KR950019636A - 고해상도 및 고속의 필름 측정장치 및 방법 - Google Patents

고해상도 및 고속의 필름 측정장치 및 방법 Download PDF

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KR950019636A
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KR1019940034612A
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에스. 휴진거 죤
죤 제이. 코스텔로, Iii
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캐롤린 엘리스 베이스
미네소타 마이닝 앤드 매뉴팩츄어링 컴패니
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Abstract

본 발명은 고형필름(30)에 간섭성 단색광(14)을 통과시키고 공지되거나 또는 온-라인 측정된 기준값과 흡수도를 비교하므로써 간섭성 단색광(14)을 사용하는, 고속 및 고해상도의 고형필름 측정장치(10) 및 방법에 관한 것이다. 측정장치(10) 및 방법에서는 명확성 및 반투명도에 차이를 두어 고형필름(30)두께를 분석해낸다. 측정장치(10)의 해상도 및 속도는 제조과정을 통해 피드백 제어 루우프의 일부로서 온-라인 제조 시스템에 측정장치(10)를 적용함에 따라 제공된다.

Description

고해상도 및 고속의 필름 측정장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 중합체 필름의 제조과정에서 온-라인 사용을 위한 발명의 실시태양에 대한 시스템 다이아그램이다.
제2도는 제1도에 구체화된 본 발명의 측면도이다.
제3도는 제조과정에서 온-라인 사용을 위한 발명의 또다른 실시태양의 측면도이다.

Claims (10)

  1. 고형필름(30)의 흡수효과에 의해 영향을 받는 간섭성 단색 방사 에너지(14)를 제공하는 방사 에너지원(12), 방사 에너지원(12)에 작동적으로 결합된, 방사 에너지(14)를 기준광선(22) 및 측정광선(20)으로 분할시키기 위한 광선 분할기(18), 기준광선(22) 및 측정광선(20)의 탐지된 부분으로부터 각각 기준광선 세기값과 측정광선 세기값을 형성시키는 검파기(26,28), 및 기준광선 세기값과 측정광선 세기값을 비교하여 고형필름(30)의 두께에 비례하는 흡수값을 이루기 위해 검파기(26, 28)에 작동적으로 결합된 비교장치(44)를 가진 유형의 필름두께를 측정할 수 있는 고속, 고해상도의 고형필름 측정장치에 있어서, 기준광서(22)이 공기를 통해 입사되고, 측정광선(20)은 공기 및 고형필름(30)을 통과하는 것을 특징으로 하는 장치(10).
  2. 제1항에 있어서, 방사 에너지원(12), 고형필름(30)의 산란효과에 의해서만 영향을 받고 고형필름(30)상의 거의 유사한 위치를 농과하는 간섭성 단색 방사 에너지의 비-흡수성 측정광선(72)을 측정광선(20)으로서 제공하는 장치(70), 비-흡수성 측정광선(72)의 검파된 부분으로부터 비-흡수성 측정광선 세기값을 형성시키기 위한 검파기(74)를 포함하는 검파기, 및 비-흡수성 측정광선 세기값을 기준으로하여 흡수값을 조절하므로써 흡수값으로부터 고형피름(30)의 산란효과를 제거하기 위한 장치를 포함하는 비교기(44)를 포함하는 장치(10).
  3. 제1항에 있어서, 간섭성 단색 방사 에너지(14)를 분할하기 전에 초핑(chopping)하기 위한, 광선 분할기(18)에 작동적으로 결합된 초퍼(16)를 부가호 포함하는 장치(10).
  4. 제1항에 있어서, 고형필름(30)을 피해 공기 샘플(40)만을 통과하도록 측정광선(20)을 제조정하고 기지의 두께를 가진 샘플 중합체 필름(42)를 통해 측정광선(20)을 추가로 제조정하므로써 측정광선(20)을 측정하기 위한 눈금 측정기구(44)를 부가로 포함하는 장치
  5. 제1항에 있어서, 고형필름(30)의 폭에 걸쳐 측정광선(20)을 앞뒤로 선회하도록 이동시키기 위한, 광선 분할기(18)에 작동적으로 결합된 선회장치(32, 34, 36, 38)를 추가로 포함하고, 흡수값을 사용하여 고형필름(30)을 이동시키는 제조과정 동안에 고형필름(30)의 제조된 두께를 제어하는 피드백 제어기(44)를 추가로 포함하는 장치(10).
  6. 고형필름(30)의 흡수효과에 의해 영향을 받는 간섭성 단색 방사 에너지 광선(14)을 제공하는 단계; 방사 에너지 광선(14)을 기준광선(22)과 측정광선(20)으로 분할시키는 단계; 측정광선(20)을 공기 및 고형필름(30)에 통과시키는 단계; 기준광선(22)을 공기에만 통과시키는 단계; 기준광선(22) 및 측정광선(20)의 탐지된 부분으로부터 각각 기준광선 세기값 및 측정광선 세기값을 구하는 단계; 및 측정광선 세기값과 기준광선 세기값을 비교하여 고형필름 두께에 비례하는 흡수값을 구하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 제조과정 동안 움직이는 고형필름(30)을 측정하는 방법.
  7. 제6항에 있어서, 고형필름(30)의 산란효과에 의해서만 영향을 받는 간섭성 단색 방사 에너지의 비-흡수성 측정관선(72)을 제공하는 단계; 고형필름(30)상의 거의 유사한 위치에 비흡수성 측정광선(72)을 측정광선(20)으로서 통과시키는 단계; 비-흡수성 측정광선(72)의 감지된 부분으로부터 비-흡수성 측정광선 세기값을 구하는 단계; 및 비-흡수성 측정광선을 기준으로 흡수값을 조절하여 흡수값으로부터 고형필름(30)의 산란효과를 제거하는 단계를 부가로 포함하는 방법.
  8. 제6항에 있어서, 고형필름을 피해 공기 샘플(40)만을 통과하도록 주기적으로 제조정하고 기지의 두께를 가진 샘플 중합체 필름(42)을 통과하도록 흡수광선(20)을 주기적으로 제조정하므로서 측정광선(20)을 눈금 측정하는 단계를 부가로 포함하는 방법.
  9. 제6항에 있어서, 측정광선(20)을 고형필름(30)의 폭에 걸쳐 앞뒤로 선회하도록 이동시키는 단계, 및 흡수값을 사용하므로써 제조과정 동안 고형필름(30)의 제조된 두께를 제어하는 단계를 부가로 포함하는 방법.
  10. 제6항에 있어서, 상기 비교단계가, 기준광선 세기값 대 측정광선 세기값의 비를 구하고 그 비를 기준값과 비교하여 고형필름(30)의 두께를 결정하는 방식; 램버트 법칙, 즉 I=I0e-αt(식중, I는 측정광선 세기값 및 기준광선 세기값의 비이고, I0는 기준비율이고, α는 눈금 측정 상수이며, t는 고형 필름(30)의 두께임)을 사용하는 방식; 식 t=(I/α)In(I0/I)(식중, I는 측정광선 세기값 및 기준광선 세기값의 비이고, I0는 기준비이고, α는 눈금 측정 상수이며, t는 고형필름(30)의 두께임)을 사용하는 방식; 및 식 t=(I/α)In(I0/I)(i'/i'0))(식중, I는 측정광선 세기값 및 기준광선 세기값의 비이고, I0는 기준비이고, α는 눈금 측정 상수이고, t는 고형필름(30)의 두께이며, I' 및 I0'는 반투명 물질을 통과함에 따른 세기값의 변수임)을 사용하는 방식으로 구성된 군중에서 선택된 연산방식을 수행하는 것을 포함하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940034612A 1993-12-21 1994-12-16 고해상도 및 고속의 필름 측정장치 및 방법 KR950019636A (ko)

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