KR950021905A - 다공질 규소를 이용한 광 펌핑 수직공진형 표면방출 반도체 레이저 소자 - Google Patents

다공질 규소를 이용한 광 펌핑 수직공진형 표면방출 반도체 레이저 소자 Download PDF

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정태형
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Abstract

본 발명은 반도체 레이저 소자 제조에 있어서 다공질 규소를 이용한 광 펌핑 수직공진형 표면방출 반도체 레이저 소자에 관한 것으로서, 다양한 파장영역에서 발광특성을 갖는 다공질 규소를 유전체의 브레그 반사판(4,5), 금속 거울층(6) 등을 이용하여 다공질 규소인 이득층(1)과 집적시키고, 난 반사를 막는 무 난반사층(2)으로 구성되어 가시광선을 포함하는 다양한 파장영역에서 레이저 발진특성을 제공함으로써 디스플레이 및 광 메모리등에 사용될 수 있는 핵심소자로서의 사용이 가능하다.

Description

다공질 규소를 이용한 광 펌핑 수직공진형 표면방출 반도체 레이저 소자
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 소자의 단면도.

Claims (3)

  1. 다공질 규소의 표면의 요철에 의한 난반사를 막기 위한 다결정 규소 이득층(4)과 상부 거울층으로 사용되는 제1유전체의 브레그 반사판(4)의 사이에 무난반사층(2)을 삽입하고, 상기 다공질 규소인 이득층(1)으로부터 나온 빛의 반사율을 높이기 위해 거울층으로 사용되는 제2유전체의 브레그 반사판(5)과 이 제2유전체의 브레그 반사판(5) 밑에 반사율을 증가시키기 위한 금속 거울층(6)에서 일어나는 각 반사파의 위상을 일치하기 위한 위상일치층(7)을 상기 제2유전체의 브레그 반사판(5)과 상기 금속 거울층(6)사이에 삽입시키어 구성시킨 것을 특징으로 하는 다공질 규소를 이용한 광 펌핑 수직공진형 표면 방출 반도체 레이저 소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2유전체의 브레그 반사판(5)의 반사율은 레이저 출력이 상부로 방출되게 하기 위하여 상기 제1유전체의 브레그 반사판(4)보다 상대적으로 높은 반사율을 갖는 것을 특징으로 하는 다공질 규소를 이용한 광 펌핑 수직공진형 표면방출 반도체 레이저 소자.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제2유전체의 브레그 반사판(5)은 상기 제1유전체의 브레그 반사판(4)과 동일한 구조인 λ/4의 두께로 교대로 증착한 것을 특징으로 하는 다공질 규소를 이용한 광 펌핑 수직공진형 표면방출 반도체 레이저 소자.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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