한 농도의 수산화 칼륨 수용액으로 실행하는, 자기 헤드용 센더스트 코어의 트랙 가공 실험의 결과를 도시하는 그래프.

제17도는 본 발명의 제3구현에서, 자기 헤드용 센더스트 코어의 트랙은 ±2㎛ 이상의 치수정확도로 가공될 수 있고, 집속 레이저빔 직경이 11㎛일때, 레이저력은 550mW로 일정하게 유지되며 수산화칼륨 수용액의 농도는 변화하는, 주사속도의 범위를 도시하는 그래프.

제18도는 본 발명의 제3구현에서, 4㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔과 다양한 농도의 수산화칼륨 수용액으로 실행된 자기 헤드용 센더스트 코어의 트랙 가공 실험의 결과를 도시하는 그래프.

제19도는 본 발명의 제3구현에서, 2㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔과 다양한 농도의 수산화칼륨 수용액으로 실행된 자기 헤드용 센더스트 코어의 트랙 가공 실험의 결과를 도시하는 그래프.

제20도는 본 발명의 제4구현에서, 자기 헤드용 페라이트/센더스트 혼합 코어의 궤도는 알칼리 금속 수산화물 수용액에서 ±2㎛ 이상의 치수정확도와 최소한 10㎛의 부식깊이로 가공되는 조건의 범위를 도시하는 그래프.

제21도는 본 발명의 제4구현에서, 11㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔과 다양한 농도의 수산화칼륨 수용액으로 실행되는 자기 헤드용 페라스트/센더스트 혼합 코어의 트랙 가공 실험의 결과를 도시하는 그래프.

제22도는 본 발명의 제4구현에서, 4㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔과 다양한 농도의 수산화칼륨 수용액으로 실행되는 자기 헤드용 페라스트/센더스트 혼합 코어의 트랙 가공 실험의 결과를 도시하는 그래프.

제23도는 본 발명의 제4구현에서, 2㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔과 다양한 농도의 수산화칼륨 수용액으로 실행하는 자기 헤드용 페라스트/센더스트 혼합 코어의 트랙 가공 실험의 결과를 도시하는 그래프.

제24도는 본 발명의 제4구현에서, 4㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔과 다양한 농도의 수산화나트륨 수용액으로 실행하는 자기 헤드용 페라스트/센더스트 혼합 코어의 궤도 가공실험의 결과를 도시하는 그래프.

제25도는 본 발명에 제4구현에서, 2㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔과 다양한 농도의 수산화나트륨 수용액으로 실행하는 자기 헤드용 페라스트/센더스트 혼합 코어의 트랙 가공 실험의 결과를 도시하는 그래프.

제26a-26d도는 본 발명의 제1구현이 VTR 자기 헤드용 코어 제조에 적용되는 경우에 그 순서를 도시하는 흐름도.

제27a-27e도는 본 발명의 제4구현이 VTR 자기 헤드용 페라이트/센더스트 혼합 코어의 제조에 적용되는 경우에 그 순서의 흐름도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : X-Y 스테이지 2 : 용기

3 : 샘플 지지체 4 : 간극 바아(bar)

5 : 인산수용액 또는 알칼리 금속 수산화물 수용액

6 : 마이크로 미터 7 : 석영 윈도우

8 : 레이저빔 9 : 레이저원

10 : 렌즈 장치 11 : 페라이트 바아

12 : 코일 회전 호울 13 : 트랙폭

14 : 가공홈 15 : 유리

16 : 자기 헤드 17 : 자기 간극

18 : 센더스트(Sendust) 막 19 : 간극 바아

본 발명은 자기 헤드용 코어의 제조방법에 관련하며, 특히 열 화학반응이 레이저빔에 의해 유도되는 레이저 유기 부식에 의해 형성되는 트랙을 가지는 자기 헤드용 코어 제조 방법에 관련한다.

최근에, 플로피 디스크 드라이브(FDD), 리지드 자기 디스크 드라이브(RDD), VTR 등과 같은 자기 기록계가 꾸준히 고자기화 되어 왔으며, 따라서, 자기 헤드의 트랙폭은 더 높은 정확도로 더욱 좁아지고 있는 추세이다. 현재, 트랙폭은 VTR 및 FDD에 대해서는 ±2㎛ 이상, 또는 RDD에 대해서는 ±1㎛ 이상의 치수정확도를 필요로 한다.

그러한 자기 헤드용 코어 형성시, 지금까지는 트랙 부분의 공기중에서의 레이저 가공이 공지되어 왔으며, 그것은 일본국 특허 출원 공개 제29,118/76호, 제212,617 /82호 등에 공개된다. 추가로, 일본국 특허출원 제117,726/80호, 제26 0,408/86호 등은, 공기중의 레이저 가공에 의하여, 센더스트 등과 같은, 높은 자기 침투성 합금으로 만들어진 자기 헤드용 코어의, 또는 페라이트 및 높은 자기 침투성 합금으로 구성된 자기 헤드용 혼합 코어의 트랙 형성을 공개한다.

그러나, 이 방법에 따라, 가공된 물질의 온도가 물질의 용융점 온도를 초과 도달하기 때문에, 열로 인한 스트레인 공정이, 가공 표면상에 결함의 형성을 수반한채, 가공 표면에 형성되며 결과적으로 자기 헤드의 질이 저하된다. 추가로, 이 방법들은 열적 스트레인, 결함 등의 문제 뿐만아니라, 가공 표면 및 그 근처에 부착된 용융 및 고화된 물질 또는 용융 및 산란된 물질같은 문제를 제시하며, 표면조도 또는 치수정확도를 저하시키게 되며, 그리하여 그것은 ±2㎛ 이상의 치수정확도로 실행되는 높은 정확도의 트랙 과정을 허락하지 않고, 그 과정은 최근에 강하게 필요로 되고 있다.

한편, 일본국 특허출원 공개 제60,995/85호인 Precision Society, 1985, Spring Symposium, Scientific Lecture Articles(Presentation 제404호) 및 Industrial Materials, 33, 제14호(p.57 p62)는, 자기 헤드 공정과는 다른 분야에서, 수산화칼륨 수용액에서 레이저빔이 조사되는 레이저 유기 부식 작업에 의하여 페라이트, Si3N4, SiC 등과 같은 세라믹 가공의 세 방법을 공개한다. 그러나, 상기 참고 자료에 공개된 임의의 방법들은 자기 헤드 공정에 대해 필수적인 높은 정확도를 획득하기 위한 필요조건들이 부족하여, 자기 헤드 공정에 요구되는 그런 정확도를 가지는 가공은 실행될 수 없었다.

본 발명의 목적은 상술된 종래의 방법들의 결점을 없애고, 높은 신뢰성으로 자기 헤드용 코어를 제어하도록 트랙이 고정확도로 레이저 유기 부식 작업에 의하여 가공되는 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 제1구현은, 자기 헤드용 코어 제조방법에 있어서, 여기서 자기 헤드용 코어의 트랙폭은 레이저 가공에 의해 한정되며, 50㎛ 이상의 집속빔 직경 및 50-1,900mW의 레이저력을 가지는 레이저빔이, 10-90중량% 인산수용액에서, 다음의 조건 : V≤0.34P+13 그리고 V≤-0.17P+217 양자를 동시에 만족시키는 2-2001/m 범위의 주사속도 V로 주사로 되는, 레이저 유기 부식 작업에 의한 가공으로 구성되는 개선책이다.

본 발명의 제4구현은, 페라이트 및 센더스트로 이루어진 자기 헤드용 혼합 코어 제조방법에 있어서, 여기서 자기 헤드용 코어의 트랙폭은 레이저 가공에 의해 한정되며, 20㎛의 집속빔 직경 및 50-1,000mW의 레이저력 P를 가지는 레이저빔이, 5-55 중량%의 알칼리 금속 수산화물 수용액에서, 다음 조건 :V≤0.34P+13 그리고 V≤-0.19P+190 양자를 동시에 만족시키는 2-130㎛/초 범위의 주사속도로 조사되는 레이저 유기 부식 작업에 의한 가공으로 구성되는 개선책이다.

이 명세서 전체에 걸쳐, “1+x 이상의 치수정확도”라는 표현은 “치수정확도 1+x 이상인 치수정확도”를 의미하는 것이며, 또는 “치수정확도의 절대값이 1|x1| 이하”임을 의미한다.

본 발명의 상술된 구현에서, 코일 회전 호울 및 자기 간극을 가지는 간극 바아는, 수산화칼륨, 수산화나트륨 등과 같은 알칼리금속 수산화물 수용액 또는 인산수용액내에 위치하고 있으며, 그 간극 바아의 표면은, 상기 간극 바아 및 인산 또는 알칼리 금속 수산화물 사이에 화학반응을 유도하도록 소정의 주사속도로 소정의 레이저력을 가지는 레이저빔에 의해 조사되며, 한편 인산수용액 또는 알칼리 금속 수산화물 수용액을 부식점의 진행방향과 반대로 흐른다. 그렇기 때문에, 새로운 인산수용액 또는 알칼리 금속 수산화물 수용액이 부식점에 연속적으로 공급되며, 동시에 부식후 소모량은 부식점으로부터 급속히 제거된다. 결과적으로, 홈 또는 호울 가공이 본 발명에 따른 트랙을 형성하도록 레이저 유기 부식 작업에 의하여 실행될때, 부식물질의 용융 및 고형화와 같은, 종래의 레이저 가공에서 일어나는 문제들, 면 등에 미세 결함의 형성을 수반하는, 열로 인한 스트레인 공정 또는 변성이 제거될 수 있다.

자기 헤드용 코어는, 트랙을 형성하기 위하여, 트랙폭을 한정하는 홈 또는 호울을 가공하기 위하여 레이저 유기 부식 작업을 받고 ; 그 다음에 트랙을 강화하기 위하여, 필요하다면 유리로 홈 또는 호울을 충전시키고 ; 자기 헤드의 자기 간극 깊이, 즉, 기록 매개물을 가지는 경사진 접촉면으로부터 코일 회전 호울로의 거리에 대해 요구되는 치수가 획득될때까지 경사면을 갖고 ; 그리고, 추가로, 요구되는 길이를 가지는 복수의 코어로 간극 바아를 얇게 베는 것과 같은 후반 공정의 단계를 통하여 획득될 수 있다.

간극 깊이는 일반적으로 VTR 및 FDD용 자기 헤드에서는 약 30㎛, RDD용 자기 헤드에서는 약 5㎛이다. 따라서 간극 바아의 트랙 형성시, 트랙을 한정하기 위한 홈 또는 호울의 깊이는 최소한 10㎛, 바람직하게는 최소한 30㎛, 경사면의 같기 등과 같은 후반 공정을 참작하여, 더욱 바람직하게 최소한 50㎛이도록 요구된다. 추가로, 트랙을 한정하기 위한 치수정확도는 ±2㎛ 이상이도록, 바람직하게는 ±1㎛ 이상이도록 요구된다.

본 발명에 따른 방법에 있어서, 부식깊이 및 치수정확도는 레이저력 및 레이저빔의 주사속도에 의존한다. 실험 데이타에 따라, 레이저력이 높아지거나 주사속도가 낮아지면 질수록, 부식깊이는 더욱더 커진다. 그러나, 레이저력이 지나치게 높으면, 레이저빔의 열로 인한 용융물이, 인산 또는 알칼리 금속 수산화물과, 상기 부식 부분에 부착되어 용융 및 고화된 물질과의 화학 반응 덕분에 반응물 양을 초과하여, 미세결함이 형성되거나 치수정확도가 저하된다. 선택적으로, 주사속도가 높아지면, 만족스러운 화학반응이 발생하지 않으며 상술한 바와 유사한 경향이 나타난다.

그렇기 때문에, 페라이트 또는 센더스트 가공시 레이저력이 50mW 미만이면, 최소한 10㎛의 필요로 하는 부식깊이를 획득하기 위한 레이저 유기 부식 작업은 만족스럽게 실행되어질리 없다. 게다가, 종래의 가공공정 방법과 비교하여 본 발명에 따른 방법을 더 잘 수행하도록 하기 위하여, 한 트랙당 부식시간은 30초 이내로 하고 주사속도는 최소한 2㎛/초로 하는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상업적 규모에서, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 최소한 10㎛의 부식깊이를 가지는 트랙을 형성할 수 있는 조건은 다음과 같다 :

본 발명의 제1구현에서, 50-1,900mW의 레이저력을 가지는 레이저빔 P가 2-200/초의 범위 및 조건 : V≤0.31P+34 그리고 V≤-0.14P+271에 의해 기술되는 영역내에 놓여 있는 주사속도 V로 인산수용액내에 조사된다.(제2도 참조)

본 발명의 제2구현에 따라 페라이트로 특별히 만들어진 자기 헤드용 코어에서, 50-1,300mW의 레이저력 P를 가지는 레이저빔이 2-150㎛/초의 범위 및 조건 : V≤0.34P+13 그리고 V≤-0.17P+217에 의해 기술되는 영역내에 놓여있는 주사속도 V로 알칼리 금속 수산화물 수용액내에 조사된다(제7도 참조).

본 발명의 제3구현에 따라 센더스트로 특별히 만들어진 지지헤드용 코어에서, 50-1,000mW의 레이저력 P를 가지는 레이저빔이 2-70㎛/초의 범위 및 조건 : V≤0.1P+10 그리고 V≤-0.81P+180에 의해 기술되는 영역내에 놓여있는 주사속도 V로 알칼리 금속 수산화물 수용액내에 조사된다(제15도 참조).

본 발명의 제4구현에 따라 페라이트 및 센더스트로 특별히 구성된 자기 헤드용 혼합코어에서, 50-1,000mW의 레이저력 P를 가지는 레이저빔이 2-130㎛/초의 범위 및 조건 : V≤0.34P+13 그리고 V≤-0.19P+190에 의해 기술되는 영역내에 놓여있는 주사속도 V로 알칼리 금속 수산화물 수용액내에 조사된다(제20도 참조).

본 발명에 따라 상술된 레이저 유기 부식 방법에 있어서, 인산수용액 또는 알칼리 금속 수산화물 수용액은 가공되는 간극 바아에 대한 부식 용액 구실을 한다.

간극 바아가 특별히 페라이트로 제조된 경우에, 인산수용액은, 본 특허출원의 양수인에 의한 일본국 특허 출원 공개 제83,483/87호에 공개되어 있는 바와 같이 페라이트의 화학적 부식에 대해 적합하다. 부식깊이는 인산수용액의 농도에 의존한다.

농도가 높으면 높을수록, 부식깊이는 더욱 커진다.

그러나 농도가 지나치게 높으며, 상기 용액의 유량은 감소하여서, 상기 수용액은 끓을때까지 과도하게 가열되어 레이저빔 산란의 원인이 되는 기포를 형성하게 되며, 그에 의하여 진행되고 있는 물질표면상의 소정 부분의 가열을 방해하고, 그리하여 부식깊이는 감소하고 치수정확도는 저하된다.

선택적으로, 페라이트 및 센더스트의 주성분인 철은 알칼리 금속 수산화물에 의하여 잘 부식된다. 부식깊이는 알칼리 금속 수산화물 수용액의 농도에도 의존한다. 농도가 높을수록, 부식깊이는 더욱 커진다. 그러나, 농도가 지나치게 높으면, 부식이 과도하게 진행되게 되어서 부식표면이 거칠어지게 되고 치수정확도는 저하된다. 선택적으로, 농도가 지나치게 낮으면, 화학반응물이 너무 감소하여 충분한 레이저 유기 부식 작업을 실행할 수 없게 되고, 그리하여 필요한 부식깊이를 획득할 수 없게 된다. 그렇기 때문에, 인산수용액 및 알칼리 금속 수용액의 농도는 각각 10-90중량% 및 5-55중량%로 요구된다.

인산수용액의 경우에는 레이저빔의 집속직경이 50㎛ 이하일때, 또는 알칼리 금속 수산화물 수용액의 경우에는 20㎛ 이하일때 목표의 부식깊이 및 치수정확도가 획득될 수 있다. 그러나 집속 레이저빔 직경은 부식된 형상에 영향을 미친다. 그렇기 때문에, 집속 레이저빔 직경 및 인산수용액 또는 알칼리금속 수산화물 수용액의 상술된 농도사이의 상호 관계는 부식 조건을 더욱더 숙고하여 선택해야 한다.

레이저원으로서, 다양한 레이저들이 사용될 수 있다. 그러나, 페라이트 및 센더스트의 1㎛ 이하의 파장에서 고 흡입의 측면에서, YAG 레이저 또는 Ar 이온 레이저의 제2조파 동과 같이, 우수한 발진 안정도를 가지며 레이저광의 작은 분산각을 가지는, 그런 레이저원이 사용되는 것이 바람직하다.

본 발명은 수반하는 도면을 참조로 하는 실시예로 더욱 상세히 설명될 것이다.

[실시예]

(1)장치의 구조 :

제1도는 본 발명을 수행하기 위해 사용되는 장치의 구현을 도시한다.

이 실시예에서, X-Y 스테이지(1)상에 위치한 용기(2)내에 샘플 지지체(3)가 배열되어 있고 그 위에 처리될 간극 바아(4)가 있다. 용기(2)는 인산수용액 또는 수산화칼륨, 수산화나트륨 등과 같은 알칼리 금속 수산화물 수용액(5)으로 충전되어 있다. 인산 또는 알칼리 금속 수산화물 수용액의 간극 바아(4)상의 액체 레벨은 그 레벨이 마이크로미터(6)에 의하여 조절될 수 있는 석영 윈도우(7)에 의하여 제어된다. 너무 낮은 액체 레벨은 용액의 유량을 감소시켜서 수용액은 지나치게 가열되며 기포가 형성되기 쉬우며, 그리하여 부식깊이는 감소되고 치수정확도는 저하된다. 액체 레벨이 200㎛ 이상의 높이일 때, 그런 경향은 겨우 나타나지 않는다. 그러나, 액체 레벨이 지나치게 높으면, 레이저빔이 수용액을 통과하는 동안 광손실량이 증가하며, 결과적으로 부식깊이는 감소하게 되며, 또는 용액의 상하 유동으로 인해 대류가 형성되고, 그것은 부식점으로부터 배출된 소모량 또는 기포를 상승시켜, 레이저빔을 산란시키고, 결과적으로 부식깊이 및 치수정확도를 감소시킨다. 그렇기 때문에, 액체 레벨은 바람직하게는 200㎛, 더욱 바람직하게는 300-10,000㎛이어야 한다.

추가로, 석영 윈도우(7)는 액체 레벨을 제어하고 동시에 액체 표면의 요동을 제거하여, 치수정확도를 향상시킨다. 레이저빔(8)은 레이저원(9)으로부터 방출되고 렌즈 장치(10) 및 석영 윈도우(7)을 통하여 간극 바아(4)상으로 조사된다. 그 다음에, 소정 형태의 부식 작업이 X-Y 스테이지(1)을 이동시킴에 의해 수행될 수 있다.

(2)부식 조건의 결정 :

본 발명이 상술된 장치에 의하여 실행되는 경우에 부식 조건이 이하에 설명될 것이다.

① 본 발명의 제1구현

제2도는, 본 발명의 제1구현에서, 가공이 2㎛ 이상의 치수 정밀도로 최소한 10㎛의 부식깊이를 획득하도록 인산수용액 내에서 수행되는 조건의 범위를 도시하는 그래프이다. 레이저력 P가 50-1,900mW의 범위에서 일정하게 유지되고 주사속도 V는 2-200㎛/초의 범위내에 있을때, 상기 범위는, 10㎛의 부식 깊이를 획득하기 위한 주사속도의 상한을 기술하는 조건 : V≤0.31P+34(직선) 및 ±2㎛의 치수정확도를 획득하기 위한 주사속도의 다른 상한을 기술하는 조건 : V≤-0.41P+271(점선)에 의하여 한정된다고 이해된다.

제2도로부터 ±2㎛ 이상의 치수정확도로 최소한 10㎛의 부식깊이는 주사속도가 2-130㎛/초의 범위내에 있고 레이저력이, 예를 들면, 300mW일때 획득될 수 있으며, 반면에, 동일한 레이저력에서 주사속도가 130㎛/초 이상 및 230㎛/초 사이의 범위에 놓여 있을때, 비록 ±2㎛ 이상의 치수정확도가 획득된다하더라도, 최소한 10㎛의 부식깊이는 획득되어질 수 없다고 이해된다.

추가로, 주사속도가 230㎛/초 일때는, ±2㎛ 이상의 치수정확도 조차도 획득될 수 없다고 이해된다. 게다가, 레이저력이 600mW이고 주사속도가 2-185㎛/초의 범위내에 있을때, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 최소한 10㎛의 부식깊이가 획득될 수 있으며, 반면에, 동일한 레이저력에서, 주사속도가 185㎛/초 이상 및 225㎛/초 사이의 범위에 있을때, 비록 최소한 10㎛의 부식깊이가 획득된다 하더라도, ±2㎛ 이상의 치수정확도는 획득될 수 없다고 이해된다. 추가로, 주사속도가 225㎛/초를 초과할때에는, 최소한 10㎛의 부식깊이 조차도 획득될 수 없다고 이해된다.

제2도에 도시된 조건은, 인산수용액의 농도가 10-90중량%이고 집속 레이저빔 직경은 50㎛ 이하인 조건하에서의 실험 결과에 기초를 두고 있다. 그러나, 레이저력 및 주사속도가 일정하게 유지되는 경우에도, 부식깊이 및 치수정확도는 상기 농도 및 집속 레이저빔 직경에 의존하여 변화한다. 따라서, 목표의 부식깊이 및 치수정확도를 획득하기 위한 적당한 조건은 상기의 제2도에 도시되는 범위내에서 선택되어야 하며 더욱더 숙고하여 농도 및 집속 레이저빔 직경을 선택해야 한다. 특히, 집속 레이저빔 직경이 축소될때 레이저력은 감소하게 되며, 그리하여 레이저빔의 열로 인한 용융물은 인산과의 화학반응으로 인한 반응물 양을 초과하지 못하게 된다. 역으로, 집속 레이저빔 직경이 증대하면, 레이저력은 증가하게 되며, 그리하여 레이저 유기 부식은 유효하게 발생하기도 한다.

제3도에서는, 액체 레벨이 500㎛, 집속 레이저빔의 직경이 4㎛이고 인산수용액의 농도가 20,37,57,77 및 85중량%로 변화되도록 하여, 제1도에 도시된 장치를 사용하여 실행된 실험의 결과를 도시한다. 직선은 50㎛의 부식깊이를 획득하기 위한 주사속도의 상한을 기술하며 점선은 ±2㎛의 치수정확도를 획득하기 위한 다른 상한을 기술한다. 레이저력 및 주사속도가 일정하게 유지될 때, 농도가 높아지게 되면 부식깊이가 증가하게 되며, 한편 농도가 57중량% 보다 더 낮거나 더 높으면 치수정확도가 감소됨을 알 수 있다. 부식깊이 및 치수정확도가 농도에 의존하기 때문에, 가공 조건의 적정 범위는 변화한다고 이해된다.

예를 들면, 레이저력이 450mW이고 주사속도가 60㎛/초 일때, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 최소한 50㎛의 부식깊이는 57중량%의 농도에서 획득될 수 있으며, 반면에 ±2㎛ 이상의 치수정확도는 37중량%의 농도에서는 획득될 수 없음을 알 수 있다. 추가로, 농도가 77중량%일때에도, ±2㎛ 이상의 치수정확도는 획득될 수 없음을 알 수 있다.

제4도는, ±2㎛ 이상의 치수정확도가 획득될 수 있고, 집속 레이저빔 직경이 4㎛일때, 레이저력은 400mW로 일정하게 유지되며 인산수용액의 농도는 변화되는, 주사속도의 범위를 도시하는 그래프이다. ±2㎛ 이상의 치수정확도를 획득하기 위한 주사속도의 범위는 농도에 의존함을 알 수 있다. 집속 레이저빔 직경이 4㎛이고 레이저력이 400mW일때, 37중량% 및 77중량% 사이의 인산수용액의 농도는, ±2㎛ 이상의 치수정확도가 획득될 수 있는 주사속도의 범위를 극대화함을 알 수 있다.

제3 및 4도는, 집속 레이저빔 직경이 4㎛이고, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 최소한 50㎛의 부식깊이를 획득하기 위한 가공 조건의 범위는, 레이저력은 10-800mW이고 주사속도는 2-8㎛/초임을 도시한다.

제5도는, 10㎛의 집속빔 직경을 가지는 레이저빔 및 500㎛의 액체 레벨을 가지며, 인산수용액의 농도를 20,37,57,77 및 85중량%로 변화시키며 실행된 실험의 결과를 도시하는 그래프이다. 제5도에서, 직선은 30㎛의 부식깊이를 획득하기 위한 주사속도의 상한을 기술하며, 점선은 ±2㎛의 치수정확도를 획득하기 위한 또다른 상한을 기술한다. 제5도에서, 레이저력 및 주사속도가 일정하게 유지될때, 농도가 높아지면 부식깊이는 증가하게 되고, 반면에 농도가 37중량%보다 더 낮거나 더 높으면 치수정확도는 감소함을 알 수 있다.

예를들어 레이저력이 600mW이고 주사속도가 90㎛/초인 경우, 치수정확도가 ±2㎛ 이상인 적어도 30㎛의 부식깊이가 37중량%의 농도에서 얻어질 수 있으며, 반면 57 및 20중량%의 농도에서는 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 없다는 것을 알 수 있다. 집속 레이저빔 직경이 10㎛일 경우, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 적어도 30㎛의 부식깊이를 얻기 위한 가공 조건의 범위는 레이저력이 30-1,000mW이고 주사속도가 2-110㎛/초이다.

제6도는 20,37,57,77 및 85중량% 인산수용액의 농도를 변화시키면서, 집속빔 직경이 50㎛이고 액체 높이가 500㎛인 레이저빔으로 수행한 실험결과를 나타내는 그래프이다. 제6도에서 직선은 부식깊이가 30㎛가 되도록 하는 주사속도의 상한을 나타내며, 점선은 치수정확도가 ±2㎛가 되도록 하는 다른 상한을 나타낸다. 제6도에서 레이저력과 주사속도가 일정하게 유지되는 경우, 농도가 커짐에 따라 부식깊이가 증가하고, 농도가 77중량% 이상 또는 이하로 됨에 따라 치수정확도가 감소하게 된다는 것을 알 수 있다.

예를 들면 레이저력이 1,100mW이고 주사속도가 110㎛/초인 경우, 치수정확도가 ±2㎛ 이상인 적어도 30㎛의 부식깊이가 77중량%의 농도에서 얻어질 수 있으며, 반면 57 및 85중량%의 농도에서는 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 없다는 것을 알 수 있다. 레이저빔 직경이 50㎛일 경우, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 적어도 30㎛의 부식깊이를 얻기 위한 가공조건의 범위는 레이저력이 200-1,900mW이고 주사속도는 2-160㎛/초이다.

제3도 내지 제6도에서 알 수 있듯이, 가공조건의 범위는 인산수용액의 농도 및 집속 레이저빔 직경에 의존한다. 가공조건 결정의 측정은 부식깊이를 증가시켜, (1) 레이저력을 증가시키고, (2) 주사속도를 감소시키며, (3) 농도를 증가시키기 위하여 수행될 수 있고 ; 그리고 치수정확도를 향상시켜, (1)레이저력을 감소시키고, (2)주사속도를 감소시키며, (3)농도가 30-80중량%가 되도록 하기 위하여 수행될 수 있다. 또한 가공된 홈의 가로 세로 비(부식깊이/부식폭)를 증가시키기 위하여, 집속 레이저빔 직경은 감소되는 것이 좋다.

또한 센더스트, 퍼멀로이(Permalloy) 등의 페라이트 및 자성합금으로 구성된 혼합물이 가공되는 경우, 집속 레이저빔 직경을 10㎛ 이하로 감소시키고, 레이저력 밀도를 증가시키며, 농도를 최소한 50중량%로 더 증가시키므로써 가공을 만족할만하게 효과적으로 수행할 수 있으며, 여기서 센더스트 또는 퍼엄알로이의 열전도도는 크다.

전술한 바와같이, 레이저력, 주사속도, 집속 레이저빔 직경 및 인산수용액의 농도를 종합적으로 판단하여 적당한 용액을 결정하여 소정의 부식깊이, 치수정확도, 부식속도, 부식형태 등을 얻을 수 있도록 할 필요가 있다.

② 본 발명의 제2구현(페라이트 코어)

제7도는 수산화 알칼리금속 수용액에서 치수정확도가 ±2㎛ 이상으로 부식깊이가 최소한 10㎛인 자기 헤드용 페라이트 코어의 트랙을 가공하기 위한 조건의 범위를 나타내는 그래프이다. 레이저력 P가 50~1, 300mW의 범위에서 일정하게 유지되고, 주사속도 V가 2~150㎛/초의 범위인 경우, 상기 범위는 부식깊이가 10가 되도록 하는 주사속도의 상한을 나타내는 조건, V

0.34P + 13(직선) : 치수정확도가 ±2㎛가 되도록 하는 주사속도의 다른 상한을 나타내는 조건, V-0.17P+217(점선)에 의하여 한정된다.

제7도에서 주사속도가 2~115㎛/초의 범위이고 레이저력이 예를 들어, 300mW인 경우, 치수정확도가 ±2㎛ 이상으로 부식깊이가 최소한 10㎛가 되도록 할 수 있으며, 반면 레이저력이 동일하고, 주사속도가 115㎛/초와 165㎛/초와의 사이의 범위에 있을 경우에는 비록 치수정확도가 ±2㎛ 이상이 될 수 있을지라도, 부식깊이는 10㎛ 이하로 된다. 또한 주사속도가 165㎛/초를 초과하는 경우에는, ±2㎛ 이상의 치수정확도 조차도 얻을 수 없다. 또한 레이저력이 500mW이고 주사속도가 2~135㎛/초의 범위인 경우, 치수정확도가 ±2㎛ 이상으로 부식깊이가 최소한 10㎛으로 될수 있으며, 반면 동일한 레이저력에서 주사속도가 135-185㎛/초의 범위인 경우, 비록 최소한 10㎛의 부식속도가 얻어질 수 있을지라도, 치수정확도는 ±2㎛ 이상으로 될 수 있다. 또한 주사속도가 185㎛/초를 초과하는 경우에는 최소한 10㎛/초의 부식깊이 조차도 얻을 수 없다.

제7도에 나타낸 조건은 수산화칼륨 또는 수산화나트륨 수용액의 농도가 5~55중량%이고 집속 레이저빔 직경이 20㎛ 이하인 조건하에서의 실험결과에 기초로 한다. 그러나 레이저력과 주사속도가 일정하게 유지되는 경우에 조차도, 부식깊이 및 치수정확도는 농도와 집속 레이저빔 직경에 따라 변한다. 따라서 소정의 부식깊이 및 치수정확도를 획득하는 적당한 조건은 상기 제7도에 나타낸 범위에서 선택되어 소정의 농도와 집속 레이저빔을 얻도록 해야 한다.

특히, 집속 레이저빔 직경이 감소되는 경우, 레이저력이 감소되어 레이저빔의 열로 인한 용융물이 수산화칼륨 또는 수산화나트륨과의 화학반응으로 인한 반응물의 양을 초과하지 않도록 하는 것이 바람직하다. 반대로 집속 레이저빔 직경이 증대되는 경우에는, 레이저력이 증가되어 레이저 유기 부식이 효과적으로 발생되도록 하는 것이 바람직하다.

제8도에서, 제1도에서 나타낸 장치를 사용하여 수행한 실험결과를 나타내며, 여기서 액체 높이는 500㎛, 집속 레이저빔 직경은 11㎛, 수산화칼륨 수용액의 농도는 10,20,30,40 및 50중량%로 다양하다. 직선은 부식깊이가 10㎛로 되도록 하는 주사속도의 상한을 나타내며, 점선은 치수정확도가 ±2㎛로 되도록 하는 다른 상한을 나타낸다. 레이저력과 주사속도가 일정하게 유지되는 경우에, 농도가 커짐에 따라 부식깊이는 증가하고, 반면 농도가 30중량% 보다 크거나 작아짐에 따라 치수정확도는 감소하게 된다.

부식깊이와 치수정확도의 상한은 농도에 의존하기 때문에, 가공조건의 적당한 범위는 변한다고 생각된다.

예를들어, 레이저력이 700mW이고 주사속도가 10㎛/초인 경우에 30중량%의 농도에서 ±2㎛ 이상의 치수정확도로 부식깊이가 최소한 10㎛가 되도록 할 수 있으며, 한편 20중량%의 농도에서 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 없다. 또한 농도가 40중량%인 경우에 조차도 ±2㎛ 이상의 치수정확도는 얻을 수 없다.

제9도는 집속레이저빔 직경이 11㎛이고, 레이저력 550mW에 일정하게 유지되며, 수산화칼륨 수용액의 농도가 변화하는 경우에 치수정확도가 ±2㎛ 이상으로 되지 않는 주사 속도를 나타내는 그래프이다. ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻기 위한 주사속도의 변위가 농도에 의존한다는 것을 알 수 있다. 집속레이저빔 직경이 11㎛이고 레이저력이 550mW인 경우, 20-40중량%의 범위인 수산화칼륨의 농도는 ±2㎛인 치수정확도를 얻을 수 있는 주사속도의 범위를 최대화한다.

제8도 및 제9도는 집속레이저빔 직경이 11㎛인 경우, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 최소한 10㎛의 부식 깊이를 얻기 위한 가공 조건의 범위는 레이저력이 300-1000㎛, 주사속도가 2~20㎛/초인 것을 나타낸다.

제10도는 10,20,30,40 및 50중량%의 수산화칼슘 수용액의 농도를 변화시키면서, 집속빔 직경이 4㎛이고 액체 높이가 500㎛인 레이저빔으로 수행한 실험결과를 나타내는 그래프이다. 제10도에서 직선은 부식깊이가 10㎛가 되도록 하는 주사속도의 상한을 나타내면, 점선은 치수정확도가 ±2㎛가 되도록 하는 다른 상한을 나타낸다. 제6도에서 레이저력과 주사속도가 일정하게 유지되는 경우, 농도가 커짐에 따라 부식깊이가 증가하고, 농도가 30중량% 이상 또는 이하로됨에 따라 치수정확도가 감소하게 된다는 것을 알 수 있다.

예를들면 레이저력이 500mW이고 주사속도가 40㎛/초인 경우, 치수정확도가 ±2㎛ 이상인 적어도 10㎛의 부식 깊이가 30중량%의 농도에서 얻어질 수 있으며, 반면 20 및 40중량%의 농도에서는 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 없다는 것을 알 수 있다. 레이저빔 직경이 4㎛일 경우, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 적어도 10㎛의 부식깊이를 얻기위한 가공조건의 범위는 레이저력이 200~1,000mW이고 주사속도는 2-650㎛/초이다.

제11도는 10,20,30,40 및 50중량% 수산화칼륨 수용액의 농도를 변화시키면서, 집속빔 직경이 2㎛이고 액체높이가 500㎛인 레이저빔으로 수행한 실험결과를 나타내는 그래프이다. 제11도에서 직선은 부식깊이가 20㎛가 되도록하는 주사속도의 상한을 나타내며, 점선은 치수정확도가 ±2㎛가 되도록 하는 다른 상한을 나타낸다. 제11도에서 레이저력과 주사속도가 일정하게 유지되는 경우, 농도가 커짐에따라 부식깊이가 증가하고, 농도가 30중량% 이상 또는 이하로됨에 따라 치수정확도가 감소하게 된다는 것을 알 수 있다.

예를들면 레이저력이 500mW이고 주사속도가 70㎛/초인 경우, 치수정확도가 ±2㎛ 이상인 적어도 20㎛의 부식깊이가 30중량%의 농도에서 얻어질 수 있으며, 반면 20 및 40중량%의 농도에서는 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 없다는 것을 알 수 있다. 레이저빔 직경이 2㎛일 경우, ±2㎛ 이상의 치수정확도를 적어도 20㎛의 부식깊이를 얻기위한 가공조건의 범위는 레이저력이 175-925mW이고 주사속도는 2-90㎛/초이다.

제12도는 10,20,30 및 40중량% 수산화나트륨 수용액의 농도를 변화시키면서, 집속빔 직경이 4㎛이고 액체 높이가 500㎛인 레이저빔으로 제1도에 나타낸 장치에서 수행한 실험결과를 나타내는 그래프이다. 제12도에서 직선은 부식깊이가 10㎛가 되도록 하는 주사속도의 상한을 나타내며, 점선은 치수정확도가 ±2㎛가 되도록하는 다른 상한을 나타낸다. 제12도에서 레이저력과 주사속도가 일정하게 유지되는 경우, 농도가 커짐에 따라 부식깊이가 증가하고, 농도가 20중량% 이상 또는 이하로 됨에 따라 치수정확도가 감소하게 된다는 것을 알 수 있다.

부식깊이와 치수정확도의 상한이 농도에 의존하므로 가공조건의 적당한 범위는 변화하는 것을 알 수 있다.

예를들면 레이저력이 500mW이고 주사속도가 95㎛/초인 경우, 치수정확도가 ±2㎛ 이상인 적어도 10㎛의 부식 깊이가 20중량%의 농도에서 얻어질 수 있으며, 반면 10중량%의 농도에서는 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 있다는 것을 알 수 있다. 또한 농도가 30중량%인 경우에는 ±2 이상의 치수정확도를 얻을 수 없다는 것을 알 수 있다.

제13도는 접속레이저빔 직경이 4㎛이고, 레이저력이 400mW에서 일정하게 유지되고 수산화나트륨 수용액의 농도가 변화하는 경우에 치수정확도가 ±2㎛ 이상이 되도록 하는 주사속도를 나타내는 그래프이다. ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻도록 하는 주사속도의 범위는 농도에 따라 변한다는 것을 알 수 있다. 집속레이저빔 결정이 4㎛이고 레이저력이 400mW인 경우 10 및 30중량% 사이의 수산화나트륨 수용액의 농도는 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 획득하는 주사속도의 범위를 극대화한다는 것을 알 수 있다. 제12도 및 제13도는 집속레이저빔이 4㎛인 경우, 치수정확도가 ±2㎛ 이상으로 부식깊이가 10㎛가 되도록하는 가공조건의 범위는 레이저력이 260-1,000mW이고 주사속도가 2-105㎛/초이다.

제14도는 10,20,30 및 40중량% 수산화나트륨 수용액의 농도를 변화시키면서, 집속빔 직경이 2㎛이고 액체 높이가 500㎛인 레이저빔으로 수행한 실험결과를 나타내는 그래프이다. 제14도에서 직선은 부식깊이가 20㎛가 되도록 하는 주사속도의 상한을 나타내며, 점선은 치수정확도가 ±2㎛가 되도록 하는 다른 상한을 나타낸다. 제14도에서 레이저력과 주사속도가 일정하게 유지되는 경우, 농도가 커짐에 따라 부식깊이가 증가하고, 농도가 30중량% 이상 또는 이하로 됨에 따라 치수정확도가 감소하게 된다는 것을 알 수 있다.

예를들면 레이저력이 400mW이고 주사속도가 40㎛/초인 경우, 치수정확도가 ±2㎛ 이상인 적어도 20㎛의 부식 깊이가 30중량%의 농도에서 얻어질 수 있으며, 반면 20 및 40중량%의 농도에서는 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 없다는 것을 알 수 있다. 레이저빔 직경이 2㎛일 경우, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 적어도 20㎛의 부식깊이를 얻기위한 가공조건의 범위는 레이저력이 150~525mW이고 주사속도는 2~55㎛/초이다.

③ 본 발명의 제3구현예(센더스트 코어)

제15도는 수산화알칼리금속 수용액에서 치수정확도가 ±2㎛ 이상으로 부식깊이가 최소한 10㎛인 자기 헤드용 센더스트 코어의 트랙을 가공하기 위한 조건의 범위를 나타내는 그래프이다. 레이저력 P가 50~1,000mW의 범위에서 일정하게 유지되고, 주사속도 V가 2~70㎛/초의 범위인 경우, 상기 범위는 부식깊이가 10㎛가 되도록 하는 주사속도의 상한을 나타내는 조건, V

0.1P+10(직선) : 치수정확도가 ±2㎛가 되도록 하는 주사속도의 다른 상한을 나타내는 조건, V

-0.18P+160(점선)에 의하여 한정된다.

제15도에서 알 수 있는 바와같이, 주사속도가 2~60㎛/초이고 레이저력을 예를들면, 500mW로 하면 ±2㎛ 이상의 치수정확도로 10㎛ 이상의 부식깊이를 획득할 수 있다. 한편, 동일 레이저력에서 주사속도를 60~88㎛/초 범위로 하면 ±2㎛ 이상의 치수정확도는 획득한 할 수 있을지라도 적어도 10㎛의 부식깊이는 얻을 수 없다. 더우기 주사속도를 88㎛/초 이상으로하면 치수정확도도 ±2㎛ 이상이 될 수 없음을 알 수 있다. 또한, 레이저력을 700mW로하고, 주사속도를 2~52㎛/초의 범위로 줄때도 ±2㎛ 이상의 치수정확도로 최소한 10㎛의 부식깊이를 얻을 수 있다. 한편, 동일 레이저력에서 주사속도를 52㎛/초에서 80㎛/초 범위로 하면 최소한 10㎛의 부식깊이는 얻을 수 있더라도 치수정확도는 ±2㎛ 이상으로 할 수 없다. 아울러 주사속도를 80㎛/초 이상으로 하면 최소한 10㎛의 부식깊이조차도 획득할 수 없음을 알 수 있다.

제15도에 도시된 조건은 집속레이저빔 직경이 20㎛ 이하이고 수산화나트륨 또는 수산화칼륨 수용액의 농도가 5~55중량%인 조건하에서의 실험결과를 기초에 두고 있다. 하지만 레이저력과 주사속도를 일정하게 유지하더라도 부식깊이와 치수정확도는 집속레이저빔의 직경과 상기 농도에 따라 변화한다. 따라서, 요구되는 부식깊이와 치수정확도를 얻기위한 적정조건은 접속레이저빔의 직경과 상기 농도를 고려햐여 제15도에 도시한 범위내에서 선택해야 한다.

특히, 센더스트는 열전도도가 높기 때문에 본 실험의 열편차를 줄이기 위해서는 집속레이저빔의 직경을 줄이는 것이 바람직하다.

제16도에서, 액체레벨을 500㎛, 집속레이저빔을 11㎛로 하고 수산화칼륨 수용액의 농도를 10,20,30,40 및 50중량%로 변화시킨 제1도에 도시한 장치를 사용한 실험의 결과치가 도시된다. 직선은 10㎛의 부식깊이를 얻기 우한 주사속도의 상한을 기술하고, 점선은 ±2㎛의 치수정확도를 얻기위한 상한을 기술한 것이다. 레이저력과 주사속도가 일정하게 유지되면 수산화나트륨 또는 수산화칼륨 수용액의 농도가 증가함에 따라 부식깊이가 증가하는 반면에, 수산화나트륨 또는 수산화칼륨 수용액의 농도를 30중량% 이상 또는 그 이하로 하면 치수정확도는 감소하게 된다.

부식깊이와 치수정확도의 상한은 용액의 농도에 따라 달라지므로, 가공조건의 적정범위는 변화함을 알 수 있다.

예를들면, 레이저력을 625mW로 하고 주사속도를 10㎛/초로 할때 30중량%의 농도에서 ±2㎛ 이상의 치수정확도로 최소한 10㎛의 부식깊이를 획들할 수 있으며, 반면에, 20중량%의 농도에서는 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 없음을 알 수 있다. 또한 40중량%의 농도에서도 ±2㎛ 이상의 치수정확도는 획득될 수 없다.

제17도는 ±2㎛ 이상의 치수정확도가 획득되고 집속레이저빔의 직경을 11㎛로하고 레이저력을 550mW로 일정하게 유지하고 수산화칼륨 수용액의 농도를 변화시킨 주사속도의 범위를 도시한 그래프이다. ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 있는 주사속도의 범위는 수용액의 농도에 따라 달라짐을 알 수 있다. 또, 집속레이저빔의 직경을 11㎛로하고 레이저력을 550mW로 일정하게 유지하고 수산화칼륨 수용액의 농도를 20에서 40중량% 이내로 하면 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 있는 주사속도의 범위를 극대화할 수 있다.

제16,17도에서, 집속레이저빔의 직경을 11㎛로 할때, ±2㎛ 이상의 치수정확도도 10㎛의 부식깊이를 획득하기 위한 가공조건의 범위는 레이저력은 150~750mW이고 주사속도 2~25㎛/초이다.

제18도는 접속 레이저빔의 직경을 4㎛, 액체레벨을 500㎛로 하고 수산화칼륨 수용액의 농도를 10,20,30,40 및 50중량%로 변화시켜 실행한 실험결과를 도시한 그래프이다. 직선은 10㎛의 부식깊이를 획득할 수 있는 주사속도의 상한이고, 점선은 ±2㎛의 치수정확도를 얻을 수 있는 다른 상한을 기술한 것이다. 제18도에서, 레이저력과 주사속도를 일정하게 할 경우, 부식깊이는 수용액의 농도가 상승함에 따라 증가하지만, 치수정확도는 수용액의 농도가 30중량% 이상 또는 이하가 되면 감소한다.

예를들면, 레이저력이 600mW, 주사속도가 40㎛/초 일때, 30중량%의 농도에서 ±2㎛ 이상의 치수정확도로 10㎛ 이상의 부식깊이를 획득할 수 있는 반면, 20 및 40 중량%의 농도에서 ±2㎛ 이상의 치수정확도는 획득될 수 없음을 알 수 있다. 집속레이저빔의 직경을 4㎛로 할 경우, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 10㎛ 이상의 부식깊이를 획득하기 위한 가공조건은 레이저력이 100~875mW 주사속도가 2~50㎛/초이다.

제19도는 집속레이저빔의 직경은 2㎛, 액체레벨을 500㎛로 하고 수산화칼륨 수용액의 농도를 10,20,30,40 및 50중량%로 변화시켜 실행한 실험결과를 도시한 그래프이다. 직선은 10㎛의 부식깊이를 획득할 수 있는 주사속도의 상한이고, 점선은 ±2㎛ 치수정확도를 얻을 수 있는 다른 상한을 기술한 것이다. 제19도에서 레이저력과 주사속도를 일정하게 유지하면 수용액의 농도가 상승함에 따라 부식깊이가 증가하고 반면에, 치수정확도는 수용액의 농도가 30중량% 이상 또는 이하가 되면 감소됨을 알 수 있다.

예를들면 레이저력이 550mW이고, 주사속도가 40㎛/초 일때, 치수정확도가 ±2㎛ 이상인 10㎛ 이상의 부식깊이를 획득할 수 있는 반면, ±2㎛ 이상의 치수정확도는 20 및 40중량%의 농도일 경우에는 획득할 수 없음을 알 수 있다. 집속레이저빔의 직경이 2㎛일 경우, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 10㎛ 이상의 부식깊이를 획득하기 위한 가공조건은 레이저력이 10~700mW이고 주사속도는 2-55㎛/초이다.

제7도~14도 및 제15~19도에서 알 수 있는 바와같이 가공조건의 범위는 집속레이저빔의 직경과 알칼리 금속 수산화물 수용액의 농도에 따라 달라진다. 따라서 자기헤드용 페라이트 및 센더스트 트랙 가공조건을 결정하기 위한 척도는, 부식깊이를 증가시키기 위해 (1)레이저력의 증가 (2)주사속도 감소 (3)수용액의 농도를 증가시키며, 치수정확도를 개선하기 위해서 (1)의 레이저력 감소 (2)주사속도 감소 (3)수용액의 농도를 20-40중량%로 되게해야 한다. 또한 가공홈의 가로세로비(부식깊이/부식폭)를 증가시키려면 집속레이저빔의 직경을 감소시키는 것이 바람직하다.

페라이트와 센더스트가 혼합된 혼합물질을 가공하는 경우는 페라이트와 센더스트 간의 부식율 차가 고려되어져야만 한다. 이 부식율차는 치수정확도에 직접적인 영향을 미치기 때문에 페라스트와 센더스트 사이의 가공홈들의 폭차는 2㎛ 이하가 좋고 더욱 바람직하기로는 1㎛ 이하인 것이 좋다.

페라스트의 열전도도는 센더스트의 그것보다 낮으면서 페라이트 가공홈들의 폭은 동일 레이저력으로 가공된 경우 센더스트의 그것보다 더 크다. 또한, 알칼리금속 수산화물에 대한 부식율에 대해서, 센서스트는 페라이트보다 높기 때문에 센더스트의 가공된 홈들의 폭은 센더스트와 페라이프가 동일한 농도의 부식액에서 가공된 경우에 더욱 커진다. 상기한 두관계의 조합은 페라이트와 센더스트의 가공홈의 폭을 동일하게하여 가공하도록 허락한다.

④본 발명의 제4구현예(페라스트/센더스트혼합 코어)

제20도는 페라이트 및 센더스트로 구성된 자기 헤드상에, 알칼리금속 수산화물 수용액에서, ±2㎛ 이상의 치수정확도를 최소한 10㎛의 부식깊이를 갖는 트랙을 가공하기 위한 조건의 범위를 도시한 그래프이다. 레이저력 P이 50~1,000mW의 범위에 일정하게 유지되고, 주사속도 V가 2~125㎛/초의 범위에 있을때, 상기 범위는 10㎛의 부식깊이를 얻기 위하여 주사속도의 상한을 규정하는 조건 : V

0.34P+13(직선)과, ±2㎛의 치수정확도를 얻기 위한 주사속도의 다른 상한을 규정하는 조건 : V

-0.19P+190(점선)에 의하여 정의된다고 이해할 수 있다.

제20도로부터, 주사속도가 2~115㎛/초의 범위에 있고, 레이저력이 예를들면 300mW일때 ±2㎛ 이상의 치수정확도로 최소한 10㎛의 부식깊이를 얻을 수 있는 반면에, 주사속도가 115㎛/초 이상 130㎛/초 사이의 범위에 있을때, 동일한 레이저력에서 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 있지만, 적어도 10㎛의 부식깊이를 얻을 수 없다는 것을 이해할 수 있다. 더우기, 주사속도가 130㎛/초를 초과할때 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 없다고 이해된다. 더우기, 레이저력이 400mW이고, 주사속도가 2~115㎛/초의 범위에 있을때, ±2㎛ 이상의 치수정확도를 적어도 10㎛의 부식깊이를 얻을 수 있는 반면에, 주사속도가 115㎛/초 이상 150㎛/초 사이의 범위에 있을때, 동일한 레이저력에서 적어도 10㎛의 부식깊이를 얻을 수 있지만, ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 없다는 것을 이해할 수 있다. 더우기, 주사속도가 150±/초를 초과할때 적어도 10㎛의 부식깊이를 얻을 수 없다고 이해된다.

상기 제20도에 도시된 조건은 수산화칼륨 또는 수산화나트륨 수용액의 농도가 5~55중량%이고, 집속레이저빔 직경이 20㎛ 이상의 조건 아래에서의 실험결과에 기초하고 있다. 그러나, 레이저력 및 주사속도가 일정하게 유지되는 경우에, 부식 깊이 및 치수정확도는 농도 및 집속레이저빔 직경에 따라 변한다. 이에 따라, 농도 및 집속레이저빔 직경을 고려하여 목표의 부식깊이 및 치수정확도를 획득하기 위한 적절한 조건을 상기 제20도에 도시된 범위에서 선택하여야 한다.

제21도에는 제1도에 도시된 장치를 사용하여 수행된 실험결과가 도시되어 있고, 여기서 액체레벨은 500㎛이고, 집속레이저빔 직경은 11㎛이며, 수산화칼륨 수용액은 10,20,30,40 및 50중량%로 변한다. 집속 레이저빔이 11㎛일 때, 10중량%의 농도는 페라이트 및 센더스트를 동일한 홈폭으로 가공되도록 한다. 직선은 10㎛의 부식깊이를 얻기위한 주사속도의 상한을 규정하고, 점선은 ±2㎛의 치수정확도를 얻기위한 다른 상한치를 규정한다. 쇄선은 2㎛를 초과하지 않는 페라이트 및 센더스트 사이의 부식 홈폭의 차이를 얻기위한 제3의 상한을 규정한다. 예를들면, 레이저력이 550mW일때, 5㎛/초의 주사속도에서 적어도 10㎛의 부식깊이를 얻을 수 있는 반면에 10㎛/초의 주사속도에서는 적어도 10㎛의 부식깊이를 얻을 수 있다. 선택적으로, 레이저력이 650mW일때, 5㎛/초의 주사속도에서 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 있는 반면에, 10㎛/초의 주사속도에서는 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 없다는 것을 알 수 있다.

더우기, 레이저력이 475mW일때, 2㎛/초의 주사속도에서 가공된 페라이트 및 센더스트 사이의 가공된 홈폭의 차이는 2㎛ 이하인 반면에, 주사속도가 5㎛/초일때에는 2㎛ 이하인 가공 홈폭을 얻을 수 없다. 집속레이저빔 직경이 11㎛일때, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 적어도 10㎛의 부식깊이를 얻기위한 가공조건의 범위는 레이저력은 450~750mW이고 주사속도는 2~10㎛/초이다.

제22도는 액체레벨이 500㎛이고, 집속레이저빔 직경은 4㎛이며, 수산화칼륨 수용액은 10,20,30,40 및 50중량%로 변하는 조건아래에서 수행된 실험결과를 도시한다. 제22도에서, 직선은 10㎛의 부식깊이를 얻기위한 주사속도의 상한을 규정하고, 점선은 ±2㎛의 치수정확도를 얻기위한 다는 상한치를 규정한다. 쇄선은 2㎛를 초과하지 않는 페라이트 및 센더스트 사이의 부식 홈폭의 차이를 얻기위한 제3의 상한을 규정한다. 집속레이저빔 직경이 4㎛ 일 때, 10중량% 및 40중량% 사이에 있는 농도는 페라이트 및 센더스트를 동일한 홈폭으로 가공되도록한다.

레이저력 및 주사속도가 일정하게 유지될때, 부식깊이는 농도가 더 높아짐에 따라 증가하고, 치수정확도는 농도가 30중량%보다 높거나 낮게될때 감소한다.

예를들면, 레이저력이 400mW이고 주사속도가 30㎛/초일때, 30중량%의 농도에서 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 최소한 10㎛의 부식깊이를 얻을 수 있는 반면에, 20중량% 및 40중량%의 농도에서는 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 없다는 것을 알 수 있다. 집속레이저빔 직경이 4㎛일때, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 최소한 10㎛의 부식깊이를 얻게하기 위한 가공조건의 범위는 레이저력은 275~1,000mW이고 주사속도는 2~65㎛/초이다.

제23도는 액체레벨이 500㎛이고, 집속레이저빔 직경은 2㎛이며, 수산화칼륨 수용액은 10,20,30,40 및 50중량%로 변하는 조건아래에서 수행된 실험결과를 도시한다. 제23도에서, 직선은 20㎛의 부식깊이를 얻기 위한 주사속도의 상한을 규정하고, 점선은 ±2의 치수정확도를 얻기위한 다른 상한치를 규정한다. 쇄선은 2㎛ 미만의 페라이트 및 센더스트 사이의 부식 홈폭의 차이를 얻기위한 제3의 상한을 규정한다. 제23도로부터 집속레이저빔 직경이 2㎛일때, 30중량% 및 50중량% 사이에 있는 농도는 페라이트 및 센더스트 동일한 홈폭으로 가공되도록한다.

더우기, 레이저력 및 주사속도가 일정하게 유지될때, 부식깊이는 농도가 더 높아짐에 따라 증가하고, 반면에 치수정확도는 농도가 30중량%보다 높거나 낮게될때 감소함을 알 수 있다.

예를들면, 레이저력이 600mW이고 주사속도가 50㎛/초일때, 30중량%의 농도에서 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 갖는 적어도 20㎛의 부식깊이를 얻을 수 있는 반면에, 40중량% 및 50중량%의 농도에서는 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 없다는 것을 알 수 있다. 집속레이저빔 직경이 2㎛일때, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 최소한 20㎛의 부식깊이를 얻기위한 가공조건의 범위는 레이저력이 175~925mW이고 주사속도는 2~90㎛/초이다.

제24도는 액체레벨이 500㎛이고, 집속레이저빔이 직경은 4㎛이며, 수산화나트륨수용액은 10,20,30 및 40중량%로 변하는 조건아래에서 수행된 실험결과를 도시한다. 제24도에서, 직선은 10㎛의 부식깊이를 얻기위한 주사속도의 상한을 규정하고, 점선은 ±2㎛의 치수정확도를 얻기위한 다른 상한치를 규정하며, 이는 단지 페라이트 및 센더스트 사이의 부식 홈폭의 차이가 2㎛를 초과하지 않음을 나타내고 있다. 제24도로부터 집속레이저빔 직경이 4㎛일때, 10중량% 및 20중량% 사이에 있는 농도는 페라스트 및 센더스트를 동일한 홈폭으로 가동되도록 한다.

더우기, 레이저력 및 주사속도가 일정하게 유지될때, 부식깊이는 농도가 더 높아짐에 따라 증가한다.

예를들면, 레이저력이 600mW이고 주사속도가 50㎛/초일때 20중량%의 농도에서 ±2㎛ 이상의 치수정확도로 적어도 10㎛의 부식깊이를 얻을 수 있는 반면에, 10중량%의 농도에서는 적어도 10㎛의 부식깊이를 얻을 수 없다는 것을 알 수 있다. 집속레이저빔 직경이 4㎛일때, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 적어도 10㎛의 부식깊이를 얻기위한 가공조건의 범위는 레이저력은 175~925mW이고 주사속도 2~105㎛/초이다.

제25도는 액체레벨이 500㎛이고, 접속 레이저빔 직경은 2㎛이며, 수산화나트륨 수용액은 10,20,30 및 40중량%로 변하는 조건아래에서 수행된 실험결과를 도시한다. 제25도에서 직선은 20㎛의 부식깊이를 얻기 위한 주사속도의 상한을 규정하고, 점선은 ±20㎛의 치수정확도를 얻기 위한 다른 상한을 규정하며, 이는 단지 페라이트 및 센더스트 사이의 부식 홈폭의 차이가 2㎛를 초과하지 않음을 나타내고 있다. 제25도로부터 접속 레이저빔 직경이 2㎛일 때, 10중량% 및 20중량% 사이에 있는 농도는 페라이트 및 센더스트를 동일한 홈폭으로 가공되도록 한다.

더우기, 레이저력 및 주사속도가 일정하게 유지될 때, 치수정확도는 농도가 30중량%까지 증가할 때 더 높아진다.

예를들면, 레이저력이 400mW이고 주사속도가 40㎛/초일 때, 30중량%의 농도에서 ±2㎛ 이상의 치수정확도로 적어도 20㎛의 부식 깊이를 얻을 수 있는 반면에, 10중량% 및 20중량%의 농도에서는 ±2㎛ 이상의 치수정확도를 얻을 수 없다는 것을 알 수 있다. 접속 레이저빔 직경이 2㎛일 때, ±2㎛ 이상의 치수정확도로 적어도 20㎛의 부식깊이를 얻기 위한 가공조건의 범위는 레이저력은 150~525mW이고 주사속도는 2~55㎛/초이다.

제20~25도에 도시된 바와같이, 가공조건의 범위는 접속 레이저빔 직경과 수산화칼륨 또는 수산화나트륨과 같은 알칼리 금속 수산화물 수용액의 농도에 따른다는 것을 알 수 있다. 페라이트 및 센더스트로 구성된 자기헤드용 혼합코어의 트랙을 가공하기 위한 조건을 결정하기 위한 척도는 부식깊이를 증가시키기 위하여, (1) 레이저력을 증가시키고, (2) 주사속도를 감소시키고, 및 (3) 농도를 증가시키며, 치수정확도를 개선하기 위하여는 (1) 레이저력을 감소시키고, (2) 주사속도를 감소시키고, 및 (3) 10~ 40중량%의 농도를 취하는 것이다. 더우기, 가공홈의 가로 세로비(부식깊이/부식폭)를 증가시키기 위하여, 접속 레이저빔 직경은 감소되도록 권장된다. 더우기, 페라이트 및 센더스트의 가공홈 폭을 동일하게 하기 위하여, 집속레이저빔은 감소되도록 권장되고, 집속 직경이 감소할 때 농도를 증가시키는 것이 바람직하다. 추가로, 레이저력이 증가할 때, 농도 또한 증가하는 것이 바람직하다.

상기 설명한 것처럼, 소망의 부식깊이, 치수정확도, 부식 속도, 부식패턴 등을 고려하면서, 레이저력, 주사속도, 집속레이저빔 직경 및 부식용액의 농도를 합성적으로 판단하기 위한 적절한 가공조건을 결정할 필요가 있다.

(3) 자기 헤드용 코어의 생성

제26a~26d도는 본 발명의 제1실시예가 VTR 자기헤드용 코어의 생성에 적용되는 경우의 순서를 도시하는 흐름도를 나타낸다. 제26a도상에 도시된 것과 같이 최초에는 코일 회전호울(12)을 갖는 페라이트 바아(11a,11b)는 유리-접착제, 고상반응 등에 의해 자기극(11)을 갖는 간극 바아(4)를 형성하도록 상호 접착되어 있다. 그 다음, 준비된 간극바아(4)는 제1도에 도시된 장치에 설정되고, 트랙 폭(13)을 한정하는 복수의 홈(14)들은 제26b도에 도시된 바와같이 레이저력은 400mW이고, 주사속도는 20m/초이며, 집속레이저빔 직경은 10㎛이고, 인산수용액의 농도가 77 중량%이며, 액체 레벨이 500㎛인 조건하에서, 간극 바아(4)상에 가공된다. 그후, 제26c도에 도시한 것처럼, 유리(15)는 소정의 크기로 연마하여 가공홈(14)에 묻혀 있다. 끝으로, 소정의 폭을 갖는 코어들은 처리된 간극 바아로부터 절단된다. 따라서, 제26d도에 도시된 바와같이 VTR 자기 헤드용 코어를 얻는다.

제27a~27g도는 페라이트 및 센더스트로 구성된 본 발명의 제4실시예가 VTR 자기 헤드용 코어의 생성에 적용되는 경우의 순서를 도시하는 흐름도를 나타낸다. 제27a도 상에 도시된 것과 같이 최초에는 코일 회전호울(12)에 대응하는 홈(12')을 갖는 페라이트 바아(11a,11b)를 준비한다. 제27b도에 도시한 것처럼, 5㎛의 두께의 센더스트 막(18)을 페라이트 바아(11a 및 11b)의 표면에 맞대어 형성시킨다. 더우기, 제27c도에 도시한 것처럼, 소정의 자기 간극과 동일한 두께를 갖도록 막상에 자기 간극을 한정하는 이산화규소등과 같은 비자성층(19)을 형성시킨다. 그 다음, 제27d도에 도시한 것처럼, 자기 간극을 갖는 간극 바아를 형성하도록, 유리-납땜에 의해 이들 바아들을 상호 결합시키고 접착시킨다. 그 후, 준비된 간극 바아(4)를 제1도에 도시한 장치에 설정하고, 트랙폭을 한정하는 복수의 홈(14)들을 제27e도에 도시된 바와같이 레이저력은 500mW이고, 주사속도는 30m/초이며, 집속레이저빔 직경은 4㎛이고, 수산화칼륨 수용액의 농도가 30중량%이며, 액체 레벨이 500㎛인 조건하에서 간극 바아(4)상에 가공시킨다. 그후, 제27f도에 도시한 것처럼, 유리(15)는 소정의 크기로 연마하여 가공홈(14)에 묻혀 있다. 끝으로, 소정의 폭을 갖는 코어들은 처리된 간극 바아로부터 절단된다. 따라서, 제27g도에 도시된 바와같이 VTR 자기헤드용 코어를 얻는다.

이렇게 얻은 자기헤드(16)용 코어상에, 미세결합 또는 고화된 용융물질이 없는 고정확도를 갖는 트랙을 고신뢰도를 갖도록 형성시킨다.

부가적으로, 본 발명은 VTR 자기 헤드용 코어의 제조방법에 한정되지 않고, RDD,FDD 등과 같은 다양한 자기 헤드용 코어에 적절하게 적용될 수 있다. 더우기, 본 발명은 트랙가공에 제한되지는 않고, 또한 페라이트 재료, 센더스트 재료 및 코일 회전호울, 공기 유지 표면 가공 등과 같은 페라이트 및 센더스트의 추가합성재료의 여러가지 처리에 적절히 사용될 수 있다.

상기 설명한 본 발명의 생성방법에 의하면, 소정농도의 인산 또는 알칼리금속 수산화물 수용액에서 소정의 주사속도에서 소정의 레이저빔을 조사함으로써, 열에 의해 변성 또는 스트레인 과정을 일으키지 않고 또한 미세결함도 형성하지 않고서 고정확도로 간극 바아 상에 좁은 폭을 갖는 트랙을 형성할 수 있으며, 고신뢰도를 갖는 자기 헤드용 코어를 생성할 수 있다.

Claims (4)

1. 자기 헤드용 코어를 생성하는 방법에 있어서, 자기 헤드용 코어의 트랙폭은 레이저 가공에 의하여 한정되며, 그 개선책으로서 레이저-유기 부식에 의해 가공되고, 50㎛보다 크지 않은 집속레이저빔 직경 및 50-1900mW의 레이저력(P)을 갖는 레이저빔은 주사속도가 다음의 2개의 조건 :

   V

   

   0.31P+34 및

   V

   

   -0.14P+271

   을 동시에 만족시키는 2㎛/초 및 200㎛/초 사이의 범위의 주사속도(V)에서 10~90중량%의 인산 수용액에서 조사되는 것을 특징으로 하는 자기 헤드용 코어를 생성하는 방법.
2. 페라이트로 이루어진 자기 헤어용 코어를 생성하는 방법에 있어서, 자기헤드용 코어의 트랙폭은 레이저 가공에 의해 한정되며, 그 개선책으로서 레이저-유기부식에 의해 가공되고, 20㎛ 이상의 집속레이저빔 직경 및 50~1300mW의 레이저력(P)을 갖는 레이저빔은 주사속도가 다음의 2개의 조건 :

   V

   

   0.34P+13 및

   V

   

   -0.17P+217

   을 동시에 만족시키는 2㎛/초 및 150㎛/초 사이의 범위의 주사속도(V)에서 45~55중량%의 알칼리 금속 수산화물 수용액에서 조사되는 것을 특징으로 하는 자기헤드용 코어를 생성하는 방법
3. 센더스트로 이루어진 자기 헤드용 코어를 생성하는 방법에 있어서, 자기 헤드용 코어의 트랙폭은 레이저 가공에 의해 한정되며, 그 개선책으로서 레이저-유기 부식에 의해 가공되고, 20㎛보다 크지 않은 접속 레이저빔 직경 및 50~1000mW의 레이저력(P)를 갖는 레이저빔은 주사속도가 다음의 2개의 조건 :

   V

   

   0.1P+10 및

   V

   

   -0.18P+180

   을 동시에 만족시키는 2㎛/초 및 70㎛/초 사이의 범위의 주사속도(V)에서 5~55중량%의 알칼리금속수산화물 수용액에서 조사되는 것을 특징으로 하는 자기 헤드용 코어를 생성하는 방법.
4. 페라이트 및 센더스트로 이루어진 자기 헤드용 혼합코어를 생성하는 방법에 있어서, 자기 헤드용 코어의 트랙폭은 레이저 가공에 의해 한정되며, 그 개선책으로서 레이저-유기 부식에 의해 가공되고, 20㎛ 이상의 접속 레이저빔 직경 및 50-1000mW의 레이저력(P)을 갖는 레이저빔은 주사속도가 다음의 2개의 조건 :

   V

   

   0.34P+13 및

   V

   

   -0.19P+190

   을 동시에 만족시키는 2㎛/초 및 130㎛/초 사이의 범위의 주사속도(V)에서 5~55중량%의 알칼리 금속 수산화물 수용액에서 조사되는 것을 특성으로 하는 자기 헤드용 코어를 생성하는 방법.

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