KR950014844A - 간극 및 단차측정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 서로 근접하여 결합되는 2개의 피측정부재의 간극 및 단차의 측정방법으로서, 상기 2개의 피측정부재를 광절단법에 의해 연속선으로 인식하고, 상기 연속선 중 가장 긴 것과 2번째로 긴 것으로부터 상기 2개의 피측정부재의 각각의 직선부분 및 단부의 곡면부의 중심을 구하여 각각의 중심거리를 간극으로 하고, 직선간의 간격을 단차로서 구하는 것을 특징으로 하는 간극 및 단차의 측정방법이다. 이로써 간극 및 단차측정의 간략화, 그 측정 신뢰성의 향상을 꾀할 수 있다.

Description

간극 및 단차측정장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 간극측정방법에 사용하는 측정장치의 개략구성도이다.

제2도는 제1도에 도시한 측정유니트의 설명도이다.

제3도는 제1도에 도시한 측정유니트의 설명도이다.

제4도는 본 발명의 측정 방법의 흐름도이다.

제5도는 제4도에 이어지는 본 발명의 측정방법의 흐름도이다.

Claims (1)

1. 피측정부재의 표면에 슬리트광을 조사하는 조사수단과, 상기 슬리트광에 의해 형성된 상기 피측정부재 표면의 반사광의 형상을 인식하는 인식수단을 일체화한 측정유니트를 구비하며, 상기 인식수단이 인식한 반사광의 형상에 따라 상기 피측정부재의 표면 형상을 광절단법에 의해 측정하는 측정장치를 이용하여, 한쪽 제1피측정부재에 대해 접근했을 때 소정의 간격을 두고 간극을 형성하도록 다른 쪽의 제2피측정부재가 상기 제1피측정부재에 이간 및 접근 가능하게 결합된 피측정부재의 상기 간극 및 단차를 측정하는 측정방법으로서, 상기 제1피측정부재의 상기 제2피측정부재 접근측 및 상기 제2피측정부재의 상기 제1피측정부재 접근측 쌍방의 형상을 상기 측정장치에 의해 측정하는 제1공정과, 상기 제1공정에 의해 측정된 형상을 연속선으로 인식하는 제2공정과, 상기 연속선 중 가장 길게 이어져 있는 연속선을 제1연속선으로 하고, 두번째로 길게 이어져 있는 연속선을 제2연속선으로 선택하는 제3공정과, 상기 제1연속선의 상기 제2연속선 접근측의 끝점(POI)으로부터 소정거리(Al) 떨어진 상기 제1연속선상의 점(Pl)을 산출하는 제5공정과, 상기 제1연속선을 상기 점(Pl)을 끝점으로 하여 직선화한 제1근사직선(Cl)을 구하는 제6공정과, 상기 제1근사직선(Cl)으로부터 상기 측정부재의 간극의 깊이방향으로 소정거리(Bl) 떨어진 상기 제1연속선상의 점(Q1)을 산출하는 제7공정과, 상기 점(Pl)과 상기 점(Q1)의 위치를 비교하는 제8공정과, 상기 제8공정에 있어서, 상기 점(Pl)이 상기 점(Q1)보다 상기 제2연속선 접근측에 위치하고 있는 경우에 상기 접(Pl)을 상기 제5공정에 의한 소정거리(Al)를 상기 제2연속선 접근측의 끝점(POI)으로부터 떨어진 방향으로 2배한 값으로 변경한 점(Pl′)을 산출하여, 상기 제6공정으로부터 제8공정까지 각 공정의 상기 점(Pl)을 상기 정(Pl′)으로 하여 점(Q1)이 점(Pl)보다 상기 제2연속선 접근측에 위치하게 될 때 까지 반복하는 제9공정과, 상기 점(Pl)으로부터 상기 점(Q1)사이를 복수 등분한 등분점을 구하고, 이 등분점의 인접하는 2점을 지나는 직선과 수직인 직선상의 소정거리(Rl) 떨어진 복수의 점을 구하는 제10공정과, 상기 복수의 점을 평균한 위치를 상기 제1연속선의 상기 제2연속선 접근측의 단부에 있어서의 곡면의 중심(Q1)으로서 인식하는 제11공정과, 상기 제2연속선의 상기 제1연속선 접근측의 끝점(PO2)을 인식하는 제12공정과, 상기 제12공정에 의해 인식된 끝점(PO2)으로부터 소정거리(A2) 떨어진 상기 제2연속선상의 점(P2)을 산출하는 제13공정과, 상기 제2연속선을 상기 점(P2)을 끝점으로 하여 직선화 한 제2근사직선(C2)을 구하는 제14공정과, 상기 제2근사직선(C2)으로부터 상기 제2연속선상의 상기 측정부재의 간극의 깊이방향으로 소정거리(B2) 떨어진 점(Q2)을 구하는 제15공정과, 상기 점(P2)과 상기 점(Q2)의 위치를 비교하는 제16공정과, 상기 제16공정에 있어서, 상기 점(P2)이 상기 점(Q2)보다 상기 제2연속선 접근측에 위치하고 있는 경우에 상기 점(P2)을 상기 제13공정에 의한 소정거리(A2)를 상기 제1연속선 접근측의 끝점(PO2)으로부터 떨어진 방향으로 2배한 값으로 변경한 점(P2′)을 산출하여, 상기 제14공정으로부터 상기 제16공정까지 각 공정의 상기 점(P2)을 상기 점(P2′)으로 하여 점(Q2)이 점(P2)보다 상기 제2연속선접근측에 위치하게 될 때 까지 반복하는 제17공정과, 상기 점(P2)으로부터 상기 점(Q2)의 사이를 복수 등분한 등분점을 구하고, 상기 등분점의 인접하는 2점을 지나는 직선과 수직인 직선상의 소정거리(R2) 떨어진 복수의 점을 구하는 제18공정과, 상기 복수의 점을 평균한 위치를 상기 제2연속선의 상기 제1연속선 접근측의 단부에 있어서의 곡면의 중심(02)으로서 인식하는 제19공정과, 상기 제1근사직선 또는 상기 제2근사직선과 직교하는 상기 중심(01)을 지나는 선과 상기 중심(02)을 지나는 선 사이의 상기 제1근사직선 또는 상기 제2근사직선과 평행인 거리(L)를 구하고, 상기 거리(L)로부터 상기 소정거리(Rl) 및 (R2)를 뺀 거리를 상기 제1피측정부재와 상기 제2측정부재와의 간극으로서 구하는 제20공정과, 상기 거리(L)의 2등분정 상에서 상기 제1근사직선을 연장한 것과 상기 제2근사직선을 연장한 선과의 차를 상기 제1측정부재와 상기 제2측정부재와의 단차로서 구하는 제21공정을 가지는 것을 특징으로 하는 간극 및 단차측정방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.