KR950004144A - 광자기 기록매체 제조방법 - Google Patents

광자기 기록매체 제조방법 Download PDF

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KR950004144A
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홍기명
성강현
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이헌조
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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)

Abstract

본 발명은 광자기 기록매체 제조방법에 관한 것으로서, 보호막을 DLC(Diamond Like Carbon)막으로 형성하여 제조공정을 단순화하고 품질을 향상시키며 수율이 향상될 수 있는 광자기 기록매체 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다. 기판(10)상에 반응 스퍼터링 방식으로 제 1 유전체막(11)을 형성하는 제 1 공정, 상기 제 1 유전체막(11)상에 기록막(12)과 제 2 유전체막(13)을 차례로 형성하는 제 2 공정, 상기 제 2 유전체막(13)상에 반사막(14)을 형성하고 반사막(14)상에 DLC를 증착하여 보호막(15)을 형성하는 제 3 공정으로 이루어짐을 특징으로 한다.

Description

광자기 기록매체 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래 기술의 광자기 기록매체 제조방법을 나타낸 공정순서도. 제2도는 종래의 오우버 라이트 방식도.

Claims (4)

  1. 기판(10)상에 반응 스퍼터링 방식으로 제1유전체막(11)을 형성하는 제1공정, 상기 제1유전체막(11)상에 기록막(12)과 제2유전체막(13)을 차례로 형성하는 제2공정, 상기 제2유전체막(13)상에 반사막(14)을 형성하고 반사막(14)상에 DLC를 증착하여 보호막(15)을 형성하는 제3공정으로 이루어짐을 특징으로 하는 광자기 기록매체 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보호막(15)형성은 플라즈마법으로 실행함을 특징으로 하는 광자기 기록매체 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 보호막(15)의 두께는 0.1~1㎛임을 특징으로 하는 광자기 기록매체 제조방법.
  4. 제2항에 있어서, 상기 플라즈마법에 의한 보호막 형성조건을 CH4흐름을 45~50sccm, H2가스 흐름률 86~95sccm, 챔버압력 50∼150m토르, RF파우어 300∼500와트에서 실행함을 특징으로 하는 광자기 기록매체 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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