KR950021309A - 공정 결함 분석방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 제조 공정에서 발생되는 공정 결함을 여러가지 형태로 분류하여 결함의 발생 공정과 특징 및 수율에 미치는 영향을 쉽게 파악할 수 있도록 군집결함의 조건들을 정의하고 이것을 컴퓨터에 입력시켜 공정결함을 자동분류 할 수 있도록 하는 기술이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의해 확산형 공정 결함 분석법을 도시한 도면이다.
제2도는 본 발명에 의해 점군집, 고밀도 선형등의 군집 결함을 조사하는 도면이다.
Claims (7)
- 반도체 소자의 공정 결함 분석방법에 있어서, 결함의 크기와 위치에 따라 점 군집결함, 스크래치 군집결함, 확산형 군집결함, 고밀도 선형 군집결함과, 케미칼 오염 군집결함으로 분류하고 각각 결함의 조건을 컴퓨터에 입력시켜서 공정결함이 자동적으로 분석되도록 하는 것을 특징으로 하는 공정 결함 분석방법.
- 제1항에 있어서, 상기 점 군집결함을 결함크기 0.5㎛이내 이면서 주위에 존재하는 결함들이 100㎛이내에 10개 이상으로 존재하는 것을 특징으로 하는 공정 결함 분석방법.
- 제1항에 있어서, 상기 스크래치 군집결함 임의의 위치에 있는 결함 크기가 10㎛이상이고 주위의 50㎛이내의 위치에서 10㎛이상의 결함이 5개 이상 존재하는 것을 특징으로 하는 공정 결함 분석방법.
- 제1항에 있어서, 상기 확산형 군집결함은 결함의 크기가 1㎛이내의 크기로 웨이퍼 중심을 지나는 직선 방향에 수직하고 이 결함위치에서 1000×1000㎛2의 사각형을 영역으로 하였을 때 10개 이상이며, 이 사각형을 중심으로 두고 웨이퍼 중심을 지나는 직선방향에 수직한 사각형 (1000×1000㎛2)영역을 다시 잡고 이들 결함 수가 최초의 사각형 위치에서 나타난 결함 수의 비율이 직선형을 이루는 것을 특징으로 하는 공정 결함 분석방법.
- 제1항에 있어서, 상기 고밀도 선형 군집결함은 웨이퍼 내의 다이의 가로축(X축)과 세로축(Y축)으로 나타나는 결함크기, 즉 결함의 X축 크기와 Y축 크기가 매우 다르며 X,Y축 크기 중 큰축의 크기가 두 축 결함 크기의 차=(X-Y)보다 10배이상으로 큰 결함인 것을 특징으로 하는 공정 결함 분석방법.
- 제1항에 있어서, 상기 상기 케미컬 오염 결함은 결함의 크기는 1~10㎛ 크기로 하고 임의 결함 위치에 있는 결함이 X축,Y축 결함 크기중 큰축의 크기가 두축 크기차 │X-Y│보다 1/10이내의 크기가 되는 것을 특징으로 하는 공정 결함 분석방법.
- ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930028881A KR0132024B1 (ko) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | 공정 결함 분석방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930028881A KR0132024B1 (ko) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | 공정 결함 분석방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950021309A true KR950021309A (ko) | 1995-07-26 |
| KR0132024B1 KR0132024B1 (ko) | 1998-04-14 |
Family
ID=19371961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019930028881A KR0132024B1 (ko) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | 공정 결함 분석방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0132024B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100499163B1 (ko) * | 1997-12-11 | 2005-09-30 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 디펙트 분류 방법 |
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1993
- 1993-12-21 KR KR1019930028881A patent/KR0132024B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0132024B1 (ko) | 1998-04-14 |
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