KR950034580A - 플라즈마에칭 반응기에 사용되는 진공밀봉용 보호접관 - Google Patents

플라즈마에칭 반응기에 사용되는 진공밀봉용 보호접관 Download PDF

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Abstract

플라즈마에칭 반응기에 사용되어서 반응챔버의 내부를 외부의 환경으로 부터 밀봉시키는 본 발명의 밀봉조립체는, 고강도 및 고온방식성을 갖춘 열가소성 재료로 사출성형등에 의해서 제조된 보호접관을 포함하고 있으며, 이러한 보호접관의 내부에 설치된 탄성중합체 가스켓이 제2탄성중합체 가스켓과 조합하여 작용함으로써, 각각 실리콘 및 석영으로 제조된 2개의 단단한 표면들 사이로 기밀구조의 밀봉을 제공한다.

Description

플라즈마에칭 반응기에 사용되는 진공밀봉용 보호접관
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 플라즈마에칭 반응기의 실리콘 천장과 석영 측벽 사이에 설치된 본 발명의 밀봉조립체를 도시한 확대부분횡단면도이다, 제3a도는 제3도의 밀봉조립체내에 설치되어 본 발명의 보호접관의 확대횡단면도이다.

Claims (18)

  1. 2개의 단단한 표면들 사이로 밀봉을 제공하는 밀봉조립체에서 탄성중합체 제1가스켓과 함께 사용되어 상기 제1가스켓을 부식성 환경으로 부터 보호하는 보호접관으로서, 상기 부식성 환경에 대해서 상기 제1가스켓보다도 방식성이 강하며 어떠한 금속 충전물도 함유하고 있지 않은 열가소성 재료로 구성된 보호접관.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보호접관이 상기 열가소성 재료로 이루어진 제1부재를 포함하고 있으며, 상기 제1부재가 그 횡단면상으로 서로 마주하게 설치된 2개의 핑거에 의해서 상기 제1가스켓과 접촉하도록 형성되어 있는 개방단부를 갖추고 있으며, 상기 2개의 핑거가 상기 2개의 횡지 사이로 설치된 상기 보호접관의 제2부재와 접촉할때 상기 2개의 단단한 표면쪽으로 벌려지도록 바깥쪽으로 힘을 받는 보호접관.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제2부재가 탄성중합체 제2가스켓으로 구성되어 있는 보호접관.
  4. 제2항에 있어서, 상기 보호접관이 사출성형으로 제조된 보호접관.
  5. 제1항에 있어서, 상기 열가소성 재료가 폴리에틸에테르케톤, 폴리이미드, 폴리테닐렌 황화물 및 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어진 그룹으로 부터 선택된 보호접관.
  6. 제4항에 있어서, 상기 열가소성 재료가 폴리에틸에테르케톤으로 구성되고, 상기 보호접관이 상기 열가소성 재료로 이루어진 제1부재를 포함하고 있으며, 상기 제1부재가 그 횡단면상으로 서로 마주하게 배열된 2개의 핑거에 의해서 형성되어 있는 개방단부를 갖추고 있으며, 상기 2개의 핑거가 상기 2개의 핑거 사이로 설치된 상기 보호접관의 제2부재와 접촉할 때 상기 2개의 단단한 표면쪽으로 벌려지도록 바깥쪽으로 힘을 받는 보호접관.
  7. 보호접관 으로서, 폴리에테르에테르케톤, 폴리이미드, 폴리테닐렌 황화물, 및 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어진 그룹으로 부터 선택된 재료로 이루어진 환형 부재를 포함하고 있으며, 상기 환형부재의 반경방향 제1단부에는 환형의 단단한 부분이 그리고 반경방향 제2단부에는 서로 마주하는 한쌍의 환형 핑거가 각각 제공되어 있으며, 상기 한쌍의 환형핑거가 상기 단단한 부분의 가단부와 연결되어 있으며 부분적으로 환형공간을 둘러싸고 있는 보호접관.
  8. 제7항에 있어서, 상기 선택된 재료가 폴리에테에테르케톤으로 구성된 보호접관.
  9. 제8항에 있어서, 상기 환형공간 안으로 삽입되어서 상기 한쌍의 환형 핑거를 바깥쪽으로 밀어주도록 작용하는 O자링을 더 포함하고 있는 보호접관.
  10. 제7항에 있어서, 상기 환형부재가 어떠한 금속 충전물도 함유하고 있지 않은 보호접관.
  11. 챔버의 내부에 기밀구조를 형성시키도록 2개의 인접한 표면들 사이로 밀봉을 제공하는데 사용되는 밀봉조립체로서, 탄성중합체 제1가스켓, 및 상기 제1가스켓과 상기 챔버의 내부사이로 설치된 보호접관을 포함하고 있으며, 상기 보호접관이 어떠한 금속 충전물도 함유하고 있지 않은 열가소성 재료로 구성되어 있는 밀봉조립체.
  12. 제11항에 있어서, 상기 보호접관이 폴리에테르에테르케톤, 폴리이미드, 폴리테닐렌 황화물, 및 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어진 그룹으로 부터 선택된 적어도 하나의 재료로 사출성형된 밀봉조립체.
  13. 제11항에 있어서, 상기 보호접관이 폴리에테르에테르케톤으로 사출성형된 밀봉조립체.
  14. 제11항에 있어서, 상기 보호접관이 그 횡단면상으로 개방단부 및 폐쇄단부를 갖추고 있고, 상기 개방단부가 상기 제1가스켓과 마주하여 있으며, 상기 개방단부가 서로 마주하는 2개의 핑거에 의해서 형성되어 있고, 상기 2개의 핑거가 상기 2개의 핑거 사이로 설치된 탄성중합체 제2가스켓과 마찰식으로 접촉할때 상기 2개의 인접한 표면들쪽으로 벌려지도록 바깥쪽으로 밀려져서 기밀구조의 밀봉을 제공하는 밀봉조립체.
  15. 진공챔버로서, 상기 챔버의 내부의 상부 경계를 형성하도록 하향의 제1표면을 갖추고 있는 단단한 천장부재와, 상기 천장부재의 상기 제1표면과 밀봉가능하게 접촉하도록 상향의 표면을 갖추고 있는 단단한 측벽부재와, 상기 제1 및 제2표면 사이로 압축에 의해서 결합되는 탄성중하체 제1밀봉부재와, 그리고 상기 제1밀봉부재와, 상기 챔버의 내부사이로 설치되어서 상기 제1 및 제2표면사이로 압축에 의해서 결합되는 보호접관을 포함하고 있는 진공챔버.
  16. 제15항에 있어서, 상기 보호접관이 그 횡단면상으로 상기 제1밀봉부재와 마주하는 개방단부를 갖추고 있고, 상기 개방단부가 서로 마주하는 2개의 핑거에 의해서 형성되어 있으며, 상기 2개의 핑거가 상기 2개의 핑거의 사이로 설치된 탄성중합체 제2가스켓과 마찰식으로 접촉할때 상기 제1 및 제2표면들쪽으로 벌려지도록 바깥쪽으로 힘을 받는 진공챔버.
  17. 제15항에 있어서, 상기 진공챔버가 플라즈마에칭 챔버인 진공 챔버.
  18. 제15항에 있어서, 상기 천장부재가 실리콘으로 제조되어 있고, 상기 측벽부재가 석영으로 제조되어 있는 진공챔버.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950010293A 1994-04-29 1995-04-28 플라즈마에칭 반응기에 사용되는 진공밀봉용 보호접관 KR950034580A (ko)

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