KR950021335A - MFC(mass flow controller의 고장 진단장치 - Google Patents

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KR950021335A
KR950021335A KR1019930029624A KR930029624A KR950021335A KR 950021335 A KR950021335 A KR 950021335A KR 1019930029624 A KR1019930029624 A KR 1019930029624A KR 930029624 A KR930029624 A KR 930029624A KR 950021335 A KR950021335 A KR 950021335A
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김윤태
전치훈
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양승택
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Abstract

본 발명은 산업용 장비 특히 반도체 제조장비에 많이 사용되고 있는 MFC(mass flow controller)의 고장진단장치에 관한 것이다.
본 발명은 주장비와 연결되게 하여 복수의 입출력신호가 인가되게 하는 콘넥터와, 상기 콘넥터를 통하여 인가되는 입력제어신호ⓐ와 출력신호③를 절환하여 표시장치로 선택적으로 제공하는 신호선택스위치와, 상기 콘넥터를 통하여 인가되는 소정의 직류전압을 인가하여 가변저항기에 의해 소정의 분압된 전압을 출력하는 전압안정화부를 구비하고, 상기 신호선택스위치중 점검신호선택스위치에 의해 상기 콘넥터를 통하여 인가되는 밸브제어단자신호와 밸브시험단자신호를 절환하여 상기 표시장치로 제공토록 절환되게 하는 것을 포함하는 것이다.

Description

MFC(mass flow controller)의 고장진단장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 MHC 진단장치의 구성을 보여주는 전체적인 블럭도이다.
제3도는 본 발명장치의 신호접속장치이다.

Claims (1)

  1. 주장비와 연결되게 하여 복수의 입출력신호가 인가되게 하는 콘넥터(1)와, 상기 콘넥터(1)를 통하여 인가되는 입력제어신호ⓐ와 출력신호③를 절환하여 표시장치(6)로 선택적으로 제공하는 신호선택스위치(4,5)와, 상기 콘넥터(1)를 통하여 인가되는 소정의 직류전압을 인가하여 가변저항기(11)에 의해 소정의 분압된 전압을 출력하는 전압안정화부(8)를 구비하고, 상기 신호선택스위치(4,5)중 점검신호선택스위치(5)에 의해 상기 콘넥터(1)를 통하여 인가되는 밸브제어단자신호와 밸브시험단자신호를 절환하여 상기 표시장치로 제공토록 절환되게 하는것을 포함하는 MFC의 고장진단장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100474716B1 (ko) * 1997-08-05 2005-07-07 삼성전자주식회사 교환기와외부장치간의입출력데이터모니터링방법

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