KR950008797A - 수위조절용 반도체 압력센서를 구비한 세탁기 - Google Patents

수위조절용 반도체 압력센서를 구비한 세탁기 Download PDF

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KR950008797A
KR950008797A KR1019930019997A KR930019997A KR950008797A KR 950008797 A KR950008797 A KR 950008797A KR 1019930019997 A KR1019930019997 A KR 1019930019997A KR 930019997 A KR930019997 A KR 930019997A KR 950008797 A KR950008797 A KR 950008797A
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pressure
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silicon chip
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KR1019930019997A
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김재욱
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배순훈
대우전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 입력센서에 관한 것으로 특히 세탁기의 수위조절용으로 적합하게 사용될 수 있는, 신뢰성 있고 외부 온도나 습도에 관계없이 압력을 센싱하는 반도체 압력센서를 구비하여 세탁기의 수위조절을 위한 제어 데이타를 생성하도록 하는 반도체 압력 센서를 구비한 세탁기를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 실현하기 위하여 본 발명은 실리콘 단결정 취부의 중앙부를 에칭하여 박막을 형성시켜 된 다이어 프램과, 다이어프램 면에 4개의 게이지 저항을 배치하고 다이어 프램이 압력에 의해 변형될 때 저항의 값이 가변되는 실리콘 칩과, 압력이 포함된 공기가 인입되는 압력 도입 파이프(1)와, 이 파이프 중심에 금속다이어프램이 설치되고 실리콘오일 밑에 실리콘 칩이 배치되고 실리콘 칩에서 검출된 전압이 제어회로에 인가되도록 도전성 리드(3)를 금선(4)으로 연결하고 있으며, 소자 내부는 진공으로 되고 보호 캡(5)으로 진공 유지 및 소자보호는 반도체 압력센서는 세탁기의 저수조 측면에 설치된 공기실의 기압이 에어 튜브를 통해 전달되는 위치에 설치한 것을 특징으로 한다.

Description

수위조절용 반도체 압력센서를 구비한 세탁기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도(a) 및 (b) 각각은 본 발명에서 사용하는 반도체 압력센서의 구조와 검출방법을 설명하는 등가회로도이다.

Claims (1)

  1. 실리콘 단결정 취부의 중앙부를 에칭하여 박막을 형성시켜 된 다이어프램과, 다이어프램 면에 4개의 게이지 저항을 배치하고 다이어 프램이 압력에 의해 변형될 때 저항의 값이 가변되는 실리콘 칩과, 압력이 포함된 공기가 인입되는 압력 도입 파이프(1)와, 이 파이프 중심에 금속다이어프램이 설치되고 실리콘오일 밑에 실리콘 칩이 배치되고 실리콘칩(2)에서 검출된 전압이 제어회로에 인가되도록 도전성 리드(3)를 금선(4)으로 연결하고 있으며, 소자 내부는 진공으로 되고 보호캡(5)으로 진공 유지 및 소자보호는 반도체 압력센서는 세탁기의 저수조 측면에 설치된 공기실의 기압이 에어 튜브를 통해 전달되는 위치에 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 압력센서를 구비한 세탁기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930019997A 1993-09-28 1993-09-28 수위조절용 반도체 압력센서를 구비한 세탁기 KR950008797A (ko)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100457578B1 (ko) * 2002-11-28 2004-11-18 엘지전자 주식회사 세탁기의 전도도 센서
KR100457577B1 (ko) * 2002-11-28 2004-11-18 엘지전자 주식회사 세탁기의 전극 센서
KR100479089B1 (ko) * 2002-11-28 2005-03-28 엘지전자 주식회사 세탁기의 전극 센서

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KR100457578B1 (ko) * 2002-11-28 2004-11-18 엘지전자 주식회사 세탁기의 전도도 센서
KR100457577B1 (ko) * 2002-11-28 2004-11-18 엘지전자 주식회사 세탁기의 전극 센서
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