KR950012621A - 이소프로필 알콜증기 세정기 - Google Patents

이소프로필 알콜증기 세정기 Download PDF

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KR950012621A KR1019930021904A KR930021904A KR950012621A KR 950012621 A KR950012621 A KR 950012621A KR 1019930021904 A KR1019930021904 A KR 1019930021904A KR 930021904 A KR930021904 A KR 930021904A KR 950012621 A KR950012621 A KR 950012621A
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    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting

Abstract

본 발명은 반도체 생산공정중에 사용되는 것으로, 반도체의 친적인 먼지(Partcle)을 제거하기 위해 순수물(D.I.WATER)로 세정공정을 거친 실리콘 웨이퍼(Si Wafer)반도체 소자임)상에 잔존하고 있는 수분을 건조시키는 장치인 이소프로필 알콜증기 세정기에 관한 것으로, 종래에는 원심분리형인 회전식 건조기를 사용하였으나 이는 반도체 제품의 집적도가 높아짐에 다라 선폭이 좁아져 건조 효율성이 낮아지고 불량률이 증가하였다.
본 발명은 친수성과 고침투성을 갖는 이소프로필 알콜을 사용하여 고집적도인 반도체에 잔존하는 수분과 반응하여 잘 떨어지도록 웨이퍼(24)가 담긴 캐리어(15)가 로보트암(5)에 재치하면 기울어지도록 하고, 반응된 혼합물은 폐액회수용기(26)로 받되 재증발하지 못하도록 뚜껑(27)을 설치하고 위로 상승한 증기는 냉각관(11)에 응축되어 떨어지되 냉각관(11) 양단부측에 경사부(12)를 형성하고 그 하측에 유도관(21)을 설치하여 퀴츠챔버(2) 내벽을 타고 내려오도록 한 이소프로필 알콜증기 세정기.

Description

이소프로필 알콜증기 세정기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 작동상태 정면도.
제2도는 본 발명 측면도.

Claims (5)

  1. 외부캐비넷(1) 중앙파부측에 가열하터부(3)를 형성하고, 이 위에 쿼츠챔버(2)를 올려놓고 테프론홀다(35)(35')등으로 지지고정하되, 쿼츠챔버(2)에는 상부측에 냉각수관(11)을 설치하고 그 바로 밑에 응축액 유도관(21)을 받침고정부(20)(20')로 고정하고 쿼츠챔버(2) 하부측에는 뚜껑(27)을 내재시킨 폐액회수용기(26)를 설치하고, 쿼츠챔버(2) 중앙내부로 웨이퍼(24)(24')가 담긴 캐리어(25)(25')를 실은 로보트암(5)이 외부캐비넷(1)에 장설한 구동부(31)에 의해 승강작동 정지할 수 있도록 하고, 쿼츠챔버(2)내에 유입관(17)으로 이소프로필알콜(33)을 주입증기 세정할 수 있도록 한 이소프로필 알콜증기 세정기.
  2. 제1항에 있어서, 외부캐비넷(1)에는 로보트암(5) 구동부(31)와 쿼츠챔버(2) 상측에 개폐도어(4)(4')를 형성하되, 개폐도어(4)(4')에는 로보트암(5)이 쿼츠챔버(2)내로 하강한 상태에서도 개폐될 수 있도록 양측에 대향되게 절개 요홈부(32)(32')를 형성하고 개폐도어(4)(4')는 축(34)(34')에 의해 외부캐비넷(1)에 부설시킨 구동부(29)(29')로 개폐시킬 수 있도록 한 증기 세정기.
  3. 제1항에 있어서, 쿼츠챔버(2)상부측에 설치한 냉각수관(11)이 일측으로 기울면서 양단부측에 경사부(12)(12')가 형성되도록 하여 응축액이 중앙부에 위치하는 웨이퍼(24)(24')위에 떨어지지 않도록 유도한 것을 특징으로 한 이소프로필 알콜증기 세정기.
  4. 제1항에 있어서, 로보트암(5)의 재치부(8)(8')에 대봉(6)(6')과 소봉(7)(7')을 형성시켜 웨이퍼(24)(24')가 담긴 캐리어(25)(25')를 올려놓으면 일축으로 기울어 웨이퍼가 경사지도록 한 것을 특징으로 한 이소프로필 알콜증기 세정기용 로보트암.
  5. 제1항에 있어서, 쿼츠챔버(2)하부측에 설치하는 폐액회수용기(26)는 일측은 지지대(28)(28')로 고정하고, 타측은 약간 기울어 경사지게 한 후 저면에 배출관(18)에 연결할 수 있는 볼조인트(37)를 형성하고, 상기 폐액회수용기(26)내에 다수개의 받침봉(38)(38')하향돌설된 뚜껑(27)을 내재시켜 이소프로필 알콜증기와 웨이퍼(24)(24')의 수분과 반응하여 떨어진 혼합물이 재증발하지 못하도록 한 것을 특징으로 하는 이소프로필 알콜증기 세정기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930021904A 1993-10-21 1993-10-21 이소프로필 알콜증기 세정기(i.p.a. vapor dryer) KR960013498B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100337153B1 (ko) * 2000-06-09 2002-05-18 이준호 납땜용 솔더볼의 세척장치

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